【技术实现步骤摘要】
一种烧结钕铁硼磁体表面功能膜层及其制备方法
本专利技术属于永磁器件表面防护领域，具体涉及一种烧结钕铁硼磁体表面功能膜层及其制备方法。
技术介绍
钕铁硼磁体作为一种饱和磁化强度高、矫顽力强且性价比高的磁体，在新能源汽车制造、风能发电、新型电机等高科技行业应用非常广泛，但由于钕铁硼自身的特性易产生腐蚀现象。目前工业中多采用电镀方式对钕铁硼表面形成保护膜，但容易出现二次腐蚀现象。现阶段采用物理相沉积方法在烧结钕铁硼磁体上沉积功能薄膜成为热点，而单一氮化钛薄膜一般均存在针孔、微裂纹等组织缺陷，当在合适的环境下就通过组织缺陷形成的路径侵害到烧结钕铁硼磁体，导致烧结钕铁硼磁体耐腐蚀性差，从而影响烧结钕铁硼磁体的应用范围。因此开发一种烧结钕铁硼磁体表面高耐蚀、绿色环保且涂覆均匀结合力强的复合膜层，具有重要的经济效益、社会效益和环保效益。
技术实现思路
本专利技术针对烧结钕铁硼磁体表面单一TiN层存在耐蚀性能差的问题，提供一种烧结钕铁硼磁体表面高耐蚀复合膜层及其制备方法。为了达到上述目的，本专利技术采用的...
【技术保护点】
1.一种烧结钕铁硼磁体表面功能膜层，其特征在于：该功能膜层是以Al
【技术特征摘要】
1.一种烧结钕铁硼磁体表面功能膜层，其特征在于：该功能膜层是以Al2O3层和TiN层为周期的（Al2O3/TiN）n结构多周期复合膜层，其中n为4～20；功能膜层采用磁控溅射沉积而成。
2.根据权利要求1所述的烧结钕铁硼磁体表面功能膜层，其特征在于：功能膜层中的Al2O3层厚度为0.03～0.15μm，TiN层厚度为0.22～1.1μm；功能膜层总厚度为2～8μm。
3.一种烧结钕铁硼磁体表面功能膜层的制备方法，用于制备如权利要求1所述的功能膜层，所述的功能膜层通过磁控溅射方法在辉光等离子体环境中沉积制备，包括以下步骤：
(1)磁体预处理工艺：对烧结钕铁硼磁体进行打磨抛光、酸洗，然后在酒精溶液和丙酮溶液中分别进行两次超声波清洗；
(2)磁体涂覆前处理：对预处理后的磁体进行氩离子辉光清洗；
(3)功能膜层的制备：采用物理气相沉积法在烧结钕铁硼磁体表面制备（Al2O3/TiN）n功能膜层。
4.根据权利要求3所述的烧结钕铁硼磁体表面功能膜层的制备方法，其特征在于：所述的步骤(1)包括将烧结钕铁硼磁体用#400...
【专利技术属性】
技术研发人员：段永利，邓文宇，齐丽君，孙宝玉，
申请(专利权)人：沈阳中北通磁科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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