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下载储料器的技术资料

文档序号:22914977

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储料器可包括:装载端口,其中用于容置晶片的盒子被装载或卸载;对准器,其被配置成对准晶片并确认晶片的识别码;多个搁架,各自具有用于容置晶片的槽;第一传送机器人,其具有用于在装载端口和对准器之间传送晶片的第一机器人臂;和第二传送机器人,其具有用...
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