【技术实现步骤摘要】
本技术是有关于高品质因子的电感,特别是有关于半导体集成电路中的电感。
技术介绍
在GHz的射频CMOS集成电路中,电感可以用在芯片嵌入式(on-chip)的匹配电路、被动滤波器、电感负载、变压器、压控震荡器。其中最重要的性能就是品质因数,也就是品质因子,影响品质因子的因素有,金属线圈的欧姆损耗、基底的损耗、电感的寄生电容。在过去的发展中,已经提出许多高品质因子电感,例如使用高导电率的金属层制造金属线圈,以减少欧姆损耗。使用多层金属以增加电感的有效厚度,以减少高频的基底损耗。使用低损耗的基底材料,以减少高频的基底损耗。使用厚氧化层隔绝浮接电感和基底,以减少基底损耗。然而上述电感制造方法都不适用于标准的CMOS制程,需要额外的制造程序,造成成本增加,品质不容易控制。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提出一种高品质因子的电感,适用于一半导体基底,其上方具有一介电层,并且具有一空气隙于介电层中,包括一支撑柱,位于空气隙之中;以及一金属线圈,位于空气隙中,并且借由支撑柱用以支撑。本技术金属线圈以空气隙代替二氧化硅,可以大幅降低寄生电感。附图说明图1A表示习知电感和本技术电感的结 ...
【技术保护点】
一种高品质因子的电感,其特征在于,包括: 一基底; 一介电层,具有一空气隙,位于上述半导体基底上; 一支撑柱,位于上述空气隙中;以及 一金属线圈,位于上述空气隙中,并且借由上述支撑柱来支撑。
【技术特征摘要】
1.一种高品质因子的电感,其特征在于,包括一基底;一介电层,具有一空气隙,位于上述半导体基底上;一支撑柱,位于上述空气隙中;以及一金属线圈,位于上述空气隙中,并且借由上述支撑柱来支撑。2.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈重辉,
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:71[中国|台湾]
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