温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种高品质因子的电感，包括：一基底；一介电层，具有一空气隙，位于上述半导体基底上；一支撑柱，位于上述空气隙中；以及一金属线圈，位于上述空气隙中，并且借由上述支撑柱来支撑。本实用新型金属线圈以空气隙代替二氧化硅，可以大幅降低寄生电感。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。