基板位置校准装置、方法、系统、设备和存储介质制造方法及图纸

本公开涉及一种基板位置校准装置、方法、系统、设备和存储介质，基板位置校准装置包括支架以及摄像器件。支架用于装设于基板处理机台上。摄像器件与支架相连，摄像器件用于设于制程腔室顶部的上方，摄像器件设有镜头，镜头用于对着制程腔室的透视窗。在机器人移动手臂将基板移动到制程腔室内部后，由于镜头对着透视窗，能拍摄基板边缘与基准单元的基准线界定的间隙区域的检测图像，根据检测图像便能计算得到基板的中心轴线与基准单元中心轴线的偏差值，相对于人肉眼观察的方式得到而言，所获取的偏差数据更加精准可靠，能提高对位精准度与膜厚均匀度。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及半导体设备，特别是涉及一种基板位置校准装置、方法、系统、设备和存储介质。

技术介绍

1、传统技术中，化学气相沉积(cvd,chemical vapor deposition)机台，在对基板进行移交操作过程中，需要由机器人移动手臂承载基板进入到制程腔室。然而，传统技术中的基板放置位置的精准度较低且通过人肉眼进行观察，机器人移动手臂需要承载基板反复进入制程腔室内部，操作较为繁琐。

技术实现思路

1、基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种基板位置校准装置、方法、系统、设备和存储介质，便于基板中心轴线与基准单元中心轴线相互对位与校准，能提高基板放置位置的精准度和后续制程中的膜厚均匀度。

2、其技术方案如下：一种基板位置校准装置，所述基板位置校准装置包括：

3、支架，所述支架装设于基板处理机台上；以及

4、摄像器件，所述摄像器件与所述支架相连，所述摄像器件设于所述基板处理机台的制程腔室顶部的上方，所述摄像器件设有镜头，所述镜头朝向所述制程腔室的透视窗设置。

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【技术保护点】

1.一种基板位置校准装置，其特征在于，所述基板位置校准装置包括：

2.根据权利要求1所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述镜头为放大镜头。

3.根据权利要求1或2所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述摄像器件包括相机，所述相机为工业相机。

4.根据权利要求3所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述摄像器件还包括镜筒、以及设置于所述镜筒中的反射镜组；所述镜筒的相对两端分别连接所述相机与所述镜头，所述反射镜组用于将所述镜头的图像反射至所述相机。

5.根据权利要求4所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述相机与所述支架相连，所述相机设置于所述...

【技术特征摘要】

1.一种基板位置校准装置，其特征在于，所述基板位置校准装置包括：

2.根据权利要求1所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述镜头为放大镜头。

3.根据权利要求1或2所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述摄像器件包括相机，所述相机为工业相机。

4.根据权利要求3所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述摄像器件还包括镜筒、以及设置于所述镜筒中的反射镜组；所述镜筒的相对两端分别连接所述相机与所述镜头，所述反射镜组用于将所述镜头的图像反射至所述相机。

5.根据权利要求4所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述相机与所述支架相连，所述相机设置于所述制程腔室顶部的中心位置的上方，所述镜筒与所述相机转动相连。

6.根据权利要求4所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述反射镜组包括第一反射镜与第二反射镜；所述镜筒包括依次相连的第一筒段、第二筒段与第三筒段；所述第一筒段与所述相机相连，所述第三筒段与所述镜头相连，所述第一筒段与所述第二筒段呈夹角设置，所述第二筒段与所述第三筒段呈夹角设置；所述第一反射镜设置于所述第一筒段与所述第二筒段的连接部位，所述第二反射镜设置于所述第二筒段与所述第三筒段的连接部位。

7.根据权利要求6所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述第二筒段为可伸缩调节的筒段。

8.根据权利要求1所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述支架包括用于与所述基板处理机台可拆卸连接的套筒、以及与所述套筒相连的支撑臂，所述支撑臂与所述摄像器件相连。

9.根据权利要求1所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述支架包括用于与所述基板处理机台可拆卸连接的安装板、以及与所述安装板相连的支撑臂，所述支撑臂与所述摄像器件相连。

10.根据权利要求8或9所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述支撑臂设有可伸缩调节的臂段。

11.一种基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统包括如权利要求1至10任一项所述的基板位置校准装置，所述基板处理系统还包括基板处理机台、机器人移动手臂与控制器，所述基板处理机台设有制程腔室与缓存腔室，所述控制器分别与所述摄像器件、所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢玉芝，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：