一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备制造技术

技术编号:22914982 阅读:28 留言:0更新日期:2019-12-24 22:03
本发明专利技术公开了一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备,包括陶瓷盘卡塞上料机构、陶瓷盘搬运机构、陶瓷盘加热机构、陶瓷盘冷却机构、机台;其中:机台上表面左右两端均安装有陶瓷盘卡塞上料机构,机台上表面上下两端均安装有陶瓷盘加热机构、陶瓷盘冷却机构,机台上表面中部安装有陶瓷盘搬运机构。本发明专利技术的优点在于:利用陶瓷盘搬运机构中的水平移载模组,旋转模组和竖直移载模组搭配起来实现陶瓷盘取放,利用加热及冷却机构中的顶升模组实现与搬运机构的衔接,通过以上两个机构配合工作,实现陶瓷盘的自动传送目的;另外增加冷却机构,通过工艺冷却水系统中的冷却水在冷却盘中的流动加快热传递,提高生产效率,实现生产的自动化。

【技术实现步骤摘要】
一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备
本专利技术涉及LED晶圆自动化作业
,尤其涉及一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备。
技术介绍
在LED行业,研磨工序的下蜡方式是靠人员手动将带有晶圆片的陶瓷盘从货架搬运放置到加热平台上,加热后人员将晶圆片下蜡,之后再手动把陶瓷盘放置到一个平台上自然冷却,冷却后对陶瓷盘进行擦拭,原始方式人工搬运耗费人力且自然冷却生产效率较低,导致企业生产效率低下,增加企业生产成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供了一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备,实现陶瓷盘在陶瓷盘卡塞上料机构、陶瓷盘加热机构、陶瓷盘冷却机构之间的取放,省去人员搬动,从而节省人力,有效提高了生产效率,实现自动化生产。为实现所述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备,包括陶瓷盘卡塞上料机构、陶瓷盘搬运机构、陶瓷盘加热机构、陶瓷盘冷却机构、机台;其中:机台上表面左右两端均安装有陶瓷盘卡塞上料机构,机台上表面上下两端均安装有陶瓷盘加热机构、陶瓷盘冷却机构,机台上表面中部安装有陶瓷盘搬运机构。所述陶瓷盘卡塞上料机构包括电机一、螺杆一、固定座一、导杆一、支撑基座一、气缸一、定位块;其中:固定座一上安装电机一、螺杆一、导杆一,支撑基座一上安装气缸一、定位块,固定座一通过导杆一、螺杆一与支撑基座一连接,电机一上的转轴与螺杆一同轴连接,电机一带动螺杆一旋转,在导杆一的导向作用下,实现支撑基座一的上下移动,支撑基座一上的气缸一在气源的驱动下,带动定位块的上升下降,实现陶瓷盘卡塞的定位。所述陶瓷盘搬运机构包括电机二、驱动轮、皮带、从动轮、固定座二、支撑基座二、固定杆一、导杆二、固定座三、支撑基座三、螺杆二、电机三、旋转齿轮、支撑基座四、传感器、滑轨、气缸二、机械手臂、真空吸盘;其中:固定座二上安装电机二、驱动轮、从动轮、固定杆一、螺杆二,固定座三通过固定杆一与固定座二相连,固定座三通过导杆二与支撑基座二及支撑基座三相连,支撑基座二固定在螺杆二上,螺杆二与从动轮相连,支撑基座三上安装电机三、旋转齿轮,支撑基座四与旋转齿轮相连,支撑基座四上安装传感器、滑轨、气缸二,机械手臂通过气缸二与支撑基座四相连,机械手臂上安装真空吸盘,电机二带动驱动轮的旋转,经过皮带带动从动轮的旋转,从动轮带动螺杆二的旋转,在导杆二的导向作用下,实现支撑基座二和支撑基座三整体框架的上下移动,电机三带动旋转齿轮的旋转,带动支撑基座四整体框架的水平面旋转,气缸二在滑轨上的移动带动机械手臂和真空吸盘的整体伸缩。所述陶瓷盘加热机构包括气缸三、导杆三、固定杆二、加热棒入口、加热盘、支撑基座五、顶升杆一、支撑基座六;其中:支撑基座五上安装气缸三、导杆三,支撑基座六通过导杆三与支撑基座五相连,支撑基座六上安装顶升杆一,顶升杆一穿过加热盘,固定杆二将加热盘固定在机台整体基座上,加热盘上有加热棒入口,用来安装加热棒,气缸三内的活塞杆与支撑基座六连接,气缸三在气源的驱动下,带动支撑基座六和顶升杆一的上升下降,从而实现陶瓷盘相对于加热盘的上升和下降。所述陶瓷盘冷却机构包括气缸四、导杆四、固定杆三、冷却水入口、冷却水出口、冷却盘、支撑基座六、顶升杆二、支撑基座七;其中:支撑基座七上安装气缸四、导杆四,支撑基座七通过导杆四与支撑基座八相连,支撑基座八上安装顶升杆二,顶升杆二穿过冷却盘,固定杆三将冷却盘固定在机台整体基座上,冷却盘上有冷却水入口、冷却水出口,用来连接外部的冷却循环水,气缸四内的活塞杆与支撑基座八连接,气缸四在气源的驱动下,带动支撑基座八和顶升杆二的上升下降,从而实现陶瓷盘相对于冷却盘的上升和下降。其中:所述固定座一安装于机台上表面上。其中:所述固定座二安装于机台上表面上。其中:每个所述陶瓷盘加热机构内有四根导杆三安装于机台上表面上。其中:每个所述陶瓷盘冷却机构内有四根导杆四安装于机台上表面上。与现有技术相比,本专利技术提供了一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备,具备以下有益效果:本专利技术利用陶瓷盘搬运机构中的水平移载模组,旋转模组和竖直移载模组搭配起来实现陶瓷盘取放,利用加热及冷却机构中的顶升模组实现与搬运机构的衔接,通过以上两个机构配合工作,实现陶瓷盘的自动传送目的;另外增加冷却机构,通过工艺冷却水系统中的冷却水在冷却盘中的流动加快热传递,提高生产效率,实现生产的自动化,省时省力,节约企业生产成本。附图说明图1为本专利技术的整体结构示意图。图2为本专利技术中陶瓷盘卡塞上料机构的结构示意图。图3为本专利技术中陶瓷盘搬运机构的结构示意图。图4为本专利技术中陶瓷盘加热机构的结构示意图。图5为本专利技术中陶瓷盘冷却机构的结构示意图。附图标记:陶瓷盘卡塞上料机构1、陶瓷盘搬运机构2、陶瓷盘加热机构3、陶瓷盘冷却机构4、电机一5、螺杆一6、固定座一7、导杆一8、支撑基座一9、气缸一10、定位块11、电机二12、驱动轮13、皮带14、从动轮15、固定座二16、支撑基座二17、固定杆一18、导杆二19、固定座三20、支撑基座三21、螺杆二22、电机三23、旋转齿轮24、支撑基座四25、传感器26、滑轨27、气缸二28、机械手臂29、真空吸盘30、气缸三31、导杆三32、固定杆二33、加热棒入口34、加热盘35、支撑基座五36、顶升杆一37、支撑基座六38、气缸四39、导杆四40、固定杆三41、冷却水入口42、冷却水出口43、冷却盘44、支撑基座六45、顶升杆二46、支撑基座七47、机台48。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。实施例1、如图1所示,一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备,包括陶瓷盘卡塞上料机构1、陶瓷盘搬运机构2、陶瓷盘加热机构3、陶瓷盘冷却机构4、机台48;其中:机台48上表面左右两端均安装有陶瓷盘卡塞上料机构1,机台48上表面上下两端均安装有陶瓷盘加热机构3、陶瓷盘冷却机构4,机台48上表面中部安装有陶瓷盘搬运机构2。如图2所示,所述陶瓷盘卡塞上料机构1包括电机一5、螺杆一6、固定座一7、导杆一8、支撑基座一9、气缸一10、定位块11;其中:固定座一7上安装电机一5、螺杆一6、导杆一8,支撑基座一9上安装气缸一10、定位块11,固定座一7通过导杆一8、螺杆一6与支撑基座一9连接,电机一5上的转轴与螺杆一6同轴连接,电机一5带动螺杆一6旋转,在导杆一8的导向作用下,实现支撑基座一9的上下移动,支撑基座一9上的气缸一10在气源的驱动下,带动定位块11的上升下降,实现陶瓷盘卡塞的定位。如图3所示,所述陶瓷盘搬运机构2包括电机二12、驱动轮13、皮带14、从动轮15、固定座二16、支撑基座二17、固定杆一18、导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备,包括陶瓷盘卡塞上料机构(1)、陶瓷盘搬运机构(2)、陶瓷盘加热机构(3)、陶瓷盘冷却机构(4)、机台(48);其特征在于:机台(48)上表面左右两端均安装有陶瓷盘卡塞上料机构(1),机台(48)上表面上下两端均安装有陶瓷盘加热机构(3)、陶瓷盘冷却机构(4),机台(48)上表面中部安装有陶瓷盘搬运机构(2)。/n

【技术特征摘要】
1.一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备,包括陶瓷盘卡塞上料机构(1)、陶瓷盘搬运机构(2)、陶瓷盘加热机构(3)、陶瓷盘冷却机构(4)、机台(48);其特征在于:机台(48)上表面左右两端均安装有陶瓷盘卡塞上料机构(1),机台(48)上表面上下两端均安装有陶瓷盘加热机构(3)、陶瓷盘冷却机构(4),机台(48)上表面中部安装有陶瓷盘搬运机构(2)。


2.根据权利要求1所述的一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备,所述陶瓷盘卡塞上料机构(1)包括电机一(5)、螺杆一(6)、固定座一(7)、导杆一(8)、支撑基座一(9)、气缸一(10)、定位块(11);其特征在于:固定座一(7)上安装电机一(5)、螺杆一(6)、导杆一(8),支撑基座一(9)上安装气缸一(10)、定位块(11),固定座一(7)通过导杆一(8)、螺杆一(6)与支撑基座一(9)连接,电机一(5)上的转轴与螺杆一(6)同轴连接,电机一(5)带动螺杆一(6)旋转,在导杆一(8)的导向作用下,实现支撑基座一(9)的上下移动,支撑基座一(9)上的气缸一(10)在气源的驱动下,带动定位块(11)的上升下降,实现陶瓷盘卡塞的定位。


3.根据权利要求1所述的一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备,所述陶瓷盘搬运机构(2)包括电机二(12)、驱动轮(13)、皮带(14)、从动轮(15)、固定座二(16)、支撑基座二(17)、固定杆一(18)、导杆二(19)、固定座三(20)、支撑基座三(21)、螺杆二(22)、电机三(23)、旋转齿轮(24)、支撑基座四(25)、传感器(26)、滑轨(27)、气缸二(28)、机械手臂(29)、真空吸盘(30);其特征在于:固定座二(16)上安装电机二(12)、驱动轮(13)、从动轮(15)、固定杆一(18)、螺杆二(22),固定座三(20)通过固定杆一(18)与固定座二(16)相连,固定座三(20)通过导杆二(19)与支撑基座二(17)及支撑基座三(21)相连,支撑基座二(17)固定在螺杆二(22)上,螺杆二(22)与从动轮(15)相连,支撑基座三(21)上安装电机三(23)、旋转齿轮(24),支撑基座四(25)与旋转齿轮(24)相连,支撑基座四(25)上安装传感器(26)、滑轨(27)、气缸二(28),机械手臂(29)通过气缸二(28)与支撑基座四(25)相连,机械手臂(29)上安装真空吸盘(30),电机二(12)带动驱动轮(13)的旋转,经过皮带(14)带动从动轮(15)的旋转,从动轮(15)带动螺杆二(22)的旋转,在导杆二(19)的导向作用下,实现支撑基座二(17)和支撑基座三(21)整体框架的上下移动,电机三(23)带动旋转齿轮(24)的旋转,带动支撑基座四(25...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴琼琼崔思远文国昇钟胜时武良文
申请(专利权)人:江西兆驰半导体有限公司
类型:发明
国别省市:江西;36

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