【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材生产，尤其涉及一种靶材加工用上料推车。
技术介绍
1、靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，利用不同功率密度、不同输出波形、不同波长的离子束流轰击固体表面，离子和固体表面的原子发生动能交换，从而制造出不同的溅射靶材。在靶材加工的过程中，需要使用上料推车来实现靶材在不同工艺设备之间的流转，但现有的上料推车只能将待加工的靶材运送至相应的工艺设备处，然后需要人工将靶材搬运到工艺设备内部，加工完成后，再由人工搬运回上料推车上。这样操作不仅费时费力，而且搬运过程中容易出现磕碰的问题，影响靶材质量。
技术实现思路
1、为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种靶材加工用上料推车，既能减轻靶材搬运的工作量，又能避免靶材搬运过程中的磕碰现象。
2、为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种靶材加工用上料推车，包括推车本体；所述推车本体上滑动设置有能向靠近或远离工艺设备方向移动的靶材载具，所述靶材载具远离工艺设备的一端能通过锁止件与所述推车本体锁定；
3、所述推车本体上设有导向件，所述靶材载具能在所述导向件的作用下进入到所述工艺设备内；所述靶材载具包括推板，所述推板的上端安装有用以放置靶材的底盘，所述推板的两侧对称安装有能沿所述导向件移动的滚轮。
4、本技术的有益效果在于：
5、通过在推车本体上设置导向件，使得能沿推车本体移动的靶材载具能在导向件的作用下移动至工艺设备内，进而使得放置在靶材载具上的靶材能进入到工艺设备内，避免人工搬运的工作量
6、进一步来说，所述导向件包括平行布设在所述推车本体上端的两个导向滑轨，所述导向滑轨靠近所述工艺设备的一端延伸出所述推车本体并能伸入至所述工艺设备内。以使靶材载具能沿着导向滑轨进入到工艺设备中。
7、进一步来说，所述导向滑轨包括对称设置的两个斜板；两个斜板相互靠近的一端固定连接，两个斜板相互远离的一端分别与所述推车本体固定连接；且两个所述斜板的外侧面共同形成供滚轮套装的导向面。由于斜板的外侧面呈倾斜状态，这样使得导向面能适应不同规格的滚轮，以提高导向滑轨的适用范围。
8、进一步来说，所述滚轮包括两个滚动圆板，两个所述滚动圆板之间通过轴杆连接；当所述滚轮套装在所述导向面上时，两个所述滚动圆板分别抵接在两个所述斜板的外侧面上。
9、进一步来说，所述导向滑轨靠近所述工艺设备的一端还设有导向杆，所述导向杆能插入至工艺设备的导向槽内。通过导向杆与工艺设备的导向槽的配合能对导向滑轨相对于工艺设备的位置进行限定，进而能对靶材载具进入到工艺设备内的位置进行限定。
10、进一步来说，所述导向滑轨远离所述工艺设备的一端还设有用以限制滚轮移动范围的止挡板。
11、进一步来说，所述推板远离所述工艺设备的一端设有推板扶手，所述推车本体远离所述工艺设备的一端设有推车扶手，所述锁止件位于所述推板扶手、推车扶手之间。通过推板扶手的设置便于施力推动推板，同样，通过推车扶手的设置便于施力推动推车本体；再将锁止件设置在推板扶手、推车扶手之间既实现了锁止件的锁止动作，又能避免锁止件设置在其他位置上时对推板或推车本体移动的干扰。
12、进一步来说，所述锁止件包括固定座、锁止杆、插孔座，所述固定座固接在推车扶手上，所述插孔座固接在所述推板扶手上，所述锁止杆的一端通过销轴转动设置在所述固定座上，另一端设有能插入至所述插孔座内的锁止端。
13、当锁止端插入在插孔座内时，推车扶手、推板扶手锁定；当需要解锁时，手持锁止杆并上抬锁止杆，以使锁止杆沿着固定座转动，锁止端离开插孔座即可。
14、进一步来说，所述推车本体包括推车架体，所述推车架体的下端安装有多个万向轮。通过万向轮的设置实现了推车架体的万向移动。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种靶材加工用上料推车，包括推车本体；其特征在于：所述推车本体上滑动设置有能向靠近或远离工艺设备方向移动的靶材载具，所述靶材载具远离工艺设备的一端能通过锁止件与所述推车本体锁定；
2.根据权利要求1所述的上料推车，其特征在于：所述导向件包括平行布设在所述推车本体上端的两个导向滑轨，所述导向滑轨靠近所述工艺设备的一端延伸出所述推车本体并能伸入至所述工艺设备内。
3.根据权利要求2所述的上料推车，其特征在于：所述导向滑轨包括对称设置的两个斜板；两个斜板相互靠近的一端固定连接，两个斜板相互远离的一端分别与所述推车本体固定连接；且两个所述斜板的外侧面共同形成供滚轮套装的导向面。
4.根据权利要求3所述的上料推车，其特征在于：所述滚轮包括两个滚动圆板，两个所述滚动圆板之间通过轴杆连接；当所述滚轮套装在所述导向面上时，两个所述滚动圆板分别抵接在两个所述斜板的外侧面上。
5.根据权利要求2所述的上料推车，其特征在于：所述导向滑轨靠近所述工艺设备的一端还设有导向杆，所述导向杆能插入至工艺设备的导向槽内。
6.根据权利要求2所述的上料
7.根据权利要求1-6任一所述的上料推车，其特征在于：所述推板远离所述工艺设备的一端设有推板扶手，所述推车本体远离所述工艺设备的一端设有推车扶手，所述锁止件位于所述推板扶手、推车扶手之间。
8.根据权利要求7所述的上料推车，其特征在于：所述锁止件包括固定座、锁止杆、插孔座，所述固定座固接在推车扶手上，所述插孔座固接在所述推板扶手上，所述锁止杆的一端通过销轴转动设置在所述固定座上，另一端设有能插入至所述插孔座内的锁止端。
9.根据权利要求1所述的上料推车，其特征在于：所述推车本体包括推车架体，所述推车架体的下端安装有多个万向轮。
...【技术特征摘要】
1.一种靶材加工用上料推车，包括推车本体；其特征在于：所述推车本体上滑动设置有能向靠近或远离工艺设备方向移动的靶材载具，所述靶材载具远离工艺设备的一端能通过锁止件与所述推车本体锁定；
2.根据权利要求1所述的上料推车，其特征在于：所述导向件包括平行布设在所述推车本体上端的两个导向滑轨，所述导向滑轨靠近所述工艺设备的一端延伸出所述推车本体并能伸入至所述工艺设备内。
3.根据权利要求2所述的上料推车，其特征在于：所述导向滑轨包括对称设置的两个斜板；两个斜板相互靠近的一端固定连接，两个斜板相互远离的一端分别与所述推车本体固定连接；且两个所述斜板的外侧面共同形成供滚轮套装的导向面。
4.根据权利要求3所述的上料推车，其特征在于：所述滚轮包括两个滚动圆板，两个所述滚动圆板之间通过轴杆连接；当所述滚轮套装在所述导向面上时，两个所述滚动圆板分别抵接在两个所述斜板的外侧面上。
5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐东起，董意男，周振坤，陈跃进，张玉河，程小明，丁静仁，王冬振，董常亮，高奇峰，
申请(专利权)人：爱发科电子材料苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。