【技术实现步骤摘要】
一种镀膜用磁控溅射靶组装结构
本技术涉及镀膜产品生产
，特别是涉及一种镀膜用磁控溅射靶组装结构。
技术介绍
玻璃的镀膜工艺通常是在玻璃表面涂渡一层或多层金属膜或金属化合物，以改变玻璃的光学性能，在手机屏幕玻璃领域应用广泛，目前比较先进的玻璃镀膜工艺包括有磁控贱射镀膜。磁控溅射镀膜的工作原理如下：电子在电场的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子，新电子飞向基片，Ar正离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射，在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。随着玻璃镀膜的进行，靶材的温度会升高而影响了使用的效果。为了进行靶材的冷却，可以在靶材的背面安装冷却装置，但是冷却装置需要考虑进出水结构，给整体的组装和密封带来了困难，需要改进。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种镀膜用磁控溅射靶组装结构，简化结构，提升密封效果。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种镀膜用磁控溅射靶组装结构，...
【技术保护点】
1.一种镀膜用磁控溅射靶组装结构，其特征在于，包括：磁体、真空室壁板、固定座、溅射靶基板、靶材和去离子水存储盒，所述固定座位于真空室壁板内侧，所述去离子水存储盒设置在固定座中，所述溅射靶基板覆盖在去离子水存储盒的开口上并焊接密封，所述磁体设置在去离子水存储盒中并与溅射靶基板平行间隔，所述靶材焊接在溅射靶基板上，所述去离子水存储盒中设置有数根贯穿去离子水存储盒和固定座而延伸至真空室壁板外侧的水管，所述去离子水存储盒底部设置有与水管对应的第一通孔并焊接密封固定，所述水管上套设有位于真空室壁板和固定座之间的圆台密封套，所述水管的外端设置有T形螺母进行紧固。/n
【技术特征摘要】
1.一种镀膜用磁控溅射靶组装结构，其特征在于，包括：磁体、真空室壁板、固定座、溅射靶基板、靶材和去离子水存储盒，所述固定座位于真空室壁板内侧，所述去离子水存储盒设置在固定座中，所述溅射靶基板覆盖在去离子水存储盒的开口上并焊接密封，所述磁体设置在去离子水存储盒中并与溅射靶基板平行间隔，所述靶材焊接在溅射靶基板上，所述去离子水存储盒中设置有数根贯穿去离子水存储盒和固定座而延伸至真空室壁板外侧的水管，所述去离子水存储盒底部设置有与水管对应的第一通孔并焊接密封固定，所述水管上套设有位于真空室壁板和固定座之间的圆台密封套，所述水管的外端设置有T形螺母进行紧固。
2.根据权利要求1所述的镀膜用磁控溅射靶组装结构，其特征在于，所述固定座中设置有与去离子水存储盒对应的嵌入槽。
3.根据权利要求1所述的镀膜用磁控溅射靶组装结构，其特征在于，所述水管内端焊接有从磁体背面延伸至磁体边缘正面的弹性限位钩板，所述磁体边缘内凹设置有与弹性限位钩板宽...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆玲，
申请(专利权)人：张家港市和瑞创先智能光学有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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