一种基于晶圆传送用机械臂制造技术

本实用新型专利技术属于机械臂技术领域，尤其为一种基于晶圆传送用机械臂，包括伸缩杆，所述伸缩杆的输出轴上架设有第一转架，所述第一转架异于伸缩杆的一端上表面通过转轴架设有第二转架，所述第二转架的另一端上表面通过转杆架设有第三转架，所述第三转架的一端一体成型有夹持片，所述第一转架、第二转架与第三转架的上表面均嵌合放置有水平仪；滚珠在重力的调节下在水平仪的内部滚动，显示机械臂的倾斜角度，工作人员可以通过转动调节螺栓来改变延伸板的高度，压力弹簧通过自身的弹力使得延伸板抬升，进而使得伸缩杆保持竖直。

A mechanical arm for wafer transfer

【技术实现步骤摘要】
一种基于晶圆传送用机械臂
本技术属于机械臂
，具体涉及一种基于晶圆传送用机械臂。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品；目前的晶圆在生产制作过程中会使用到机械鼻进行转移，目前的机械臂使用过程中依旧暴露出一些问题，机械臂运行过程中角度会发生偏移，这会导致晶圆运输过程中在机械臂上滑动，影响晶圆后续的定位放置，针对目前的机械臂使用过程中所暴露的问题，有必要对机械臂进行结构上的优化与改进。
技术实现思路
为解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种基于晶圆传送用机械臂，具有使得机械臂保持垂直，避免机械臂运行过程中角度发生偏移的特点。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于晶圆传送用机械臂，包括伸缩杆，所述伸缩杆的输出轴上架设有第一转架，所述第一转架异于伸缩杆的一端上表面通过转轴架设有第二转架，所述第二转架的另一端上表面通过转杆架设有第三转架，所述第三转架的一端一体成型有夹持片，所述第一转架、第二转架与第三转架的上表面均嵌合放置有水平仪，所述伸缩杆的底端设有延伸板，所述延伸板的端部贯穿设有调节螺栓，所述调节螺栓的下端外侧表面均套接有压力弹簧。作为本技术的一种基于晶圆传送用机械臂优选技术方案，所述夹持片为片状构件，所述夹持片的一端设有U型结构。作为本技术的一种基于晶圆传送用机械臂优选技术方案，所述水平仪为空心的圆柱体构件，所述水平仪的内部填充有液体，所述水平仪的内部放置有滚珠，所述水平仪的顶端通过注塑设有透明塑料板。作为本技术的一种基于晶圆传送用机械臂优选技术方案，所述伸缩杆的底端外侧表面均匀设有三个延伸板，每个所述延伸板的端部均设有调节螺栓。作为本技术的一种基于晶圆传送用机械臂优选技术方案，所述伸缩杆、第一转架、第二转架的一端内部架设有驱动电机，驱动电机的输出轴上架设有转杆，转杆的另一端分别架设在第一转架、第二转架、第三转架的内部。作为本技术的一种基于晶圆传送用机械臂优选技术方案，所述伸缩杆、驱动电机与外界通过电性连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该机械臂上增设有水平仪，滚珠在重力的调节下在水平仪的内部滚动，显示机械臂的倾斜角度，工作人员可以通过转动调节螺栓来改变延伸板的高度，压力弹簧通过自身的弹力使得延伸板抬升，进而使得伸缩杆保持竖直。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中俯视结构示意图；图3为本技术中图1的A处放大结构示意图；图4为本技术中沿图2的B-B线结构示意图；图中：1、伸缩杆；2、延伸板；3、第一转架；4、第二转架；5、第三转架；6、夹持片；7、水平仪；8、调节螺栓；9、压力弹簧；10、滚珠。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例请参阅图1-4，本技术提供以下技术方案：一种基于晶圆传送用机械臂，包括伸缩杆1，伸缩杆1的输出轴上架设有第一转架3，第一转架3异于伸缩杆1的一端上表面通过转轴架设有第二转架4，第二转架4的另一端上表面通过转杆架设有第三转架5，第三转架5的一端一体成型有夹持片6，第一转架3、第二转架4与第三转架5的上表面均嵌合放置有水平仪7，伸缩杆1的底端设有延伸板2，延伸板2的端部贯穿设有调节螺栓8，调节螺栓8的下端外侧表面均套接有压力弹簧9，本实施方案中，压力弹簧9在自身的弹力下对延伸板2进行托举，进而改变伸缩杆1的倾角，使得伸缩杆1在地面上保持垂直。具体的，夹持片6为片状构件，夹持片6的一端设有U型结构，本实施例中U型结构更便于夹持片6对晶圆进行托举夹持。具体的，水平仪7为空心的圆柱体构件，水平仪7的内部填充有液体，水平仪7的内部放置有滚珠10，水平仪7的顶端通过注塑设有透明塑料板，本实施例中滚珠10在水平仪7的内部滚动。具体的，伸缩杆1的底端外侧表面均匀设有三个延伸板2，每个延伸板2的端部均设有调节螺栓8，本实施例中工作人员可以转动调节螺栓8来改变延伸板2的角度倾角。具体的，伸缩杆1、第一转架3、第二转架4的一端内部架设有驱动电机，驱动电机的输出轴上架设有转杆，转杆的另一端分别架设在第一转架3、第二转架4、第三转架5的内部，本实施例中驱动电机带动第一转架3、第二转架4、第三转架5转动，进而对晶圆进行调节。具体的，伸缩杆1、驱动电机与外界通过电性连接，本实施例中电性连接便于各个设备良好的运行。本实施例中伸缩杆1、驱动电机为已经公开的广泛运用于日常生活的已知技术，伸缩杆1采用中山市锦格五金机电有限公司生产的型号为JINGE-1604的电动伸缩杆；驱动电机采用东莞市宏艾传动科技有限公司生产的型号为SST43D2120的马达伺服电机。本技术的工作原理及使用流程：本技术中该设备使用过程中伸缩杆1通过调节螺栓8架设在地面上，伸缩杆1伸缩过程中带动第一转架3、第二转架4与第三转架5高度抬升，第三转架5带动夹持片6抬升，夹持片6对晶圆进行托举转移，伸缩杆1使用过程中滚珠10在水平仪7的内部滚动，滚珠10来显示第一转架3、第二转架4、第三转架5的水平程度，工作人员可以转动调节螺栓8来调整延伸板2的高度，压力弹簧9通过自身的弹力使得延伸板2高度抬起，进而调整伸缩杆1的倾斜角度，使得水平仪7保持水平，便于机械臂对晶圆进行托举。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于晶圆传送用机械臂，包括伸缩杆(1)，其特征在于：所述伸缩杆(1)的输出轴上架设有第一转架(3)，所述第一转架(3)异于伸缩杆(1)的一端上表面通过转轴架设有第二转架(4)，所述第二转架(4)的另一端上表面通过转杆架设有第三转架(5)，所述第三转架(5)的一端一体成型有夹持片(6)，所述第一转架(3)、第二转架(4)与第三转架(5)的上表面均嵌合放置有水平仪(7)，所述伸缩杆(1)的底端设有延伸板(2)，所述延伸板(2)的端部贯穿设有调节螺栓(8)，所述调节螺栓(8)的下端外侧表面均套接有压力弹簧(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于晶圆传送用机械臂，包括伸缩杆(1)，其特征在于：所述伸缩杆(1)的输出轴上架设有第一转架(3)，所述第一转架(3)异于伸缩杆(1)的一端上表面通过转轴架设有第二转架(4)，所述第二转架(4)的另一端上表面通过转杆架设有第三转架(5)，所述第三转架(5)的一端一体成型有夹持片(6)，所述第一转架(3)、第二转架(4)与第三转架(5)的上表面均嵌合放置有水平仪(7)，所述伸缩杆(1)的底端设有延伸板(2)，所述延伸板(2)的端部贯穿设有调节螺栓(8)，所述调节螺栓(8)的下端外侧表面均套接有压力弹簧(9)。


2.根据权利要求1所述的一种基于晶圆传送用机械臂，其特征在于：所述夹持片(6)为片状构件，所述夹持片(6)的一端设有U型结构。


3.根据权利要求1所述的一种基于晶圆传送用机械臂，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖海涛，
申请(专利权)人：无锡邑文电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32