【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种气浮管接头组件,其特征在于,包括:气浮轴杆,其上贯穿开设有第一导气通道,气浮轴杆的侧壁上设置有连接所述第一导气通道的气浮道孔;气浮轴套,其上对应设置有连接所述第一导气通道的第二导气通道,所述气浮轴套可相对运动地套设于所述气浮轴杆外;外部真空或正压气体进入所述第一导气通道后,一部分进入第二导气通道,一部分经气浮轴杆上的气浮道孔输出,在气浮轴杆和气浮轴套之间形成气膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:江旭初,
申请(专利权)人:上海微电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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