【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测用除尘装置
本技术涉及晶圆检测装置，特别涉及一种晶圆检测用除尘装置。
技术介绍
半导体集成电路制造过程中，晶圆是最常用的半导体材料，晶圆经过特定工艺生产出来后，需要对晶圆进行检测以确定该产品是否合格。晶圆探针台主体是一种对成型后的晶圆进行检测，并判定晶圆是否合格的一种工业设备，其广泛应用于半导体行业、集成电路以及封装测试行业。目前，公告号为CN208239572U的中国专利公开了一种带有同轴光源的探针台，包括探针台主体、开设在探针台主体上的放置槽和设置在放置槽槽口处的探针卡放置台，探针卡放置台上设有探针卡放置口，探针卡放置口处设有用于对探针卡进行限位的限位板，还包括光载板和带有照明灯的灯具，光载板可拆卸的连接于探针卡放置台，光载板上设有通光孔，灯具设置在光载板上，灯具的一端穿过通光孔，灯具的光源穿过探针板上的孔照射进放置槽内。这种带有同轴光源的探针台主体在实际使用过程中，工作人员需要将待检测的晶圆运输至探针台主体内，现有技术中，晶圆的运输方式通常是工作人员利用晶圆盒装载晶圆进行运输，而在运输过程中...
【技术保护点】
1.一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：包括若干吹尘枪(6),探针台主体(1)上表面连接有若干呈竖向设置的支撑杆(4)，若干支撑杆(4)围绕放置槽(2)设置，若干支撑杆(4)的顶端连接有同一个承托圆环(5)，吹尘枪(6)连接在承托圆环(5)上，吹尘枪(6)的喷嘴朝向放置槽(2)内，吹尘枪(6)的进气端套设有进气软管(7)，进气软管(7)远离吹尘枪(6)的一端连通有高压存气罐(8)，进气软管(7)的管身上连接有第一通气阀(23)。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：包括若干吹尘枪(6),探针台主体(1)上表面连接有若干呈竖向设置的支撑杆(4)，若干支撑杆(4)围绕放置槽(2)设置，若干支撑杆(4)的顶端连接有同一个承托圆环(5)，吹尘枪(6)连接在承托圆环(5)上，吹尘枪(6)的喷嘴朝向放置槽(2)内，吹尘枪(6)的进气端套设有进气软管(7)，进气软管(7)远离吹尘枪(6)的一端连通有高压存气罐(8)，进气软管(7)的管身上连接有第一通气阀(23)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：吹尘枪(6)转动连接在承托圆环(5)上，探针台主体(1)的上表面设有驱动马达(9)，驱动马达(9)的输出轴固定套设有转动圆盘(10)，转动圆盘(10)背离驱动马达(9)的一侧连接有转动销(11)，转动销(11)位于转动圆盘(10)的边沿处，转动销(11)上转动连接有转动杆(12)，转动杆(12)远离转动销(11)的一端转动连接于吹尘枪(6)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙军，
申请(专利权)人：无锡新微阳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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