一种半导体检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体检测设备,包括支撑架和横轴，所述横轴设置在支撑架的下面，所述横轴上设有万向轮，所述支撑架中心处设有SQUID检测系统，所述SQUID检测系统包括检测外壳、SQUID探头和聚焦透镜，所述SQUID探头设置在检测外壳下面，所述聚焦透镜设置在SQUID探头下面，所述检测外壳内侧顶端设有传感器，所述检测外壳一侧设有光电管，所述检测外壳另一侧设有机械手，所述支撑架左侧固定有SQUID控制器，所述SQUID检测系统下面设有防震检测台，所述防震检测台下面设有旋转台，所述旋转台与支撑架转动连接。该实用新型专利技术，实现了无损检测，检测的精度较高，具有良好的分辨率，在半导体结构分析和光电器件性能检测等方面，具有很好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于检测装置
，具体涉及一种半导体检测设备。
技术介绍
现代工业的基础是半导体材料和超大规模的半导体技术。随着集成度的不断提高，半导体材料掺杂的均匀性很大程度地影响了半导体器件的性能。不均匀性主要决定于掺杂的空间分布和掺杂的纯度。现有技术的半导体检测设备一般为有损检测，而且检测不是很灵敏，因此需要对现有技术进行改进。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体检测设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体检测设备,包括支撑架和横轴，所述横轴设置在支撑架的下面，所述横轴上设有万向轮，所述支撑架中心处设有SQUID检测系统，所述SQUID检测系统包括检测外壳、SQUID探头和聚焦透镜，所述SQUID探头设置在检测外壳下面，所述聚焦透镜设置在SQUID探头下面，所述检测外壳内侧顶端设有传感器，所述传感器分别与SQUID探头和SQUID控制器电性连接，所述检测外壳一侧设有光电管，所述检测外壳另一侧设有机械手，所述支撑架左侧固定有SQUID控制器，所述SQUID检测系统下面设有防震检测台，所述防震检测台下面设有旋转台，所述旋转台与支撑架转动连接。优选的，所述机械手设置在支撑架，所述机械手与支撑架固定连接。优选的，所述传感器为距离传感器。本技术的技术效果和优点：该半导体检测设备，通过SQUID检测系统可以实现对半导体材料进行无损检测，同时传感器能够很好地控制SQUID探头上的聚焦透镜的高度，通过SQUID控制器自动控制，该技术，实现了无损检测，检测的精度较高，具有良好的分辨率，在半导体结构分析和光电器件性能检测等方面，具有很好的应用前景。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中：1支撑架、2横轴、3万向轮、4SQUID检测系统、41检测外壳、42SQUID探头、43聚焦透镜、5光电管、6SQUID控制器、7防震检测台、8旋转台、9机械手、10传感器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1所示的一种半导体检测设备,包括支撑架1和横轴2，所述横轴2设置在支撑架1的下面，所述横轴2上设有万向轮3，所述支撑架1中心处设有SQUID检测装置4，所述SQUID检测系统4包括检测外壳41、SQUID探头42和聚焦透镜43，所述SQUID探头42设置在检测外壳41下面，所述聚焦透镜43设置在SQUID探头42下面，所述检测外壳41内侧顶端设有传感器10，所述传感器10分别与SQUID探头42和SQUID控制器6电性连接，所述检测外壳41一侧设有光电管5，所述检测外壳41另一侧设有机械手9，所述支撑架1左侧固定有SQUID控制器6，所述SQUID检测系统4下面设有防震检测台7，所述防震检测台7下面设有旋转台8，所述旋转台8与支撑架1转动连接。进一步地，所述机械手9设置在支撑架1，所述机械手9与支撑架1固定连接。进一步地，所述传感器10为距离传感器。该半导体检测设备，通过SQUID检测系统4可以实现对半导体材料进行无损检测，同时传感器10能够很好地控制SQUID探头42上的聚焦透镜43的高度，通过SQUID控制器6自动控制，该技术，实现了无损检测，检测的精度较高，具有良好的分辨率，在半导体结构分析和光电器件性能检测等方面，具有很好的应用前景。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体检测设备,包括支撑架（1）和横轴（2），其特征在于：所述横轴（2）设置在支撑架（1）的下面，所述横轴（2）上设有万向轮（3），所述支撑架（1）中心处设有SQUID检测系统（4），所述SQUID检测系统（4）包括检测外壳（41）、SQUID探头（42）和聚焦透镜（43），所述SQUID探头（42）设置在检测外壳（41）下面，所述聚焦透镜（43）设置在SQUID探头（42）下面，所述检测外壳（41）内侧顶端设有传感器（10），所述传感器（10）分别与SQUID探头（42）和SQUID控制器（6）电性连接，所述检测外壳（41）一侧设有光电管（5），所述检测外壳（41）另一侧设有机械手（9），所述支撑架（1）左侧固定有SQUID控制器（6），所述SQUID检测系统（4）下面设有防震检测台（7），所述防震检测台（7）下面设有旋转台（8），所述旋转台（8）与支撑架（1）转动连接。

【技术特征摘要】
1.一种半导体检测设备,包括支撑架（1）和横轴（2），其特征在于：所述横轴（2）设置在支撑架（1）的下面，所述横轴（2）上设有万向轮（3），所述支撑架（1）中心处设有SQUID检测系统（4），所述SQUID检测系统（4）包括检测外壳（41）、SQUID探头（42）和聚焦透镜（43），所述SQUID探头（42）设置在检测外壳（41）下面，所述聚焦透镜（43）设置在SQUID探头（42）下面，所述检测外壳（41）内侧顶端设有传感器（10），所述传感器（10）分别与SQUID探头（42）和SQUID控制器（...

【专利技术属性】
技术研发人员：林思源，王炅鑫，黄钰荀，
申请(专利权)人：林思源，王炅鑫，黄钰荀，
类型：新型
国别省市：湖南;43