一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件，包括：固定座和板状靶材，所述板状靶材沿固定座长度方向平行设置在固定座的正面，所述板状靶材背面对称设置有靠近边缘的滑槽，所述固定座上设置有延伸至滑槽中的条形滑块，所述条形滑块中沿长度方向设置有冷却水孔，所述板状靶材侧面设置有指向条形滑块的紧固螺钉。通过上述方式，本实用新型专利技术所述的镀膜用水冷磁控溅射靶组件，特别在固定座上设计了条形滑块，既方便了对板状靶材的限位及冷却水孔的加工，又不增加整体的厚度，冷却水孔与冷却水循环管路连接后，通入冷却水，实现条形滑块和固定座的冷却，进而实现板状靶材的降温，而且板状靶材的安装和拆卸比较便利。

Water cooled magnetron sputtering target assembly for coating

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件
本技术涉及玻璃镀膜生产
，特别是涉及一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件。
技术介绍
玻璃的镀膜工艺是在玻璃表面涂渡一层或多层金属膜或金属化合物，以改变玻璃的光学性能，在手机屏幕玻璃领域应用广泛，目前比较先进的玻璃镀膜工艺包括有磁控贱射镀膜。磁控溅射镀膜的工作原理如下：电子在电场的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子，新电子飞向基片，Ar正离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射，在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。随着玻璃镀膜的进行，靶材的温度会升高而影响了使用的效果。为了进行靶材的冷却，可以在靶材的背面设置通冷却水的盘管，但是盘管多为铜管，增加了整体的厚度，影响了磁体的布置，而在靶材中加工冷却水孔的难度大，报废率高，还容易影响靶材的有效使用寿命。另外，靶材大多焊接在固定座上，结构牢固，但是不容易拆卸分离和回收利用，拆卸过程中还容易损坏固定座，需要改进。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件，实现靶材的水冷，提升拆卸的便利性。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件，包括：固定座和板状靶材，所述板状靶材沿固定座长度方向平行设置在固定座的正面，所述板状靶材背面对称设置有靠近边缘的滑槽，所述固定座上设置有延伸至滑槽中的条形滑块，所述条形滑块中沿长度方向设置有冷却水孔，所述板状靶材侧面设置有指向条形滑块的紧固螺钉。在本技术一个较佳实施例中，所述固定座的背面设置有磁体。在本技术一个较佳实施例中，所述滑槽为T形槽，所述条形滑块的截面为T形结构。在本技术一个较佳实施例中，所述冷却水孔的两端分别设置有一段内螺纹。在本技术一个较佳实施例中，所述板状靶材的背面与固定座的正面相贴合。在本技术一个较佳实施例中，所述板状靶材侧面内凹设置有与紧固螺钉对应的螺纹孔。本技术的有益效果是：本技术指出的一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件，特别在固定座上设计了条形滑块，既方便了对板状靶材的限位及冷却水孔的加工，又不增加整体的厚度，冷却水孔与冷却水循环管路连接后，通入冷却水，实现条形滑块和固定座的冷却，进而实现板状靶材的降温，而且板状靶材的安装和拆卸比较便利，有利于固定座的重复利用。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：图1是本技术一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件一较佳实施例的结构示意图；图2是图1的俯视图。具体实施方式下面将对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1~图2，本技术实施例包括：如1和图2所示的镀膜用水冷磁控溅射靶组件，包括：固定座1和板状靶材2，所述板状靶材2沿固定座1长度方向平行设置在固定座1的正面，所述固定座1的背面设置有磁体3，可以利用螺栓进行直接或者间接固定。所述板状靶材2背面对称设置有靠近边缘的滑槽，所述滑槽为T形槽，通过在板状靶材2背面铣加工得到。所述固定座1上设置有延伸至滑槽中的条形滑块5，所述条形滑块5的截面为T形结构，条形滑块5可以从滑槽的一端滑入滑槽，实现固定座1和板状靶材2的复合，使得板状靶材2的背面与固定座1的正面相贴合，结构稳定，确保导热效果，而且不增加整体的厚度。所述板状靶材2侧面设置有指向条形滑块5的紧固螺钉4，所述板状靶材2侧面内凹设置有与紧固螺钉4对应的螺纹孔，利用紧固螺钉4的旋拧，实现条形滑块5的固定，结构稳定，避免板状靶材2从固定座1上的滑脱，而且拆卸便利，方便固定座1和板状靶材2的分体回收，而且不会损坏固定座1，使得固定座1可以直接二次利用，降低成本。固定座1与条形滑块5采用一体化铜合金结构，结构牢固，而且导热的效果好。所述条形滑块5中沿长度方向设置有冷却水孔6，冷却水孔6的孔径为6mm，深度超一米，需要利用双头钻床或者枪钻进行加工。所述冷却水孔6的两端分别设置有一段内螺纹，方便进行管接头的安装，利用管接头与冷却水循环管路连接后，通入冷却水，实现条形滑块5和固定座1的冷却，进而实现板状靶材2的降温。冷却水循环管路上设置有温度传感器、水泵和冷却水塔，操作者可以根据冷却水孔6流出的水温进行水泵的功率调节，或者通过PLC控制器实现自动控制，在此不做赘述。综上所述，本技术指出的一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件，实现了对板状靶材2的间接水冷，控制了整体的厚度，有利于进行安装和镀膜生产，而且板状靶材的拆卸便利，方便分体进行回收和利用。以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件，其特征在于，包括：固定座和板状靶材，所述板状靶材沿固定座长度方向平行设置在固定座的正面，所述板状靶材背面对称设置有靠近边缘的滑槽，所述固定座上设置有延伸至滑槽中的条形滑块，所述条形滑块中沿长度方向设置有冷却水孔，所述板状靶材侧面设置有指向条形滑块的紧固螺钉。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀膜用水冷磁控溅射靶组件，其特征在于，包括：固定座和板状靶材，所述板状靶材沿固定座长度方向平行设置在固定座的正面，所述板状靶材背面对称设置有靠近边缘的滑槽，所述固定座上设置有延伸至滑槽中的条形滑块，所述条形滑块中沿长度方向设置有冷却水孔，所述板状靶材侧面设置有指向条形滑块的紧固螺钉。


2.根据权利要求1所述的镀膜用水冷磁控溅射靶组件，其特征在于，所述固定座的背面设置有磁体。


3.根据权利要求1所述的镀膜用水冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱杰，
申请(专利权)人：张家港市和瑞创先智能光学有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32