本发明涉及一种探针基板及其制造方法，探针基板包括：探针，其包括多个横杆和形成在横杆一侧末端部的接触体；支撑基板，其用于支撑所述探针，且具有可以使所述探针上下方向弯曲的弯曲空间，而且支撑基板的上部表面形成有沟道氧化膜。根据本发明，由于在横...

本发明涉及一种探针基板及其制造方法，所述探针基板包括多个探针及支撑基板。所述探针包括横杆及形成在横杆一端部的接触体。所述支撑基板用于支撑探针，具有可使探针上下弯曲的弯曲空间。所述横杆和接触体由相同金属构成，且接触体的侧壁呈阶梯状。本发明...

本发明涉及一种探针卡，其包括：多个探针模块、位于探针模块下方的多层陶瓷基板、用于电性连接探针模块与多层陶瓷基板的焊球。其中，焊球高度按其位置而异。采用本发明的探针卡及其制造方法，即使多层陶瓷基板的平整度不一致，或者在组装探针卡过程中多层...