基片固定装置及物理气相沉积设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的基片固定装置及物理气相沉积设备，其包括载板、压块和至少一对按压结构；其中，载板用于承载基片，压块位于载板的上方，每对按压结构分别设置于压块及载板相对应的两端，按压结构包括弹性件、第一弹板和第二弹板，第一弹板的第一端与压块连接，第二弹板的第一端与载板可伸缩的连接，第一弹板的第二端和第二弹板的第二端通过弹性件连接，弹性件用于使第一弹板的第一端与第二弹板的第一端彼此远离。借助按压结构将压块按压在载板上，既避免使用气缸等部件，从而能够在真空环境中对载板上的基片进行固定，又避免使用磁吸的方式，从而避免了对磁控溅射中的电磁场产生干扰。

Substrate fixing device and physical vapor deposition equipment

【技术实现步骤摘要】
基片固定装置及物理气相沉积设备
本技术属于太阳电池制造领域，具体涉及一种基片固定装置及物理气相沉积设备。
技术介绍
物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，以下简称PVD)是指用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。PVD设备是实现该过程的一种普遍应用的生产设备。其中，由于立式PVD设备的各种优点，如降低成本、膜层质量好等，被普遍应用于越来越多的工厂生产中。立式PVD设备在生产过程中，由机械手将基片装载到待镀膜的载板中，然后使用压块将基片固定，使其在镀膜过程中保持固定的位置。由于在真空环境中生产，无法使用气缸等常规部件对其进行固定，故目前的方案采用了磁吸的方式，将压块吸附在载板上，以达到固定基片的目的。但是，PVD设备在实际的生产过程中，通常采用的是磁控溅射的方式，以电磁场来控制粒子的运动轨迹，压块上施加的磁场会对磁控溅射的磁场造成干扰，影响粒子的运动轨迹，最终影响产品的质量。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中压块以磁吸方式吸附在载板上导致影响磁控溅射的磁场的问题，提出了一种基片固定装置及物理气相沉积设备。为解决上述问题，本技术提供了一种基片固定装置，其中，包括载板、压块和至少一对按压结构；其中，所述载板用于承载所述基片；所述压块位于所述载板上方；每对所述按压结构分别设置于所述压块及所述载板相对应的两端，所述按压结构均包括弹性件、第一弹板和第二弹板，所述第一弹板的第一端与所述压块连接，所述第二弹板的第一端与所述载板可伸缩的连接，所述第一弹板的第二端和所述第二弹板的第二端通过所述弹性件连接，所述弹性件用于使所述第一弹板的第一端与所述第二弹板的第一端彼此远离。其中，所述弹性件为扭簧，所述第一弹板的第二端和所述第二弹板的第二端通过所述扭簧铰接。其中，所述载板上设置有与所述第二弹板一一对应的弹板挡块，所述弹板挡块与所述载板之间具有间隔，所述第二弹板的第一端伸入所述间隔内并可相对所述弹板挡块绕动。其中，所述载板上设置有与所述第二弹板一一对应的卡块，在各所述卡块的相对侧分别具有卡槽，所述第二弹板的第一端远离所述第一弹板的第一端时，所述第二弹板的第一端卡接在所述卡槽内。其中，所述第一弹板与所述第二弹板的形状及尺寸均相同。其中，所述载板上设置有与所述第二弹板一一对应的凸台，所述弹板挡块或所述卡块设置在所述凸台的上表面。其中，所述第一弹板的背离所述第二弹板的一侧设置有第一抓取槽，所述第二弹板的背离所述第一弹板的一侧设置有第二抓取槽，所述第一抓取槽与所述第二抓取槽对称设置。其中，所述第一弹板的第一端固定有第一支脚，第一支脚为板状体，所述第一弹板与所述第一支脚呈大于90°夹角，所述第一弹板通过所述第一支脚与所述压块相连接。其中，所述第二弹板的第一端固定有第二支脚，所述第二支脚为板状体，所述第二弹板与所述第二支脚呈大于90°夹角，所述第二支脚伸入所述弹板挡块与所述载板之间的所述间隔内，或者，所述第二支脚伸入所述卡槽内。其中，还包括机械手，所述机械手的抓取端与所述第一抓取槽和所述第二抓取槽相适配。作为本技术的另一方面，本技术还提供了一种物理气相沉积设备，包括基片固定装置，其中，所述基片固定装置为本技术提供的基片固定装置。本技术具有以下有益效果：本技术提供的基片固定装置，其包括载板、压块和至少一对按压结构；其中，载板用于承载基片，压块位于载板的上方，每对按压结构分别设置于压块及载板相对应的两端，按压结构包括弹性件、第一弹板和第二弹板，第一弹板的第一端与压块连接，第二弹板的第一端与载板可伸缩的连接，第一弹板的第二端和第二弹板的第二端通过弹性件连接，弹性件用于使第一弹板的第一端与第二弹板的第一端彼此远离。借助按压结构将压块按压在载板上，既避免使用气缸等部件，从而能够在真空环境中对载板上的基片进行固定，又避免使用磁吸的方式，从而避免了对磁控溅射中的电磁场产生干扰。附图说明图1为本技术实施例一提供的基片固定装置的结构示意图；图2为图1中基片固定装置的俯视图；图3为图1中的局部放大图；图4为本技术实施例二提供的基片固定装置的结构示意图。其中：10-扭簧；11-第一弹板；12-第二弹板；13-第一抓取槽；14-第二抓取槽；2-压块；3-载板；31-弹板挡块；32-凸台；33-卡槽。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图来对本技术提供的基片固定装置及物理气相沉积设备进行详细描述。图1为本技术实施例一提供的基片固定装置的结构示意图；图2为图1中基片固定装置的俯视图；图3为图2中的局部放大图。请一并参阅图1至图3，本技术提供了一种基片固定装置，其包括载板3、压块2和至少一对按压结构。其中，载板3用于承载基片；压块2位于载板3的上方，每对按压结构分别设置于压块2及载板3相对应的两端，其中，每个按压结构包括弹性件、第一弹板11和第二弹板12，第一弹板11的第一端与压块2连接，第二弹板12的第一端与载板3可伸缩的连接，第一弹板11的第二端和第二弹板12的第二端通过弹性件连接，弹性件用于使第一弹板11的第一端与第二弹板12的第一端彼此远离，并在此过程中，将压块2按压在载板3上。在弹性件的弹力作用下，使得第一弹板11的第一端和第二弹板12的第一端相互远离，由于第二弹板12的第一端与载板3可伸缩的连接，在载板3的限定以及弹性件的弹力的共同作用下，第一弹板11的第二端向下移动，以带动第二弹板12向下按压，从而使压块2按压在载板3上。本技术中，借助按压结构将压块2按压在载板3上，避免使用气缸等部件，从而能够在真空环境中对载板3上的基片进行固定，另外，避免使用磁吸的方式，从而避免了对磁控溅射中的电磁场产生干扰。在本实施例中，弹性件为扭簧10，第一弹板11的第二端和第二弹板12的第二端通过扭簧10铰接。在本实施例中，载板3上设置有与第二弹板12一一对应的弹板挡块31，每个弹板挡块31与载板3在竖直方向上具有间隔，第二弹板12的第一端伸入该间隔内，并且，该间隔在竖直方向上的距离大于第二弹板12的第一端的厚度，因此，伸入该间隔的第二弹板12的第一端能够相对弹板挡块31绕动。其中，第一弹板11的第一端具有第一支脚，第一弹板11与第一支脚之间的夹角大于90°，第一弹板11通过第一支脚与压块2相连接；第二弹板12的第一端具有第二支脚，第二弹板12与第二支脚之间的夹角大于90°，第二弹板12通过第二支脚与弹板挡块31可伸缩的连接。其中，本技术中对第一支脚和第二支脚的具体形状不进行限定，只要第一支脚能将第一弹板11与压块2向连接，第二支脚能将弹板挡块31相连接，均属于本技术的保护范围。作为第一支脚和第二支脚的一种具体实施方式，第一支脚和第二支脚为板状体。...

【技术保护点】
1.一种基片固定装置，其特征在于，包括载板(3)、压块(2)和至少一对按压结构；其中，/n所述载板(3)用于承载所述基片；/n所述压块(2)位于所述载板(3)上方；/n每对所述按压结构分别设置于所述压块(2)及所述载板(3)相对应的两端，所述按压结构均包括弹性件、第一弹板(11)和第二弹板(12)，所述第一弹板(11)的第一端与所述压块(2)连接，所述第二弹板(12)的第一端与所述载板(3)可伸缩的连接，所述第一弹板(11)的第二端和所述第二弹板(12)的第二端通过所述弹性件连接，所述弹性件用于使所述第一弹板(11)的第一端与所述第二弹板(12)的第一端彼此远离。/n

【技术特征摘要】
1.一种基片固定装置，其特征在于，包括载板(3)、压块(2)和至少一对按压结构；其中，
所述载板(3)用于承载所述基片；
所述压块(2)位于所述载板(3)上方；
每对所述按压结构分别设置于所述压块(2)及所述载板(3)相对应的两端，所述按压结构均包括弹性件、第一弹板(11)和第二弹板(12)，所述第一弹板(11)的第一端与所述压块(2)连接，所述第二弹板(12)的第一端与所述载板(3)可伸缩的连接，所述第一弹板(11)的第二端和所述第二弹板(12)的第二端通过所述弹性件连接，所述弹性件用于使所述第一弹板(11)的第一端与所述第二弹板(12)的第一端彼此远离。


2.根据权利要求1所述的基片固定装置，其特征在于，所述弹性件为扭簧(10)，所述第一弹板(11)的第二端和所述第二弹板(12)的第二端通过所述扭簧(10)铰接。


3.根据权利要求1所述的基片固定装置，其特征在于，所述载板(3)上设置有与所述第二弹板(12)一一对应的弹板挡块(31)，所述弹板挡块(31)与所述载板(3)之间具有间隔，所述第二弹板(12)的第一端伸入所述间隔内并可相对所述弹板挡块(31)绕动。


4.根据权利要求1所述的基片固定装置，其特征在于，所述载板(3)上设置有与所述第二弹板(12)一一对应的卡块，在各所述卡块的相对侧分别具有卡槽(33)，所述第二弹板(12)的第一端远离所述第一弹板(11)的第一端时，所述第二弹板(12)的第一端卡接在所述卡槽(33)内。


5.根据权利要求3所述的基片固定装置，其特征在于，所述第一弹板(11)与所述第二弹板(12)的形状及尺寸均相同。


6.根据权利要求3所述的基片固定装置，其特征在于，所述载板(3)上设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：王浩，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11