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本实用新型公开了一种半导体检测设备,包括支撑架和横轴，所述横轴设置在支撑架的下面，所述横轴上设有万向轮，所述支撑架中心处设有SQUID检测系统，所述SQUID检测系统包括检测外壳、SQUID探头和聚焦透镜，所述SQUID探头设置在检测外壳下...
该专利属于林思源;王炅鑫;黄钰荀所有，仅供学习研究参考，未经过林思源;王炅鑫;黄钰荀授权不得商用。

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