用于控制半导体处理设备的方法技术

一种方法控制一种设备比如半导体处理设备，该半导体处理设备包含控制器和由该控制器控制的至少一个装置，其中该控制器配备有用于与该装置通信的接口，而且该接口具有用于测量通信的时间间隔的内部时钟。该方法包含：将控制器的操作系统的系统时钟替换为该接口的内部时钟，该系统时钟用于发送指令到该接口；使用由替代该系统时钟的该内部时钟所测量的时间间隔，从该控制器发送指令到该接口；以及使用由接口中的内部时钟所测量的时间间隔，从该接口发送指令到该装置，从而控制该装置。

【技术实现步骤摘要】

0001本专利技术涉及构成半导体制造设备的控制器，以及控制方法。
技术介绍
0002半导体制造设备的控制精度在生产半导体晶片中是一个重 要因素。这里，控制精度指的是例如控制阀门打开/关闭所处的时 间间隔周期的误差量。例如，使用Microsoft Windows⑧操作系统在50 毫秒周期内实施的控制就实际输出的指令而言产生大概50毫秒土20毫 秒的误差。0003为了降低该误差，可以把Ardence的名为实时扩展RTX(Real Time Extension)的软件程序结合到Windows⑧操作系统中。当两者组 合后，该误差降低到大概50毫秒士1毫秒。0004然而，RTX是昂贵产品(大概花费500万日元)，所以使用 它必然增加设备成本。而且，即使当操作系统的周期误差降到士l毫秒 时，不能同步接收可适用指令的输入/输出控制接口的时钟仍然导致大 概士l毫秒的误差。因此，误差常常是50毫秒±2毫秒或±3毫秒。0005然而近几年，精细处理半导体晶片的趋势要求以不产生甚至 2毫秒或3毫秒误差的方式控制半导体制造设备。
技术实现思路
0006为解决前述问题，本专利技术提出的设备或方法使用由包含在控 制器中的用于数字数据通信的PCI板提供的时钟而不是使用由控制器 的操作系统提供的时钟，来控制输入/输出装置，以实现50毫秒士1毫 秒误差的更精确控制。本专利技术还提供保持设备成本低的间接利益。0007在一个实施例中，本专利技术提供一种设备或方法，其中该设备 (优选半导体制造设备)包括控制器和受控装置(在实施例中使用多 个受控装置而且优选与信号流平行地排列)，而且该控制器包含用于实施与该受控装置进行数据通信的PCI板或类似物，这样PCI板的时钟可用来实施精确控制。0008在另一个实施例中，该控制是周期控制。0009在又一个实施例中，该PCI板是DeviceNet数据通信板。在 前述实施例中，例如，该DeviceNet数据通信板由Omron的 3G8F7-DRM21构成。0010为了概括本专利技术和相对有关领域所获得的优势，在本公开中 描述了本专利技术的某些目标和优势。当然，要理解不必所有的这种对象 或优势都可根据本专利技术的任何特定实施例获得。因此，例如，本领域 的技术人员会认识到可能以获得或最优化本文所教导的一个或一组优 势而不必获得本文所教导或暗示的其它对象或优势的方式实施或实现 本专利技术。0011本专利技术的进一步方面、特征和优势将从下面的对优选实施例 的详细描述中显现出来。附图说明0012本专利技术的这些和其它特征将比照优选实施例的附图进行描 述，这些优选实施例旨在说明而不对本专利技术进行限制。这些附图为了 图解说明而过分简化并且没有按比例绘制。0013图1是根据本专利技术的实施例在等离子体气相沉积(CVD)设 备中使用的一般控制系统的示意图。0014图2是示出根据本专利技术的实施例的离子体CVD设备的模块 中信号流的示意图。0015图3是示出当利用由常规控制器的操作系统提供的系统时钟 进行周期性(in cycles)控制时的控制操作的示意图。0016图4是示出当利用包含在常规控制器中的RTX(实时扩展软 件)进行周期性控制时的控制操作的示意图。0017图5是示出当根据本专利技术的实施例利用由用于数据传输的 PCI板提供的内部时钟进行周期性控制时的控制操作的示意图。具体实施例方式0018本专利技术将比照优选的实施例进行解释。然而，这些优选的实施例无意限制本专利技术。0019根据实施例，本专利技术提供用于控制设备的方法，该设备包括 控制器和由控制器控制的至少一个装置，所述控制器配备有用于与该 装置通信的接口 ，所述接口具有用于测量通信时间间隔的内部时钟， 所述方法包括(i)将控制器的操作系统的系统时钟替换为接口的内部时钟，该系统时钟用于发送指令到该接口， (ii)使用由替代系统时钟的内部时钟测量的时间间隔从该控制器发送指令到该接口 ，以及(iii)使用 由接口中的内部时钟测量的时间间隔从该接口发送指令到该装置，从 而控制该装置。0020在实施例中，指令可能被周期性地发送到接口。0021在前述的任何一个实施例中对接口平行排列的多个装置。0022在前述的任何一个实施例中0023在前述的任何一个实施例中 置的DeviceNet系统的通信板。0024在前述的任何一个实施例中 备。0025在前述的任何一个实施例中 方的控制器或者控制执行晶片传送的控制器。0026在前述的任何一个实施例中，所述设备可能进一步包含至少 另一控制器和主控制器，该主控制器控制所述控制器和另一控制器， 所述方法进一步包括由主控制器控制所述控制器和另一控制器。0027在前述的任何一个实施例中，所述控制器可能是控制执行配 方的控制器，而所述另一控制器是控制执行晶片传送的控制器。0028在前述的任何一个实施例中，所述主控制器和所述控制器/ 所述另一控制器可能通过以太网连接。0029在另一个实施例中，本专利技术提供用于控制半导体处理设备的 方法，该半导体处理设备包括主控制器、配备有PCI板的至少一个子 控制器以及至少一个装置，其中该主控制器控制子控制器，子控制器 控制该装置，所述方法包括(i)通过使用由PCI板提供的用于PCI板 的内部时钟的应用程序接口 (API)，初始化子控制器的周期指令的时，所述至少一个装置可能表示相，所述接口可能是PCI板。，所述PCI板可能是连接多个装，所述设备可能是半导体处理设，所述控制器可能是控制执行配7间间隔设定，这些设定控制信号输入到PCI板或从PCI板输出；(ii)通 过使用由PCI板提供的API，控制子控制器和PCI板之间的信号的输入/输出；以及(iii)通过使用由PCI板提供的API,控制PCI板和装置之间的信号的输入/输出。0030在前述的任何一个实施 PCI板平行排列的多个装置。0031在前述的任何一个实施 置的DeviceNet系统的通信板。0032在前述的任何一个实施示执行配方控制的子控制器。0033在前述的任何一个实施 示多个子控制器。0034在前述的任何一个实施 可能通过以太网连接。0035在实施例中，对PCI板的指令的控制(信号输入/输出控制) 以实施控制器和受控装置之间的数据通信是用PCI板的嵌入时钟完成 的。供参考，控制器的操作系统的时钟也被用于除在控制器(诸如模 块控制器个人电脑(PC))内部的设备控制之外的目的，并且它基本 不同于PCI板的嵌入时钟(也称为内部时钟)。操作系统(诸如 Windows )的时钟性能由于操作系统的某些缺点而被降低，诸如在不 是实时操作系统的Windows⑧中连接应用程序软件和系统定时器的困 难。RTX用来补偿这些缺点。然而，即使当使用RTX时，PCI板的同 步问题产生不可避免的误差，该PCI板实施与操作系统和受控装置网 络(诸如DeviceNet)的数据通信。0036一方面，使用PCI板的嵌入时钟来控制PCI板的指令(控制 信号输入/输出)消除了不精确的操作系统周期以及与输入/输出装置的 不良同步的问题，从而允许不管PCI板的时钟性能如何都无一例外地 降低误差。尽管当可适用的控制是周期控制时这种控制类型的效力被 最大化，但它可以用于任何控制类型。供参考，该PCI板不限于具体 类型，而是只要它提供有利的通信接口就可以使用任何PCI板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于控制包括控制器和由所述控制器控制的至少一个装置的设备的方法，所述控制器配备有用于与所述装置通信的接口，所述接口具有用于测量通信的时间间隔的内部时钟，所述方法包括：　将所述控制器的操作系统的系统时钟替换为所述接口的内部时钟，所述系统时钟用于发送指令到所述接口；　使用由替代所述系统时钟的所述内部时钟所测量的所述时间间隔，从所述控制器发送指令到所述接口；以及　使用由所述接口中的所述内部时钟所测量的所述时间间隔，从所述接口发送所述指令到所述装置，从而控制所述装置。

【技术特征摘要】
US 2007-8-21 11/842,7011.一种用于控制包括控制器和由所述控制器控制的至少一个装置的设备的方法，所述控制器配备有用于与所述装置通信的接口，所述接口具有用于测量通信的时间间隔的内部时钟，所述方法包括:将所述控制器的操作系统的系统时钟替换为所述接口的内部时钟，所述系统时钟用于发送指令到所述接口；使用由替代所述系统时钟的所述内部时钟所测量的所述时间间隔，从所述控制器发送指令到所述接口；以及使用由所述接口中的所述内部时钟所测量的所述时间间隔，从所述接口发送所述指令到所述装置，从而控制所述装置。2. 根据权利要求1所述的方法， 述接口。3. 根据权利要求1所述的方法， 述接口平行排列的多个装置。4. 根据权利要求3所述的方法，5. 根据权利要求4所述的方法， 置的DeviceNet系统的通信板。6. 根据权利要求1所述的方法，其中所述指令被周期性地发送到所其中所述至少一个装置表示相对所其中所述接口是PCI板。 其中所述PCI板是连接所述多个装其中所述设备是半导体处理设备。7. 根据权利要求1所述的方法，其中所述控制器是控制执行配方的 控制器或控制执行晶片传送的控制器。8. 根据权利要求1所述的方法，其中所述设备进一步包含至少另一 控制器和控制所述控制器和另一控制器的主控制器，所述方法进一步包 括由所述主控制器控制所述控制器和另一控制器。9. 根...

【专利技术属性】
技术研发人员：泷泽正浩，石谷一义，
申请(专利权)人：ASM日本公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]