【技术实现步骤摘要】
储料器
技术介绍
本公开涉及一种储料器，更具体地，涉及一种用于将晶片容置到搁架的储料器。在制造半导体器件的方法中，容置晶片的盒存储在储料器中。储料器包括多个用于容纳盒的搁架。搁架沿水平和垂直方向排列。用于运输盒的机器人设置在储料器内。机器人可在水平和垂直方向上移动，并运送盒。在储料器中，晶片以容纳在盒中的状态转移并储存在搁架中。因此，难以根据储料器中的预定基准对晶片进行分类。
技术实现思路
本专利技术提供了一种能够根据预定基准对盒中容置的晶片进行分类的储料器。根据本公开的一个方面，储料器可以包括：装载端口，用于容置晶片的盒在装载端口被装载或者卸载；对准器，其被配置为对准晶片并且确认晶片的识别码；多个搁架，每个搁架具有用于容置晶片的槽；第一传送机器人，其具有用于在装载端口和对准器之间传送晶片的第一机器人臂；以及第二传送机器人，其具有用于在对准器和搁架之间传送晶片的第二机器人臂。根据本公开的一些示例性实施例，对准器可包括：旋转构件，该旋转构件配置成通过支撑和旋转晶片来对准晶片；定心构件，其相对于旋转构件径向...
【技术保护点】
1.一种储料器包括：/n装载端口，用于容置晶片的盒装载在所述装载端口上或者从所述装载端口被卸载；/n对准器，其被配置为对准所述晶片并且确认所述晶片的识别码；/n多个搁架，每个所述搁架具有用于容置所述晶片的槽；/n第一传送机器人，其具有用于在所述装载端口和所述对准器之间传送所述晶片的第一机器人臂；以及/n第二传送机器人，其具有用于在所述对准器和所述搁架之间传送所述晶片的第二机器人臂。/n
【技术特征摘要】
20180614 KR 10-2018-00681221.一种储料器包括：
装载端口，用于容置晶片的盒装载在所述装载端口上或者从所述装载端口被卸载；
对准器，其被配置为对准所述晶片并且确认所述晶片的识别码；
多个搁架，每个所述搁架具有用于容置所述晶片的槽；
第一传送机器人，其具有用于在所述装载端口和所述对准器之间传送所述晶片的第一机器人臂；以及
第二传送机器人，其具有用于在所述对准器和所述搁架之间传送所述晶片的第二机器人臂。
2.如权利要求1所述的储料器，其中所述对准器包括：
旋转构件，其配置成通过支撑和旋转所述晶片来对准所述晶片；
定心构件，其相对于所述旋转构件径向布置，每个所述定心构件配置成可朝向所述旋转构件移动，并移动位于所述旋转构件上的所述晶片以使所述晶片的中心相对于所述旋转构件的中心对准；以及
识别单元，其设置在所述旋转构件上方并且被配置为识别由所述旋转构件支撑的所述晶片的识别码。
3.如权利要求1所述的储料器，还包括控制器，所述控制器被配置为使用从所述对准器获取的所述晶片的所述识别码来获得关于所述晶片的预先存储的信息，并控制所述第二传送机器人的操作，以将一个所述晶片传送...
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