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本实用新型公开了一种镀膜用磁控溅射靶组装结构，包括：磁体、真空室壁板、固定座、溅射靶基板、靶材和去离子水存储盒，所述溅射靶基板覆盖在去离子水存储盒的开口上并焊接密封，所述磁体设置在去离子水存储盒中并与溅射靶基板平行间隔，所述去离子水存储盒中...
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