【技术实现步骤摘要】
本技术涉及吊装装置，尤其涉及一种靶材吊装装置。
技术介绍
1、镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，利用不同功率密度、不同输出波形、不同波长的离子束流轰击固体表面，离子和固体表面的原子发生动能交换，从而将靶材溅射到基板上，形成溅射镀膜。
2、在加工车间或工厂，对于大型较重圆柱形靶材的移动及车床装卡等吊装，主要采用绳索来完成，人工搬运存在装夹难度大且危险等诸多不利因素。
3、目前，一般吊装工件的夹具主要分为刚性与柔性吊装夹具两类，刚性吊装夹具一般通过夹钳来实现，如垂直吊装圆柱类零件或毛坯的夹具、垂直吊装钢板的夹具等；柔性吊装夹具一般通过纤维绳索来实现，如水平吊装圆柱形毛坯或零件等长轴类零件。
4、夹钳种类很多，绳索只适合于长径比较大的靶材的吊装，在吊装时，需要两个人协作先把靶材扶起，然后吊带包住外圆的一侧避开夹持位置(可能悬空)从而吊装，因绳子的干涉而不利于车床三爪卡盘等进行装卡，且吊装物容易脱落而造...
【技术保护点】
1.一种靶材吊装装置，其特征在于：包括吊具本体以及调距机构；所述吊具本体包括吊具支架以及位于其顶部的吊环，所述吊具支架包括多个连接部以及支撑部，所述吊具支架上设置有移动卡爪以及若干固定卡爪，所述移动卡爪套设在连接部上，所述调距机构能够驱动所述移动卡爪沿连接部的高度方向往返移动，以将靶材夹持在移动卡爪与固定卡爪之间。
2.根据权利要求1所述的一种靶材吊装装置，其特征在于：所述移动卡爪与固定卡爪靠近支撑部的一端与连接部相连接，所述移动卡爪一端开设有能套设在连接部上的移动槽口。
3.根据权利要求1所述的一种靶材吊装装置，其特征在于：所述连接部环绕所述...
【技术特征摘要】
1.一种靶材吊装装置，其特征在于：包括吊具本体以及调距机构；所述吊具本体包括吊具支架以及位于其顶部的吊环，所述吊具支架包括多个连接部以及支撑部，所述吊具支架上设置有移动卡爪以及若干固定卡爪，所述移动卡爪套设在连接部上，所述调距机构能够驱动所述移动卡爪沿连接部的高度方向往返移动，以将靶材夹持在移动卡爪与固定卡爪之间。
2.根据权利要求1所述的一种靶材吊装装置，其特征在于：所述移动卡爪与固定卡爪靠近支撑部的一端与连接部相连接，所述移动卡爪一端开设有能套设在连接部上的移动槽口。
3.根据权利要求1所述的一种靶材吊装装置，其特征在于：所述连接部环绕所述支撑部阵列设置，且每个所述连接部远离支撑部的一端均设置有圆弧型卡扣。
4.根据权利要求1所述的一种靶材吊装装置，其特征在于：所述移动卡爪与两个固定卡爪之间形成稳定的三角形结构。
【专利技术属性】
技术研发人员：朱海波，
申请(专利权)人：爱发科电子材料苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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