大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，包括对称设置在加工平台两侧的机架，所述机架上设有可升降移动的载重板，所述载重板的下端分别设有翻转夹持机构、辅助承重机构，所述辅助承重机构位于所述翻转夹持机构与加工平台之间。所述翻转夹持机构包括立板，所述立板上设有可转动的翻转板，所述翻转板的一侧设有用于夹紧溅射靶材的夹持组件。所述辅助承重机构包括与所述载重板转动连接的角板，所述角板的下端设有可套装在溅射靶材上的承重吊带，所述承重吊带用于防止溅射靶材在翻转中滑脱。本实用新型专利技术通过机械配合实现了溅射靶材的自动翻转，减轻了工人的劳动强度，而且避免了翻转导致的溅射靶材表面擦伤，提高了溅射靶材的成品质量。

Turning fixture for large size split sputtering target

【技术实现步骤摘要】
大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具
本技术涉及溅射靶材制造领域，尤其涉及一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具。
技术介绍
磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式，是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜，这种被镀的材料就叫溅射靶材。溅射靶材在焊接、喷砂、清洗等加工过程中需要反复翻转以保证靶材正反面都能被加工到。一般是先将溅射靶材放置到加工平台上，待溅射靶材的一面加工好后，通过人工配合将溅射靶材翻转180度后重新放置到加工平台上以加工另一面。但对于大尺寸分割型溅射靶材来说，其尺寸、重量都比较大，人工翻转的劳动强度较大，而且目前人工翻转是以加工平台为支撑面的，在翻转过程中，溅射靶材的侧边容易磕碰到加工平台上，造成溅射靶材表面擦伤，影响成品质量。
技术实现思路
为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，通过机械配合不仅实现了溅射靶材的自动翻转，减轻了工人的劳动强度，而且避免了翻转导致的溅射靶材表面擦伤，提高了溅射靶材的成品质量。为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，包括对称设置在加工平台两侧的机架，所述机架上设有可升降移动的载重板，所述载重板的下端分别设有翻转夹持机构、辅助承重机构，所述辅助承重机构位于所述翻转夹持机构与加工平台之间。所述翻转夹持机构包括与所述载重板固接的立板，所述立板上设有可转动的翻转板，所述翻转板靠近所述加工平台的一侧设有用于夹紧溅射靶材的夹持组件。所述辅助承重机构包括与所述载重板转动连接的角板，所述角板的下端设有可套装在溅射靶材上的承重吊带，所述承重吊带用于防止溅射靶材在翻转中滑脱。将溅射靶材套设到位于加工平台两侧的承重吊带上，并使夹持组件夹紧溅射靶材的两端；当需要翻转溅射靶材时，驱动载重板向上移动到一定高度，翻转夹持机构、辅助承重机构随之上移，此时承重吊带与夹持组件共同承载溅射靶材的重量；驱动翻转板转动，此时夹紧组件带动溅射靶材随之转动，通过承重吊带可以辅助支撑溅射靶材的重量，防止溅射靶材在翻转时滑脱，减轻夹紧组件的支撑压力。进一步来说，所述机架包括一对竖杆，所述竖杆的上端共同设有与之一体成型的横杆，所述竖杆的内侧均设有竖直方向的滑槽。所述承重板位于所述竖杆之间，其两侧分别设有可沿与之对应的所述滑槽移动的升降滑杆。所述承重板的上端与固接在所述横杆上的电缸连接。通过电缸实现了承重板的上下移动，通过滑槽与升降滑杆的配合限定了承重板的移动方向。进一步来说，所述立板上穿设有与之固接的轴座，所述轴座内设有旋转轴。所述旋转轴的一端与固接在所述立板上的转动电机连接，另一端延伸出所述轴座并与所述翻转板固接。通过转动电机实现了旋转轴的转动，进而实现了翻转板的转动。进一步来说，所述夹持组件包括上下分布的、配合使用的上夹板、下夹板，所述下夹板固接在所述翻转板上，所述上夹板滑动设置在所述翻转板上。所述上夹板的上端设有驱动其向所述下夹板方向移动的驱动件。通过驱动件实现了上夹板的移动，进而使得上夹板、下夹板之间的间距能适用不同厚度的溅射靶材。进一步来说，所述翻转板上设有可供所述上夹板移动的竖直滑轨。所述竖直滑轨位于所述下夹板的上方，其两端均设有限位挡块。通过限位挡块限制了上夹板的移动范围，防止上夹板从竖直滑轨上滑脱。进一步来说，所述上夹板、下夹板上均设有用于夹紧溅射靶材的弹性夹条。通过弹性夹条能够弹性夹紧溅射靶材，避免溅射靶材在夹持过程中的刮伤。进一步来说，所述竖杆的下端设有刹车轮。通过刹车轮便于移动及固定机架的位置。本技术的有益效果在于：通过可升降的载重板能带动溅射靶材上移，避免溅射靶材翻转过程中磕碰到加工平台；通过位于加工平台两侧的夹持组件能夹紧溅射靶材，通过可转动的翻转板能带动夹持组件翻转，进而带动溅射靶材翻转；通过承重吊带能在溅射靶材上移过程中承载溅射靶材的重量，并在溅射靶材翻转时，辅助支撑溅射靶材，防止溅射靶材从夹持组件中滑脱，提高溅射靶材翻转的安全性。本技术通过机械配合不仅实现了溅射靶材的自动翻转，减轻了工人的劳动强度，而且避免了翻转导致的溅射靶材表面擦伤，提高了溅射靶材的成品质量。附图说明图1为本技术实施例的正视图；图2为本技术实施例的机架的右视图；图3为本技术实施例的翻转夹持机构、辅助承重机构的正视图。图中：1-加工平台；2-机架；21-竖杆；211-刹车轮；22-横杆；3-载重板；31-升降滑杆；32-电缸；4-翻转夹持机构；41-立板；42-轴座；43-转动电机；44-翻转板；451-竖直滑轨；452-下夹板；453-上夹板；454-弹性夹条；5-辅助承重机构；51-角板；52-承重吊带。具体实施方式下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。实施例参见附图1所示，本技术的一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，包括对称设置在加工平台1两侧的机架2，所述机架2上设有可升降移动的载重板3，所述载重板3的下端分别设有翻转夹持机构4、辅助承重机构5，所述辅助承重机构5位于所述翻转夹持机构4与加工平台1之间。参见附图2所示，所述机架2包括一对竖杆21，所述竖杆21的上端共同设有与之一体成型的横杆22，所述竖杆21的内侧均设有竖直方向的滑槽，下端均设有便于移动的刹车轮211。所述承重板3位于所述竖杆21之间，其两侧分别设有可沿与之对应的所述滑槽移动的升降滑杆31。所述承重板3的上端与固接在所述横杆22上的电缸32连接。驱动电缸32，承重板3随之上移或下移，此时升降滑杆31沿着与之对应的滑槽上移或下移。参见附图3所示，所述翻转夹持机构4包括与所述载重板3固接的立板41，所述立板41上穿设有与之固接的轴座42，所述轴座42内穿设有旋转轴，所述旋转轴的一端与固接在所述立板41上的转动电机43连接，另一端延伸出所述轴座42并与翻转板44固接。所述翻转板44位于所述立板41靠近所述加工平台1的一侧。所述翻转板44靠近所述加工平台1的一侧设有用于夹紧溅射靶材的夹持组件。所述夹持组件包括固接在所述翻转板44上的竖直滑轨451、下夹板452，所述下夹板452位于所述竖直滑轨451的下方。所述竖直滑轨451上滑动设置有与所述下夹板452配合夹紧溅射靶材的上夹板453，所述上夹板453的上端设有驱动其移动的驱动件，所述驱动件固接在所述翻转板44上。所述驱动件可选用气缸或直线电机。所述竖直滑轨451的两端还设有防止所述上夹板453滑脱的限位挡块。优选的，所述上夹板453、下夹板452上均设有用于夹紧溅射靶材的弹性夹条454。通过弹性夹条454能够弹性夹紧溅射靶材，避免溅射靶材在夹持过程中的刮伤。所述辅助承重机构5包括呈倒“U”型结构的角板51，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，其特征在于：包括对称设置在加工平台(1)两侧的机架(2)，所述机架(2)上设有可升降移动的载重板(3)，所述载重板(3)的下端分别设有翻转夹持机构(4)、辅助承重机构(5)，所述辅助承重机构(5)位于所述翻转夹持机构(4)与加工平台(1)之间；所述翻转夹持机构(4)包括与所述载重板(3)固接的立板(41)，所述立板(41)上设有可转动的翻转板(44)，所述翻转板(44)靠近所述加工平台(1)的一侧设有用于夹紧溅射靶材的夹持组件；所述辅助承重机构(5)包括与所述载重板(3)转动连接的角板(51)，所述角板(51)的下端设有可套装在溅射靶材上的承重吊带(52)，所述承重吊带(52)用于防止溅射靶材在翻转中滑脱。/n

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，其特征在于：包括对称设置在加工平台(1)两侧的机架(2)，所述机架(2)上设有可升降移动的载重板(3)，所述载重板(3)的下端分别设有翻转夹持机构(4)、辅助承重机构(5)，所述辅助承重机构(5)位于所述翻转夹持机构(4)与加工平台(1)之间；所述翻转夹持机构(4)包括与所述载重板(3)固接的立板(41)，所述立板(41)上设有可转动的翻转板(44)，所述翻转板(44)靠近所述加工平台(1)的一侧设有用于夹紧溅射靶材的夹持组件；所述辅助承重机构(5)包括与所述载重板(3)转动连接的角板(51)，所述角板(51)的下端设有可套装在溅射靶材上的承重吊带(52)，所述承重吊带(52)用于防止溅射靶材在翻转中滑脱。


2.根据权利要求1所述的翻转治具，其特征在于：所述机架(2)包括一对竖杆(21)，所述竖杆(21)的上端共同设有与之一体成型的横杆(22)，所述竖杆(21)的内侧均设有竖直方向的滑槽；所述载重板(3)位于所述竖杆(21)之间，其两侧分别设有可沿与之对应的所述滑槽移动的升降滑杆(31)；所述载重板(3)的上端与固接在所述横杆(22)上的电缸(32)连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：李想，
申请(专利权)人：爱发科电子材料苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32