一种程控三管扩散炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种程控三管扩散炉，包括扩散炉主体，上料装置的底端安装有三个临时存放抽屉，临时存放抽屉的表面一侧安装有内缩把手，临时存放抽屉的内部顶端一侧安装有温度控制器，温度控制器的底端安装有继电器，继电器的底端安装有橡胶底座，继电器的一侧安装有半导体制冷片，半导体制冷片的顶侧安装有三个半导体存放盒，半导体存放盒外侧安设置有密封填充，半导体存放盒两端包含有固定挡板，两端固定挡板一侧表面设置有凹槽，两端固定挡板内侧安装有活动隔板。本实用新型专利技术通过在上料装置底端设置临时存放抽屉，通过在临时存放抽屉内壁上设置温控结构，使密封填充能够传导温度至半导体存放盒内。

A program controlled three tube diffusion furnace

【技术实现步骤摘要】
一种程控三管扩散炉
本技术涉及加工
，特别涉及一种程控三管扩散炉。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。但是，在进行扩散炉的工作使用后，扩散炉的炉体中会产生少量的不合格品，以及在上料装置中有需要待放入的半导体进行再次加工的，需要一个就近的储存地点，而通常的集中储存地点距离扩散炉较远，因此实用性不强。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种程控三管扩散炉，可做到临时存放并储存半导体半成品，同时可以对储存地点的温度进行调节。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：本技术一种程控三管扩散炉，包括扩散炉主体，所述扩散炉主体的一端安装有炉体，所述炉体的一端安装有上料装置，所述上料装置的另一端安装有电控装置，所述电控装置的表面一侧安装有检修侧门，所述电控装置的底端安装有存放柜，所述上料装置的底端安装有三个临时存放抽屉，所述临时存放抽屉的表面一侧安装有内缩本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种程控三管扩散炉，包括扩散炉主体(1)，其特征在于，所述扩散炉主体(1)的一端安装有炉体(2)，所述炉体(2)的一端安装有上料装置(3)，所述上料装置(3)的另一端安装有电控装置(4)，所述电控装置(4)的表面一侧安装有检修侧门(5)，所述电控装置(4)的底端安装有存放柜(6)，所述上料装置(3)的底端安装有三个临时存放抽屉(7)，所述临时存放抽屉(7)的表面一侧安装有内缩把手(8)，所述临时存放抽屉(7)的内部顶端一侧安装有温度控制器(9)，所述温度控制器(9)的底端安装有继电器(10)，所述继电器(10)的底端安装有橡胶底座(11)，所述继电器(10)的一侧安装有半导体制冷片(12)...

【技术特征摘要】
1.一种程控三管扩散炉，包括扩散炉主体(1)，其特征在于，所述扩散炉主体(1)的一端安装有炉体(2)，所述炉体(2)的一端安装有上料装置(3)，所述上料装置(3)的另一端安装有电控装置(4)，所述电控装置(4)的表面一侧安装有检修侧门(5)，所述电控装置(4)的底端安装有存放柜(6)，所述上料装置(3)的底端安装有三个临时存放抽屉(7)，所述临时存放抽屉(7)的表面一侧安装有内缩把手(8)，所述临时存放抽屉(7)的内部顶端一侧安装有温度控制器(9)，所述温度控制器(9)的底端安装有继电器(10)，所述继电器(10)的底端安装有橡胶底座(11)，所述继电器(10)的一侧安装有半导体制冷片(12)，所述半导体制冷片(12)的顶侧安装有三个半导体存放盒(13)，所述半导体存放盒(13)外侧安设置有密封填充(14)，所述半导体存放盒(13)两端包含有固定挡板(15)，所述两端固定挡板(15)一侧表面设置有凹槽(16)，所述两端固定挡板(15)内侧安装有活动隔板(17)。


2.根据权利要求1所述的一种程控三管扩散炉，其特征在于，所述活动隔板(17)和固定挡板(15)通过凹槽(16)滑动卡扣连接，所述活动隔板(17)是由聚乙烯与橡胶材料复合构...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱育平，付月明，孟祥飞，
申请(专利权)人：青岛育豪微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37