【技术实现步骤摘要】
大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具
本技术涉及溅射靶材制造领域，尤其涉及一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具。
技术介绍
磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式，是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜，这种被镀的材料就叫溅射靶材。溅射靶材在焊接、喷砂、清洗等加工过程中需要反复翻转以保证靶材正反面都能被加工到。一般是先将溅射靶材放置到加工平台上，待溅射靶材的一面加工好后，通过人工配合将溅射靶材翻转180度后重新放置到加工平台上以加工另一面。但对于大尺寸分割型溅射靶材来说，其尺寸、重量都比较大，人工翻转的劳动强度较大，而且目前人工翻转是以加工平台为支撑面的，在翻转过程中，溅射靶材的侧边容易磕碰到加工平台上，造成溅射靶材表面擦伤，影响成品质量。
技术实现思路
为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，通过机械配合不仅实现了溅射靶材的自动翻转，减轻了工人的劳动强度，而且避免了翻转导致的溅射靶材表面擦伤，提...
【技术保护点】
1.一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，其特征在于：包括对称设置在加工平台(1)两侧的机架(2)，所述机架(2)上设有可升降移动的载重板(3)，所述载重板(3)的下端分别设有翻转夹持机构(4)、辅助承重机构(5)，所述辅助承重机构(5)位于所述翻转夹持机构(4)与加工平台(1)之间；所述翻转夹持机构(4)包括与所述载重板(3)固接的立板(41)，所述立板(41)上设有可转动的翻转板(44)，所述翻转板(44)靠近所述加工平台(1)的一侧设有用于夹紧溅射靶材的夹持组件；所述辅助承重机构(5)包括与所述载重板(3)转动连接的角板(51)，所述角板(51)的下端设有可套装在溅射靶...
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，其特征在于：包括对称设置在加工平台(1)两侧的机架(2)，所述机架(2)上设有可升降移动的载重板(3)，所述载重板(3)的下端分别设有翻转夹持机构(4)、辅助承重机构(5)，所述辅助承重机构(5)位于所述翻转夹持机构(4)与加工平台(1)之间；所述翻转夹持机构(4)包括与所述载重板(3)固接的立板(41)，所述立板(41)上设有可转动的翻转板(44)，所述翻转板(44)靠近所述加工平台(1)的一侧设有用于夹紧溅射靶材的夹持组件；所述辅助承重机构(5)包括与所述载重板(3)转动连接的角板(51)，所述角板(51)的下端设有可套装在溅射靶材上的承重吊带(52)，所述承重吊带(52)用于防止溅射靶材在翻转中滑脱。
2.根据权利要求1所述的翻转治具，其特征在于：所述机架(2)包括一对竖杆(21)，所述竖杆(21)的上端共同设有与之一体成型的横杆(22)，所述竖杆(21)的内侧均设有竖直方向的滑槽；所述载重板(3)位于所述竖杆(21)之间，其两侧分别设有可沿与之对应的所述滑槽移动的升降滑杆(31)；所述载重板(3)的上端与固接在所述横杆(22)上的电缸(32)连接。
技术研发人员：李想，
申请(专利权)人：爱发科电子材料苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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