阳极背板悬挂固定结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种阳极背板悬挂固定结构，包括腔体后面板，腔体后面板上设有至少两个挂具，挂具尾端与腔体后面板连接，前端设有止脱部，止脱部上端高于挂具主体，阳极背板设有与挂具对应的连接腔，连接腔上部设有与挂具止脱部对应的止脱腔，挂具伸入连接腔后阳极背板在自重作用下止脱腔卡住止脱部。悬挂固定结构安装方便，只需将阳极背板上的连接腔对准腔体后面板上的挂具推入即可，阳极背板会在自重作用下止脱腔卡住止脱部完成固定，降低更换阳极背板人员工作强度，提高效率，减少因为人工介入而导致的螺丝未拧紧、漏拧以及过紧等现象。并且阳极背板的正面无固定结构，从而增加了表面吸附面积，降低产品不良率。

Anode back plate hanging and fixing structure

【技术实现步骤摘要】
阳极背板悬挂固定结构
本技术涉及一种磁控溅射膜背板。
技术介绍
磁控溅射膜主要利用辉光放电将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面，靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化，造成靶与氩气离子间的撞击机率增加，提高溅镀速率。一般金属镀膜大都采用直流溅镀，而不导电的陶磁材料则使用RF交流溅镀，基本的原理是在真空中利用辉光放电将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面，等离子电源中的阳离子会加速冲向作为被溅镀材的负电极表面，这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜。但未溅射到镀材表面的残留气氛在无镀材时，若未被吸引到引极则会引发薄膜厚度变化，导致产品不良。现有的基板固定方式是从基板的正面和背面双面利用螺栓由人工进行锁附，可能发生螺栓未拧紧、漏拧以及过紧等现象，并且基板正面用于锁附的部位无法进行吸附，容易导致产品不良。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种悬挂式阳极背板，解决现有阳极背板固定方式的缺陷。为了解决以上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阳极背板悬挂固定结构，其特征在于：包括腔体后面板，所述腔体后面板上设有至少两个挂具，所述挂具尾端与腔体后面板连接，前端设有止脱部，止脱部上端高于挂具主体，阳极背板设有与挂具对应的连接腔，所述连接腔上部设有与挂具止脱部对应的止脱腔，挂具伸入连接腔后阳极背板在自重作用下止脱腔卡住止脱部。/n

【技术特征摘要】
1.一种阳极背板悬挂固定结构，其特征在于：包括腔体后面板，所述腔体后面板上设有至少两个挂具，所述挂具尾端与腔体后面板连接，前端设有止脱部，止脱部上端高于挂具主体，阳极背板设有与挂具对应的连接腔，所述连接腔上部设有与挂具止脱部对应的止脱腔，挂具伸入连接腔后阳极背板在自重作用下止脱腔卡住止脱部。


2.根据权利要求1所述的阳极背板悬挂固定结构，其特征在于：所述止脱部为一扁平圆柱件，通过螺栓连接在挂具前端。


3.根据权利要求1所述的阳极背板悬挂固定结构，其特征在于：所述腔体后面板上设有定位孔，所述挂具尾部设有定...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱安秋，
申请(专利权)人：苏州胜利精密制造科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32