【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种探针基板，其特征在于包括：探针，其包括具有第一端部、第二端部的横杆及形成在所述横杆第一端部的接触体；支撑基板，其用于支撑所述探针的第二端部，且具有可以使所述探针的第一端部上下方向弯曲的弯曲空间；沟道氧化膜，其形成 在所述支撑基板的上部表面，所述沟道氧化膜，在所述支撑基板支撑探针的区域中，至少形成于与所述弯曲空间相邻接的区域。
【技术特征摘要】
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