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本实用新型涉及晶圆检测装置，公开了一种晶圆检测用除尘装置，其技术方案要点是包括若干吹尘枪,探针台主体上表面连接有若干呈竖向设置的支撑杆，若干支撑杆围绕放置槽设置，若干支撑杆的顶端连接有同一个承托圆环，吹尘枪连接在承托圆环上，吹尘枪的喷嘴朝向...
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