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本发明公开一种半导体设备振动元件性能监测方法及系统，所述半导体设备振动元件性能监测方法包括：首先建立半导体设备振动元件的故障振动波形数据库，采集多个所述振动传感器的振动信号，再对所述振动信号进行处理，以得到相应的多个波形信号，对多个所述波形...
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