一种大尺寸靶材翻转机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种大尺寸靶材翻转机，包括架体组件，还包括：高度调节组件，高度调节组件和架体组件活动连接；夹紧翻转组件，夹紧翻转组件通过高度调节组件和架体组件连接，夹紧旋转组件包括旋转电机和旋转架，旋转电机能带动旋转架进行旋转，旋转架上设置有驱动气缸，驱动气缸和夹紧块连接，通过驱动气缸驱动夹紧块对靶材进行夹持固定。通过旋转电机和旋转架的设置，旋转电机带动旋转架旋转，进而带动被夹紧块夹持固定的靶材进行同步旋转，翻转过程自动完成，相比传统的翻转机，节省人工成本的同时更加安全，克服了人工翻转具有掉落的风险，并且克服了吊绳有磨损，需要经常更换的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸靶材翻转机


[0001]本技术属于溅射靶材制备
，具体涉及一种大尺寸靶材翻转机。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式，是电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜，这种被镀的材料就叫溅射靶材。
[0003]溅射靶材在焊接、喷砂、清洗等加工过程中需要反复翻转以保证靶材正反面都能被加工到。一般是先将溅射靶材放置到加工平台上，待溅射靶材的一面加工好后，通过人工配合将溅射靶材翻转180度后重新放置到加工平台上以加工另一面。但对于大尺寸分割型溅射靶材来说，其尺寸、重量都比较大，用传统的翻转机加吊绳吊装产品进行翻转，具有掉落的风险，并且吊绳有磨损，需要经常更换。

技术实现思路

[0004]本技术的目的主要根据以上存在的不足，提供一种大尺寸靶材翻转机。
[0005]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种大尺寸靶材翻转机，包括架体组件，还包括：
[0006]高度调节组件，所述高度调节组件和所述架体组件活动连接；
[0007]夹紧翻转组件，所述夹紧翻转组件通过所述高度调节组件和所述架体组件连接，所述夹紧旋转组件包括旋转电机和旋转架，所述旋转电机能带动所述旋转架进行旋转，所述旋转架上设置有驱动气缸，所述驱动气缸通过伸缩杆和夹紧块连接，通过驱动气缸驱动所述夹紧块对靶材进行夹持固定。
[0008]通过驱动气缸的设置，驱动气缸驱动夹持块对靶材进行夹紧，使翻转机适用于不同尺寸的靶材，能对不同尺寸的靶材进行夹紧；通过旋转电机和旋转架的设置，旋转电机带动旋转架旋转，进而带动被夹紧块夹持固定的靶材进行同步旋转，翻转过程自动完成，不需要人工配合，相比传统的翻转机，更节省人工成本。
[0009]进一步地，所述旋转架为由四根首尾依次相连的长条杆组成的“口”字型结构，每条所述长条杆上均设置有驱动气缸。
[0010]进一步地，所述高度调节组件包括丝杆，所述架体组件上设置有自上而下的长条形凹槽，所述丝杆设置在所述长条形凹槽内，所述丝杆一端贯穿长条形凹槽的侧面和丝杆电机连接，所述丝杆电机能带动丝杆进行旋转。
[0011]进一步地，所述高度调节组件还包括滑轨和滑块，所述滑轨设置在所述长条形凹槽内，和所述长条形凹槽的侧壁固定连接，所述丝杆贯穿所述滑块，所述丝杆转动过程中，能带动所述滑块沿着所述滑轨上下滑动。
[0012]进一步地，所述旋转电机设置在所述滑块的内部，所述旋转电机的输出轴贯穿所述滑块的侧壁和旋转架连接。
[0013]进一步地，所述夹紧块在远离所述驱动气缸的一侧设置有夹持凹槽，所述夹持凹槽在竖直方向的横截面为等腰梯形结构，即夹持凹槽开口处面积大于夹持凹槽的槽底部的面积。
[0014]进一步地，架体组件包括两根对称设置的支撑柱，所述支撑柱一端和地面连接，另一端通过横梁将两根支撑柱进行连接，所述支撑柱靠近地面的一端设置有固定柱，所述支撑柱和所述固定柱固定连接，并且垂直设置，所述固定柱上设置有膨胀螺丝，用于和地面连接。
[0015]进一步地，架体组件还包括连接杆，所述连接杆一端和支撑柱固定连接，另一端和固定柱连接，固定柱、支撑柱和连接杆组成结构稳定的三角形。
[0016]进一步地，还包括限位件，所述限位件两端分别和相邻的两根固定柱连接，并且限位件和固定柱垂直设置。
[0017]进一步地，还包括导向件，所述导向件和限位件固定连接，所述导向件远离限位件的一端设置有倾斜台面，用于对料车进行导向，所述导向件设置有两个，分别位于料车的左右两侧。
[0018]本技术的有益效果是：通过驱动气缸的设置，驱动气缸驱动夹持块对靶材进行夹紧，使翻转机适用于不同尺寸的靶材，能对不同尺寸的靶材进行夹紧；通过旋转电机和旋转架的设置，旋转电机带动旋转架旋转，进而带动被夹紧块夹持固定的靶材进行同步旋转，翻转过程自动完成，相比传统的翻转机，节省人工成本的同时更加安全，克服了人工翻转具有掉落的风险，并且克服了吊绳有磨损，需要经常更换的问题。
附图说明
[0019]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术一实施例的翻转机和料车的立体图；
[0022]图2为本技术一实施例的翻转机的主视图；
[0023]图3为本技术一实施例的夹紧翻转组件的立体图。
[0024]图中：1、架体组件；11、支撑柱；111、长条形凹槽；12、横梁；13、固定柱；14、连接杆；15、限位件；16、导向件；161、倾斜台面；2、高度调节组件；21、滑轨；22、丝杆；23、滑块；3、夹紧翻转组件；31、旋转架；32、驱动气缸；33、伸缩杆；34、夹紧块；341、夹持凹槽；35、输出轴；4、料车。
具体实施方式
[0025]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域
技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0026]一般而言，溅射靶材主要由靶材，背板等组成。其中，靶材坯料是高速离子束轰击的靶材，属于溅射靶材的核心部分。在溅射镀膜过程中，靶材被离子击中后，靶材表面的原子被溅射并沉积在基板上，形成电子膜。由于高纯度金属通常较软，因此需要将溅射靶安装在专用机器上以完成溅射过程。机器内部处于高压和高真空的环境中。因此，背板主要用于固定溅射靶材料，并且需要具有良好的导电性和导热性。
[0027]一般而言，背板具有多种规格，如950背板、1200背板、1500背板、1800背板、G6背板等，不同的背板规格具有不同的尺寸，如G6背板的尺寸为2630mm*1900mm*18mm，1800背板的尺寸为2515mm*1751mm*18mm。本实施例中的一种大尺寸靶材翻转机，其可自动翻转不同规格的背板，操作简单，实用性广。
[0028]参见附图1和2所示，一种大尺寸靶材翻转机，包括架体组件1和夹紧翻转组件3，所述夹紧翻转组件3通过高度调节组件2和架体组件1连接，所述架体组件1对夹紧翻转组件3进行支撑和固定。
[0029]在一些是实施例中，架体组件1包括两根对称设置的支撑柱11，所述支撑柱11一端和地面连接，另一端通过横梁12将两根支撑柱11进行连接，以增加两根支撑柱11本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸靶材翻转机，包括架体组件(1)，其特征在于，还包括：高度调节组件(2)，所述高度调节组件(2)和所述架体组件(1)活动连接；夹紧翻转组件(3)，所述夹紧翻转组件(3)通过所述高度调节组件(2)和所述架体组件(1)连接，所述夹紧翻转组件(3)包括旋转电机和旋转架(31)，所述旋转电机能带动所述旋转架(31)进行旋转，所述旋转架(31)上设置有驱动气缸(32)，所述驱动气缸(32)通过伸缩杆(33)和夹紧块(34)连接，通过驱动气缸(32)驱动所述夹紧块(34)对靶材进行夹持固定。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸靶材翻转机，其特征在于，所述旋转架(31)为由四根首尾依次相连的长条杆组成的“口”字型结构，每条所述长条杆上均设置有驱动气缸(32)。3.根据权利要求1所述的一种大尺寸靶材翻转机，其特征在于，所述高度调节组件包括丝杆(22)，所述架体组件(1)上设置有自上而下的长条形凹槽(111)，所述丝杆(22)设置在所述长条形凹槽(111)内，所述丝杆(22)一端贯穿长条形凹槽(111)的侧面和丝杆电机连接，所述丝杆电机能带动丝杆(22)进行旋转。4.根据权利要求3所述的一种大尺寸靶材翻转机，其特征在于，所述高度调节组件还包括滑轨(21)和滑块(23)，所述滑轨(21)设置在所述长条形凹槽(111)内，和所述长条形凹槽(111)的侧壁固定连接，所述丝杆(22)贯穿所述滑块(23)，所述丝杆(22)转动过程中，能带动所述滑块(23)沿着所述滑轨(21)上下滑动。5.根据权利要求4所述的一种大尺寸靶材翻转机，其特征在于，所述旋转电机设置在所述滑块(23)的内部，所述旋转电...

【专利技术属性】
技术研发人员：李想，
申请(专利权)人：爱发科电子材料苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：