【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体设备，特别是涉及一种基板位置校准装置、方法、系统、设备和存储介质。
技术介绍
1、传统技术中，化学气相沉积(cvd,chemical vapor deposition)机台，在对基板进行移交操作过程中，需要由机器人移动手臂承载基板进入到制程腔室。然而，传统技术中的基板放置位置的精准度较低且通过人肉眼进行观察，机器人移动手臂需要承载基板反复进入制程腔室内部，操作较为繁琐。
技术实现思路
1、基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种基板位置校准装置、方法、系统、设备和存储介质，便于基板中心轴线与基准单元中心轴线相互对位与校准，能提高基板放置位置的精准度和后续制程中的膜厚均匀度。
2、其技术方案如下：一种基板位置校准装置，所述基板位置校准装置包括：
3、支架，所述支架装设于基板处理机台上；以及
4、摄像器件，所述摄像器件与所述支架相连，所述摄像器件设于所述基板处理机台的制程腔室顶部的上方，所述摄像器件设有镜头，所述镜头朝向所述制程腔室的透视窗设置。
5、在其中一个实施例中，所述镜头为放大镜头。
6、在其中一个实施例中，所述摄像器件包括相机，所述相机为工业相机。
7、在其中一个实施例中，所述摄像器件还包括镜筒、以及设置于所述镜筒中的反射镜组；所述镜筒的相对两端分别连接所述相机与所述镜头，所述反射镜组用于将所述镜头的图像反射至所述相机。
8、在其中一个实施例中，所述相机与所述支架相连，所述相
9、在其中一个实施例中，所述反射镜组包括第一反射镜与第二反射镜；所述镜筒包括依次相连的第一筒段、第二筒段与第三筒段；所述第一筒段与所述相机相连，所述第三筒段与所述镜头相连，所述第一筒段与所述第二筒段呈夹角设置，所述第二筒段与所述第三筒段呈夹角设置；所述第一反射镜设置于所述第一筒段与所述第二筒段的连接部位，所述第二反射镜设置于所述第二筒段与所述第三筒段的连接部位。
10、在其中一个实施例中，所述第二筒段为可伸缩调节的筒段。
11、在其中一个实施例中，所述支架包括用于与所述基板处理机台可拆卸连接的套筒、以及与所述套筒相连的支撑臂，所述支撑臂与所述摄像器件相连。
12、在其中一个实施例中，所述支架包括用于与所述基板处理机台可拆卸连接的安装板、以及与所述安装板相连的支撑臂，所述支撑臂与所述摄像器件相连。
13、在其中一个实施例中，所述支撑臂设有可伸缩调节的臂段。
14、一种基板处理系统，所述基板处理系统包括所述的基板位置校准装置，所述基板处理系统还包括基板处理机台、机器人移动手臂与控制器，所述基板处理机台设有制程腔室与缓存腔室，所述控制器分别与所述摄像器件、所述机器人移动手臂电性连接，所述基板设于所述制程腔室的基准单元上，所述控制器根据所述摄像器件的检测图像得到基板中心轴线与基准单元中心轴线的偏差值，根据所述偏差值调整所述机器人移动手臂的运动参数，以及根据所述运动参数控制所述机器人移动手臂动作，所述机器人移动手臂用于将所述基板从所述缓存腔室的内部送入到所述制程腔室的内部，或者从所述制程腔室的内部移出到所述缓存腔室的内部。
15、在其中一个实施例中，所述镜头朝向所述基板边缘与所述基准单元的基准线界定的间隙区域，并能够绕所述制程腔室的中心轴线转动至多个检测位置，所述多个检测位置周向设置于所述间隙区域，所述控制器用于根据所述多个检测位置的检测图像得到所述基板中心轴线与所述基准单元中心轴线的偏差值。
16、在其中一个实施例中，所述基板处理系统还包括驱动机构，所述驱动机构与所述控制器电性连接，所述驱动机构与所述摄像器件相连，所述驱动机构用于驱动所述镜头绕所述制程腔室的中心轴线转动。
17、在其中一个实施例中，所述基板处理系统还包括警示器，所述警示器与所述控制器电性连接。
18、一种基板位置校准方法，所述基板位置校准方法包括：
19、对基板边缘与基准单元的基准线界定的间隙区域进行拍摄得到检测图像；
20、根据所述检测图像计算得到所述基板边缘与所述基准单元的基准线的间隙值，根据所述间隙值确定所述基板的中心轴线与所述基准单元中心轴线的偏差值；
21、当所述偏差值大于预设值时，通过机器人移动手臂将制程腔室内部的基板移出到缓存腔室的内部，并根据所述偏差值调整机器人移动手臂的运动参数；
22、根据调整后的所述运动参数控制所述机器人移动手臂将所述基板送入到所述制程腔室的内部。
23、在其中一个实施例中，所述对基板边缘与基准单元的基准线界定的间隙区域进行拍摄得到检测图像包括：将镜头绕制程腔室的中心轴线转动到多个检测位置，所述多个检测位置周向设置于所述间隙区域，在所述多个检测位置分别拍摄得到检测图像；
24、所述根据所述检测图像计算得到所述基板边缘与所述基准单元的基准线的间隙值，根据所述间隙值确定所述基板的中心轴线与所述基准单元中心轴线的偏差值包括：根据多个检测图像分别计算得到多个所述间隙值，根据多个所述间隙值确定所述基板的中心轴线与所述基准单元中心轴线的偏差值。
25、在其中一个实施例中，所述基板位置校准方法还包括报警步骤：当所述偏差值大于预设值时，进行报警操作。
26、一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现所述的方法的步骤。
27、一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现所述的方法的步骤。
28、上述基板位置校准装置、方法、基板处理系统、计算机设备与计算机可读存储介质，在机器人移动手臂将基板移动到制程腔室内部后，由于镜头对着制程腔室的透视窗，从而能拍摄基板边缘与基准单元的基准线界定的间隙区域的检测图像，根据检测图像便能计算得到基板中心轴线与基准单元中心轴线的偏差，相对于人肉眼观察的方式得到而言，所获取的偏差数据更加精准可靠，进而便于数据的读取和基板中心轴线与基准单元中心轴线相互对位与校准，能提高基板放置位置的精准度和后续制程中的膜厚均匀度。
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1.一种基板位置校准装置，其特征在于，所述基板位置校准装置包括：
2.根据权利要求1所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述镜头为放大镜头。
3.根据权利要求1或2所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述摄像器件包括相机，所述相机为工业相机。
4.根据权利要求3所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述摄像器件还包括镜筒、以及设置于所述镜筒中的反射镜组；所述镜筒的相对两端分别连接所述相机与所述镜头，所述反射镜组用于将所述镜头的图像反射至所述相机。
5.根据权利要求4所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述相机与所述支架相连，所述相机设置于所述制程腔室顶部的中心位置的上方，所述镜筒与所述相机转动相连。
6.根据权利要求4所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述反射镜组包括第一反射镜与第二反射镜；所述镜筒包括依次相连的第一筒段、第二筒段与第三筒段；所述第一筒段与所述相机相连，所述第三筒段与所述镜头相连，所述第一筒段与所述第二筒段呈夹角设置，所述第二筒段与所述第三筒段呈夹角设置；所述第一反射镜设置于所述第一筒段与所述第二筒段的连
7.根据权利要求6所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述第二筒段为可伸缩调节的筒段。
8.根据权利要求1所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述支架包括用于与所述基板处理机台可拆卸连接的套筒、以及与所述套筒相连的支撑臂，所述支撑臂与所述摄像器件相连。
9.根据权利要求1所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述支架包括用于与所述基板处理机台可拆卸连接的安装板、以及与所述安装板相连的支撑臂，所述支撑臂与所述摄像器件相连。
10.根据权利要求8或9所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述支撑臂设有可伸缩调节的臂段。
11.一种基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统包括如权利要求1至10任一项所述的基板位置校准装置，所述基板处理系统还包括基板处理机台、机器人移动手臂与控制器，所述基板处理机台设有制程腔室与缓存腔室，所述控制器分别与所述摄像器件、所述机器人移动手臂电性连接，所述基板设于所述制程腔室的基准单元上，所述控制器根据所述摄像器件的检测图像得到基板中心轴线与基准单元中心轴线的偏差值，根据所述偏差值调整所述机器人移动手臂的运动参数，以及根据所述运动参数控制所述机器人移动手臂动作，所述机器人移动手臂用于将所述基板从所述缓存腔室的内部送入到所述制程腔室的内部，或者从所述制程腔室的内部移出到所述缓存腔室的内部。
12.根据权利要求11所述的基板处理系统，其特征在于，所述镜头朝向所述基板边缘与所述基准单元的基准线界定的间隙区域，并能够绕所述制程腔室的中心轴线转动至多个检测位置，所述多个检测位置周向设置于所述间隙区域，所述控制器用于根据所述多个检测位置的检测图像得到所述基板中心轴线与所述基准单元中心轴线的偏差值。
13.根据权利要求12所述的基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统还包括驱动机构，所述驱动机构与所述控制器电性连接，所述驱动机构与所述摄像器件相连，所述驱动机构用于驱动所述镜头绕所述制程腔室的中心轴线转动。
14.根据权利要求11至13任一项所述的基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统还包括警示器，所述警示器与所述控制器电性连接。
15.一种基板位置校准方法，其特征在于，所述基板位置校准方法包括：
16.根据权利要求15所述的基板位置校准方法，其特征在于，所述对基板边缘与基准单元的基准线界定的间隙区域进行拍摄得到检测图像包括：将镜头绕制程腔室的中心轴线转动到多个检测位置，所述多个检测位置周向设置于所述间隙区域，在所述多个检测位置分别拍摄得到检测图像；
17.根据权利要求15或16所述的基板位置校准方法，其特征在于，所述基板位置校准方法还包括报警步骤：当所述偏差值大于预设值时，进行报警操作。
18.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求15至17任一项所述的方法的步骤。
19.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求15至17任一项所述的方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种基板位置校准装置，其特征在于，所述基板位置校准装置包括：
2.根据权利要求1所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述镜头为放大镜头。
3.根据权利要求1或2所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述摄像器件包括相机，所述相机为工业相机。
4.根据权利要求3所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述摄像器件还包括镜筒、以及设置于所述镜筒中的反射镜组；所述镜筒的相对两端分别连接所述相机与所述镜头，所述反射镜组用于将所述镜头的图像反射至所述相机。
5.根据权利要求4所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述相机与所述支架相连，所述相机设置于所述制程腔室顶部的中心位置的上方，所述镜筒与所述相机转动相连。
6.根据权利要求4所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述反射镜组包括第一反射镜与第二反射镜；所述镜筒包括依次相连的第一筒段、第二筒段与第三筒段；所述第一筒段与所述相机相连，所述第三筒段与所述镜头相连，所述第一筒段与所述第二筒段呈夹角设置，所述第二筒段与所述第三筒段呈夹角设置；所述第一反射镜设置于所述第一筒段与所述第二筒段的连接部位，所述第二反射镜设置于所述第二筒段与所述第三筒段的连接部位。
7.根据权利要求6所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述第二筒段为可伸缩调节的筒段。
8.根据权利要求1所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述支架包括用于与所述基板处理机台可拆卸连接的套筒、以及与所述套筒相连的支撑臂，所述支撑臂与所述摄像器件相连。
9.根据权利要求1所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述支架包括用于与所述基板处理机台可拆卸连接的安装板、以及与所述安装板相连的支撑臂，所述支撑臂与所述摄像器件相连。
10.根据权利要求8或9所述的基板位置校准装置，其特征在于，所述支撑臂设有可伸缩调节的臂段。
11.一种基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统包括如权利要求1至10任一项所述的基板位置校准装置，所述基板处理系统还包括基板处理机台、机器人移动手臂与控制器，所述基板处理机台设有制程腔室与缓存腔室，所述控制器分别与所述摄像器件、所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：邢玉芝，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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