一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统技术方案

本发明专利技术公开一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统，所述半导体设备振动元件性能监测方法包括：首先建立半导体设备振动元件的故障振动波形数据库，采集多个所述振动传感器的振动信号，再对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号，对多个所述波形信号与所述故障振动波形数据库进行比对分析，实时监控所述半导体设备振动元件的工作状态。本发明专利技术能够保障在半导体设备振动元件发生故障前启动报警功能，预先采取应变措施，防止突发性停机事故的发生，达到生产稳定化目标。

A method and system for monitoring the performance of vibration components in semiconductor equipment

【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统
本专利技术涉及半导体蚀刻机台附属设备干式泵监测
，特别是涉及一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统。
技术介绍
现有技术中判断泵是否需要更换往往通过计算泵投入使用的时间来判定，一般泵工作寿命为8000至10000小时，这种工作方式较为简单。但因为泵的本身质量及其工作环境的不同，泵的寿命以工作时间作为参考标准存在很多的局限因素，例如，实际工作中泵会在规定寿命时间内出现故障，如，润滑油不足、结构件出现裂纹、噪声过大、负压不足温度过高等；另外，也有可能泵在超过规定寿命之后其工作状况依旧良好，不需要更换。还可以通过听泵的噪声变化、电流值变化、用红外测温仪测泵的温度、查看泵的工作转速是否符合要求来判断泵是否具有良好的标准，但是此种方式需人员现场查看，很多情况是凭借经验判断，容易造成误判，无法实现对半导体设备性能的准确、有效检测。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统，用于解决现有技术中需人员现场查看，容易造成误判的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种半导体设备振动元件性能监测方法，所述半导体设备振动元件上设置有多个振动传感器，所述半导体设备振动元件性能监测方法包括：建立所述半导体设备振动元件的故障振动波形数据库；采集多个所述振动传感器的振动信号；对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号；对多个所述波形信号与所述故障振动波形数据库进行比对分析，实时监控所述半导体设备振动元件的工作状态。在本专利技术的一实施例中，所述半导体设备振动元件性能监测方法还包括：将各所述的波形信号分别跟踪记录，建立所述半导体设备振动元件的性能趋势图，并根据所述性能趋势图对所述半导体设备振动元件设定异常报警及故障预警。在本专利技术的一实施例中，所述半导体设备振动元件性能监测方法还包括对多个所述波形信号进行波形分析，根据波形分析结果预测所述半导体设备振动元件的使用寿命或更换周期。在本专利技术的一实施例中，所述半导体设备振动元件为真空泵。为实现上述目的，本专利技术还提供一种半导体设备振动元件性能监测系统，其特征在于，所述半导体设备振动元件上设置有多个振动传感器，所述半导体设备振动元件性能监测系统包括：振动波形数据库；振动信号采集模块，用于采集多个所述振动传感器的振动信号；智能管理模块，用于对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号；智能监测模块，用于对多个所述波形信号与所述振动波形数据库进行比对分析，实时监控所述半导体设备振动元件的工作性能。在本专利技术的一实施例中，所述智能监测模块包括波形信号分析单元、数据存储单元、数据传输单元、控制单元、控制中心单元，其中，波形信号分析单元，用于对多个所述波形信号与所述振动波形数据库进行分析比对，根据分析比对结果获得所述半导体设备振动元件的性能参数；数据存储单元，用于对所述性能参数进行存储；数据传输单元，用于将存储于所述数据存储单元中的性能参数进行传输，所述数据传输单元分别与所述数据存储单元、所述控制单元之间建立通信连接；控制单元，用于接收来自所述数据传输单元的性能参数；控制中心单元，用于接收来自所述控制单元的性能参数，根据所述性能参数实时实现对所述半导体设备振动元件的监测。在本专利技术的一实施例中，所述半导体设备振动元件性能监测系统还包括性能监测模块，所述性能监测模块用于将各所述的波形信号分别跟踪记录，建立所述半导体设备振动元件的性能趋势图，并根据所述性能趋势图对所述半导体设备振动元件设定异常报警及故障预警。在本专利技术的一实施例中，所述振动信号采集模块与至少一个振动传感器相连接。在本专利技术的一实施例中，所述振动传感器包括黏附型震波感应接头。在本专利技术的一实施例中，所述半导体设备振动元件为真空泵。在本专利技术的一实施例中，所述振动传感器设置四个，四个所述振动传感器分别设置于所述真空泵的轴承位置。本专利技术还提供了一种电子设备，包括处理器和存储器，所述存储器存储有程序指令，所述处理器运行程序指令实现上述的半导体设备振动元件性能监测方法。本专利技术还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使所述计算机执行上述的半导体设备振动元件性能监测方法。如上所述，本专利技术的一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统，具有以下有益效果：本专利技术首先建立半导体设备振动元件的故障振动波形数据库，采集多个所述振动传感器的振动信号，再对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号，对多个所述波形信号与所述故障振动波形数据库进行比对分析，实时监控所述半导体设备振动元件的工作状态。本专利技术能够保障在半导体设备振动元件发生故障前启动报警功能，预先采取应变措施，防止突发性停机事故的发生，达到生产稳定化目标。本专利技术将半导体设备振动元件的振动信号通过智能管理模块发送至智能监测模块，使振动元件的健康状况自异常发生到故障排除皆在掌控之中，预警系统可根据振动传感器采集的振动信号曲线规律在泵故障前启动报警功能。本专利技术无需人员驻守或巡检设备现场，运转人员可在控制中心单元监控所有半导体设备振动元件，当有异常状况发生时，立即于显示屏报警。本专利技术能够降低生产损失，以各元件趋势图即设定异常警报及故障标准，通过趋势图预估何时将触及警报，避免因突发性故障造成的生产损失及抢修事件。本专利技术能够降低拆卸真空泵的各个元件的成本，真空泵因故障需要拆修时，依据各元件的异常状况决定是否需要更换，避免无谓的零件更换。本专利技术简单高效，具有较强的通用性和实用性，应用范围广泛。附图说明图1为本申请实施例提供的一种半导体设备振动元件性能监测方法的流程示意图；图2为本申请实施例提供的一种半导体设备振动元件性能监测方法的流程示意图；图3为本申请实施例提供的一种半导体设备振动元件性能监测方法的流程示意图；图4为本申请实施例提供的一种半导体设备振动元件性能监测系统的结构示意图；图5为本申请实施例提供的一种半导体设备振动元件性能监测系统的结构示意图；图6为本申请实施例提供的智能监测模块的结构示意图；图7为本申请实施例提供的一种电子设备的结构示意图；图8为本申请实施例提供的在真空泵的四个轴承位置加装振动传感器的结构示意图；图9为本申请实施例提供的黏附型震波感应接头的主视图；图10为本申请实施例提供的模拟在真空泵的轴承位置出现裂纹时由振动传感器传出的振动信号；图11为本申请实施例提供的模拟在真空泵的轴承位置出现润滑油不足时由振动传感器传出的振动信号；图12为本申请实施例提供的模拟故障发生在真空泵的轴承内侧位置时传出的波形信号与振动波形数据库中的真空泵轴承外侧发生故障时的波形信号比对图；图13为本申请实施例提供的模拟故障发生在真空泵的轴承外侧位置时传出的波形信号与振动波形数据库中的真空泵轴承外侧发生故障时的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体设备振动元件性能监测方法，其特征在于，所述半导体设备振动元件上设置有多个振动传感器，所述半导体设备振动元件性能监测方法包括：/n建立所述半导体设备振动元件的故障振动波形数据库；/n采集多个所述振动传感器的振动信号；/n对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号；/n对多个所述波形信号与所述故障振动波形数据库进行比对分析，实时监控所述半导体设备振动元件的工作状态。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备振动元件性能监测方法，其特征在于，所述半导体设备振动元件上设置有多个振动传感器，所述半导体设备振动元件性能监测方法包括：
建立所述半导体设备振动元件的故障振动波形数据库；
采集多个所述振动传感器的振动信号；
对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号；
对多个所述波形信号与所述故障振动波形数据库进行比对分析，实时监控所述半导体设备振动元件的工作状态。


2.根据权利要求1所述的一种半导体设备振动元件性能监测方法，其特征在于，所述半导体设备振动元件性能监测方法还包括：将各所述的波形信号分别跟踪记录，建立所述半导体设备振动元件的性能趋势图，并根据所述性能趋势图对所述半导体设备振动元件设定异常报警及故障预警。


3.根据权利要求1所述的一种半导体设备振动元件性能监测方法，其特征在于，所述半导体设备振动元件性能监测方法还包括对多个所述波形信号进行波形分析，根据波形分析结果预测所述半导体设备振动元件的使用寿命或更换周期。


4.根据权利要求1至3任一所述的一种半导体设备振动元件性能监测方法，其特征在于，所述半导体设备振动元件为真空泵。


5.一种半导体设备振动元件性能监测系统，其特征在于，所述半导体设备振动元件上设置有多个振动传感器，所述半导体设备振动元件性能监测系统包括：
振动波形数据库；
振动信号采集模块，用于采集多个所述振动传感器的振动信号；
智能管理模块，用于对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号；
智能监测模块，用于对多个所述波形信号与所述振动波形数据库进行比对分析，实时监控所述半导体设备振动元件的工作性能。


6.根据权利要求5所述的一种半导体设备振动元件性能监测系统，其特征在于，所述智能监测模块包括波形信号分析单元、数据存储单元、数据传输单元、控制单元、控制中心单元，其中，
波形信号分析单元，用于对多个所述波形信号与所述振动波形数...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡博文，其他发明人请求不公开姓名，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34