靶材喷砂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种靶材喷砂装置，包括喷砂箱体

【技术实现步骤摘要】
靶材喷砂装置


[0001]本技术涉及靶材生产设备
，尤其涉及一种靶材喷砂装置
。

技术介绍

[0002]靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，利用不同功率密度
、
不同输出波形
、
不同波长的离子束流轰击固体表面，离子和固体表面的原子发生动能交换，从而将靶材溅射到基板上，形成溅射镀膜
。
在靶材加工的过程中，需对靶材及背板进行喷砂处理，以去除靶材表面的毛刺
、
划痕等瑕疵，改善其表面的粗糙度，且喷砂后的区域对于溅射过程中的逆向膜有吸附作用，从而避免了溅射过程中的异常放电
。
靶材喷砂区域主要是在背板边缘，而现有的喷砂设备需要人工将靶材搬运至喷砂腔室内，在人工搬运的过程中，靶材背板边缘存在碰伤的风险，进而影响靶材的喷砂质量及工作效率
。

技术实现思路

[0003]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种靶材喷砂装置，能有效避免靶材搬运过程中的碰伤风险，保证靶材喷砂质量
。
[0004]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种靶材喷砂装置，包括
[0005]喷砂箱体，所述喷砂箱体内设有喷砂腔室，所述喷砂箱体的一侧设有与所述喷砂腔室连通的腔室开启侧；所述喷砂腔室的内底壁上布设有延伸至所述腔室开启侧的一号导轨；
[0006]移动台车，所述移动台车位于所述喷砂箱体的一侧并能向靠近或远离所述腔室开启侧的方向移动；所述移动台车包括台车本体及靶材载具，所述台车本体的上端面与所述喷砂腔室的内底壁齐平，且所述台车本体的上端面上设有二号导轨；当所述移动台车移动至腔室开启侧时，所述一号导轨能与所述二号导轨抵接，以使位于所述二号导轨上的靶材载具能移动至一号导轨上
。
[0007]本技术的有益效果在于：
[0008]通过移动台车搬运靶材能避免人工搬运的劳动强度，再通过将台车本体的上端面与喷砂腔室的内底壁齐平，使得台车本体移动至腔室开启侧时，台车本体的上端面能对准喷砂腔室的内底壁，进而使得一号导轨
、
二号导轨的高度一致，保证靶材载具的稳定移动；此外，通过靶材载具在一号导轨
、
二号导轨上的移动，实现在靶材载具上的靶材在台车本体与喷砂腔室之间的流转，进而避免了人工搬运过程中的靶材碰伤风险
。
[0009]进一步来说，所述靶材载具包括移动设置在二号导轨上的载具底板，所述载具底板上安装有能在驱动件作用下转动的转盘，所述转盘用以放置靶材
。
当靶材放置到转盘上时，通过转盘的转动能带动靶材转动，进而便于对靶材的不同部位进行喷砂处理
。
需要注意的是，转盘上还需设置夹持靶材的夹持件，以保证靶材在转盘上的位置稳定性
。
[0010]进一步来说，所述载具底板远离所述腔室开启侧的一端通过锁止件与所述台车本体连接；所述锁止件包括固定座
、
锁止杆
、
插孔座，所述固定座固接在台车本体上，所述插孔
座固接在载具底板上，所述锁止杆的一端通过销轴转动设置在所述固定座上，另一端设有能插入至所述插孔座内的锁止端
。
通过锁止件的设置能实现对载具底板的锁定或解锁动作，以对载具底板在台车本体上的移动进行锁止；当锁止端插入至插孔座内时，载具底板被锁定在台车本体上，此时，载具底板不能沿台车本体移动；当转动锁止杆以使锁止端离开插孔座时，载具底板与台车本体解除锁定，此时，载具底板能沿台车本体移动
。
[0011]进一步来说，所述二号导轨靠近所述腔室开启侧的一端延伸出所述台车本体并连接有限位插杆；所述一号导轨的一端设有供所述限位插杆插入的插槽
。
通过限位插杆
、
插槽的设置对台车本体与喷砂箱体的对接位置进行了限定，进而能使二号导轨更准确的对接到一号导轨上
。
[0012]进一步来说，所述一号导轨
、
二号导轨均包括对称设置的两个斜板，两个斜板的外侧面共同形成供载具底板移动的导向面
。
[0013]进一步来说，所述载具底板包括底板本体，所述底板本体上设有移动滚轮，所述移动滚轮包括两个滚动圆板，两个所述滚动圆板之间通过轴杆连接；且两个所述滚动圆板分别抵接在两个所述斜板的外侧面上
。
通过斜板的设置使得导向面呈现出倾斜的态势，当移动滚轮位于导向面上时，通过倾斜的导向面能适配不同规格的移动滚轮，保证移动滚轮在导向面上移动的稳定性
。
[0014]进一步来说，所述二号导轨上还设有用以限制所述靶材载具移动范围的止挡板
。
[0015]进一步来说，所述台车本体靠近所述腔室开启侧的一端还设有插销，所述喷砂腔室的内底壁上设有与所述插销对应设置的插孔座
。
通过插销与插孔座的设置进一步的对台车本体与喷砂箱体的对接位置进行了限定
。
[0016]进一步来说，所述喷砂箱体架设在喷砂机架上，其下端设有接料口，其一侧设有与所述喷砂腔室连通的操作手孔
。
附图说明
[0017]图1为本技术实施例的靶材喷砂装置的结构示意图；
[0018]图2为本技术实施例的喷砂箱体的结构示意图；
[0019]图3为本技术实施例的移动台车的结构示意图；
[0020]图4为图3中
A
部位的局部放大图；
[0021]图5为图3中
B
部位的局部放大图
。
[0022]图中：
[0023]1‑
喷砂箱体；
11
‑
喷砂腔室；
111
‑
插孔座；
12
‑
一号导轨；
121
‑
插槽；
13
‑
接料口；
14
‑
操作手孔；
15
‑
门板；
[0024]2‑
移动台车；
21
‑
台车本体；
22
‑
靶材载具；
221
‑
载具底板；
222
‑
转盘；
223
‑
移动滚轮；
23
‑
二号导轨；
231
‑
止挡板；
232
‑
限位插杆；
24
‑
插销；
[0025]3‑
锁止件
。
具体实施方式
[0026]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确
的界定
。
[0027]实施例
[0028]参见附图1‑3所示，本技术的一种靶材喷砂装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种靶材喷砂装置，其特征在于：包括喷砂箱体，所述喷砂箱体内设有喷砂腔室，所述喷砂箱体的一侧设有与所述喷砂腔室连通的腔室开启侧；所述喷砂腔室的内底壁上布设有延伸至所述腔室开启侧的一号导轨；移动台车，所述移动台车位于所述喷砂箱体的一侧并能向靠近或远离所述腔室开启侧的方向移动；所述移动台车包括台车本体及靶材载具，所述台车本体的上端面与所述喷砂腔室的内底壁齐平，且所述台车本体的上端面上设有二号导轨；当所述移动台车移动至腔室开启侧时，所述一号导轨能与所述二号导轨抵接，以使位于所述二号导轨上的靶材载具能移动至一号导轨上
。2.
根据权利要求1所述的靶材喷砂装置，其特征在于：所述靶材载具包括移动设置在二号导轨上的载具底板，所述载具底板上安装有能在驱动件作用下转动的转盘，所述转盘用以放置靶材
。3.
根据权利要求2所述的靶材喷砂装置，其特征在于：所述载具底板远离所述腔室开启侧的一端通过锁止件与所述台车本体连接；所述锁止件包括固定座
、
锁止杆
、
插孔座，所述固定座固接在台车本体上，所述插孔座固接在载具底板上，所述锁止杆的一端通过销轴转动设置在所述固定座上，另一端设有能插入至所述插孔座内的锁止端
。4.
...

【专利技术属性】
技术研发人员：董意男，程小明，陈跃进，周振坤，张玉河，王冬振，徐东起，丁静仁，董常亮，高奇峰，
申请(专利权)人：爱发科电子材料苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：