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本实用新型公开了一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，包括对称设置在加工平台两侧的机架，所述机架上设有可升降移动的载重板，所述载重板的下端分别设有翻转夹持机构、辅助承重机构，所述辅助承重机构位于所述翻转夹持机构与加工平台之间。所述翻转夹持机构...
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