一种用于显影机的晶圆收纳装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆收纳装置技术领域，具体为一种用于显影机的晶圆收纳装置，包括晶圆本体，晶圆本体的底部外侧设置有收纳装置，收纳装置包括固定座，固定座的一侧设置有左护座，固定座的另一侧设置有右护座，固定座的顶端外侧对称设置有卡座，卡座的内侧连接有限位板，左护座的顶端两侧设有凸块，凸块的顶端外侧设有圆环，圆环的内侧开设有若干第一齿槽。本实用新型专利技术通过将晶圆放置在固定座和左右护座围起来的空间内，使其稳固放置，避免受损受污染；通过向外拉动卡座，再转动左右护座调整其角度，使其适配大小尺寸的晶圆，避免占用空间。

A wafer storage device for developing machine

【技术实现步骤摘要】
一种用于显影机的晶圆收纳装置
本技术涉及晶圆收纳装置
，具体为一种用于显影机的晶圆收纳装置。
技术介绍
显影机一般由工艺腔体、控制系统、动力部分及显示部分、夹具、储液罐等组成。采用喷雾式或者puddle式显影方法，将晶圆吸附于真空吸盘夹具上并旋转，显影液通过喷嘴喷射或者滴到晶圆上，显影完成后清洗喷嘴对晶圆进行冲洗，将其甩干。然而晶圆没有一个专用的收纳，保护其不受损伤和污染。鉴于此，我们提出一种用于显影机的晶圆收纳装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于显影机的晶圆收纳装置，以解决上述
技术介绍
中提出的晶圆收纳装置不能随其外径改变而变动尺寸的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于显影机的晶圆收纳装置，包括晶圆本体，所述晶圆本体的底部外侧设置有收纳装置，所述收纳装置包括固定座，所述固定座的一侧设置有左护座，所述固定座的另一侧设置有右护座，所述固定座的顶端外侧对称设置有卡座，所述卡座的内侧连接有限位板，所述固定座呈扇形壳体状且两侧与外界相连通，所述固定座的底端内侧设有若干隔块，所述固定座的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于显影机的晶圆收纳装置，包括晶圆本体(1)，其特征在于：所述晶圆本体(1)的底部外侧设置有收纳装置(2)，所述收纳装置(2)包括固定座(20)，所述固定座(20)的一侧设置有左护座(21)，所述固定座(20)的另一侧设置有右护座(22)，所述固定座(20)的顶端外侧对称设置有卡座(23)，所述卡座(23)的内侧连接有限位板(24)，所述固定座(20)呈扇形壳体状且两侧与外界相连通，所述固定座(20)的底端内侧设有若干隔块(201)，所述固定座(20)的顶端对称设有圆板(202)，所述圆板(202)内侧的中心处开设有沉孔(203)，所述沉孔(203)的两侧且位于所述圆板(202)的外侧...

【技术特征摘要】
1.一种用于显影机的晶圆收纳装置，包括晶圆本体(1)，其特征在于：所述晶圆本体(1)的底部外侧设置有收纳装置(2)，所述收纳装置(2)包括固定座(20)，所述固定座(20)的一侧设置有左护座(21)，所述固定座(20)的另一侧设置有右护座(22)，所述固定座(20)的顶端外侧对称设置有卡座(23)，所述卡座(23)的内侧连接有限位板(24)，所述固定座(20)呈扇形壳体状且两侧与外界相连通，所述固定座(20)的底端内侧设有若干隔块(201)，所述固定座(20)的顶端对称设有圆板(202)，所述圆板(202)内侧的中心处开设有沉孔(203)，所述沉孔(203)的两侧且位于所述圆板(202)的外侧面对称开设有凹槽(204)，所述左护座(21)的顶端两侧设有凸块(210)，所述凸块(210)的顶端外侧设有圆环(211)，所述圆环(211)的内侧开设有若干第一齿槽(212)，所述卡座(23)的两侧对称设有插块(230)，所述卡座(23)的一端开设有内腔(231)，所述内腔(231)的内端面开设有螺纹孔(232)，所述插块(230)与所述第一齿槽(212)插接配合，所述限位板(24)与所述沉孔(203)大径卡接配合，所述限位板(24)的内侧中心处嵌设有弹簧(240)，所述弹簧(240)的另一端嵌设有连接柱(241)，所述连接柱(241)的外侧设有螺纹且螺纹与所述螺纹孔(232)螺纹连接。


2.根据权利要求1所述的用于显影机的晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙国标，凌永康，杜良辉，
申请(专利权)人：江苏壹度科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32