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本发明涉及一种探针基板及其制造方法，探针基板包括：探针，其包括多个横杆和形成在横杆一侧末端部的接触体；支撑基板，其用于支撑所述探针，且具有可以使所述探针上下方向弯曲的弯曲空间，而且支撑基板的上部表面形成有沟道氧化膜。根据本发明，由于在横杆和...
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