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本实用新型涉及晶圆收纳装置技术领域，具体为一种用于显影机的晶圆收纳装置，包括晶圆本体，晶圆本体的底部外侧设置有收纳装置，收纳装置包括固定座，固定座的一侧设置有左护座，固定座的另一侧设置有右护座，固定座的顶端外侧对称设置有卡座，卡座的内侧连接...
该专利属于江苏壹度科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏壹度科技股份有限公司授权不得商用。

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