一种烧结均匀的三管扩散炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种烧结均匀的三管扩散炉，包括主炉体，所述主炉体内安装有三个扩散炉管件，所述扩散炉管件内安装有烧结机构，所述烧结机构内安装有L型输送弯管，所述L型输送弯管的一端安装有第一锥形管，所述第一锥形管呈锥形台设置，所述第一锥形管的一端贯通设置，所述第一锥形管的另一端上贯穿设有第二锥形管件和多个弯管件，所述第二锥形管件位于多个弯管件，所述第二锥形管件上等间距开设有多个通孔，所述弯管件上安装有第三锥形管件。本实用新型专利技术能很好的使气体快速吹动相互碰撞，方便使气体之间均匀混合，并且通过预热方式将L型输送弯管内的混合气体快速提温，便于保证气体在进入承载管内后能均匀分布，保证烧结的均匀性。匀性。匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种烧结均匀的三管扩散炉


[0001]本技术涉及扩散炉
，尤其涉及一种烧结均匀的三管扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。
[0003]为了保证烧结的均匀性，需要保证各种气体混合的均匀性，并且将其进行有效加热，避免进入烧结设备内后骤然升温，使气体无法均匀分布，现有的气体混合设备结构复杂，不利于快速使气体混合，影响混合的效率和质量，所以需要进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有的气体混合设备结构复杂，不利于快速使气体混合，影响混合的效率和质量的不足，而提出的一种烧结均匀的三管扩散炉。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种烧结均匀的三管扩散炉，包括主炉体，所述主炉体内安装有三个扩散炉管件，所述扩散炉管件内安装有烧结机构，所述烧结机构内安装有L型输送弯管，所述L型输送弯管的一端安装有第一锥形管，所述第一锥形管呈锥形台设置，所述第一锥形管的一端贯通设置，所述第一锥形管的另一端上贯穿设有第二锥形管件和多个弯管件，所述第二锥形管件位于多个弯管件，所述第二锥形管件上等间距开设有多个通孔，所述弯管件上安装有第三锥形管件，多个第三锥形管件分别和多个通孔相对应。
[0007]优选地，为了进一步的使气体进行混合，所述L型输送弯管内安装有密封板，所述密封板上等间距安装有多个弯头方管件，多个弯头方管件呈圆形排列。
[0008]优选地，为了提升气体的温度，所述L型输送弯管上套设有辅助加热组件。
[0009]优选地，为了便于进行烧结运作，所述烧结机构包括开设在扩散炉管件内的空腔，所述空腔内贯穿设有承载管，所述L型输送弯管贯穿设置在承载管的一端，所述承载管内贯穿设有回流管，所述空腔内的一周侧壁上安装有加热组件。
[0010]优选地，为了方便待烧结部件输送进承载管，所述主炉体的一侧安装有辅助炉体。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、通过第二锥形管件的锥形设置，能使气体从通孔移出的速度较快，通过弯管件的弯头设置，便于使第三锥形管件和通孔一一对应，方便使两个气体相互冲击，能有效进行混合，并且通过弯头方管件的圆周排列，能很好的使气体出现旋转相交的情况，进一步的提升其混合的均匀性；
[0013]2、通过辅助加热组件能很好的进将气体进行预热，并且在进入空腔安装腔内后，也能快速使气体进行加热，能很好的使其进入承载管内后的温度均匀，避免出现无法均匀扩散的情况；
[0014]综上所述，本技术能很好的使气体快速吹动相互碰撞，方便使气体之间均匀混合，并且通过预热方式将L型输送弯管内的混合气体快速提温，便于保证气体在进入承载管内后能均匀分布，保证烧结的均匀性。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种烧结均匀的三管扩散炉的结构图；
[0016]图2为本技术提出的一种烧结均匀的三管扩散炉的扩散炉管件内部结构图；
[0017]图3为本技术提出的一种烧结均匀的三管扩散炉的L型输送弯管内部结构图；
[0018]图4为本技术提出的一种烧结均匀的三管扩散炉的第一锥形管结构图；
[0019]图中：1主炉体、2辅助炉体、3扩散炉管件、4L型输送弯管、5回流管、6加热组件、7承载管、8第一锥形管、9弯管件、10第二锥形管件、11密封板、12弯头方管件、13辅助加热组件、14通孔、15第三锥形管件。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0021]参照图1
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4，一种烧结均匀的三管扩散炉，包括主炉体1，主炉体1内安装有三个扩散炉管件3，主炉体1的一侧安装有辅助炉体2，扩散炉管件3内安装有烧结机构，烧结机构内安装有L型输送弯管4，方便使气体通过L型输送弯管4进行输送。
[0022]参照图2，烧结机构包括开设在扩散炉管件3内的空腔，空腔内贯穿设有承载管7，L型输送弯管4贯穿设置在承载管7的一端，承载管7内贯穿设有回流管5，空腔内的一周侧壁上安装有加热组件6，能很好的通过加热组件6对承载管7内的部件和气体进行加热，方便实现烧结作业，同时L型输送弯管4的一端位于空腔内，方便通过加热组件6对L型输送弯管4位于空腔内的一端加热，能快速提升气体的温度。
[0023]参照图1
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4，L型输送弯管4的一端安装有第一锥形管8，第一锥形管8呈锥形台设置，第一锥形管8的一端贯通设置，第一锥形管8的另一端上贯穿设有第二锥形管件10和多个弯管件9，第二锥形管件10位于多个弯管件9，第二锥形管件10上等间距开设有多个通孔14，弯管件9上安装有第三锥形管件15，多个第三锥形管件15分别和多个通孔14相对应，通过辅助炉体2将承载部件输送到对应的承载管7内，这时气体通过L型输送弯管4的一端输送，通过第二锥形管件10经通孔14快速排出，并且通过弯管件9、第三锥形管件15排出，对应的第三锥形管件15和通孔14排出的气体相互碰撞快速混合，在进行移动时，经过多个弯头方管件12使其形成漩涡流动的方式，进一步的提升其混合的效率，在流动时经过辅助加热组件13和承载管7和腔内L型输送弯管4的部分进行加热，使其进入承载管7后温度均匀，便于均匀分散，方便提高烧结的均匀性。
[0024]参照图3，L型输送弯管4内安装有密封板11，密封板11上等间距安装有多个弯头方管件12，多个弯头方管件12呈圆形排列，能很好的使气体和L型输送弯管4碰撞分散，能进一步的提升气体混合的质量。
[0025]参照图2，L型输送弯管4上套设有辅助加热组件13，为了能快速使L型输送弯管4上
的辅助加热组件13对流动在L型输送弯管4内气体的温度。
[0026]在本技术中，使用时，通过辅助炉体2将承载部件输送到对应的承载管7内，这时气体通过L型输送弯管4的一端输送，通过第二锥形管件10经通孔14快速排出，并且通过弯管件9、第三锥形管件15排出，对应的第三锥形管件15和通孔14排出的气体相互碰撞快速混合，在进行移动时，经过多个弯头方管件12使其形成漩涡流动的方式，进一步的提升其混合的效率，在流动时经过辅助加热组件13和承载管7和腔内L型输送弯管4的部分进行加热，使其进入承载管7后温度均匀，便于均匀分散，方便提高烧结的均匀性。
[0027]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烧结均匀的三管扩散炉，包括主炉体(1)，其特征在于：所述主炉体(1)内安装有三个扩散炉管件(3)，所述扩散炉管件(3)内安装有烧结机构，所述烧结机构内安装有L型输送弯管(4)，所述L型输送弯管(4)的一端安装有第一锥形管(8)，所述第一锥形管(8)呈锥形台设置，所述第一锥形管(8)的一端贯通设置，所述第一锥形管(8)的另一端上贯穿设有第二锥形管件(10)和多个弯管件(9)，所述第二锥形管件(10)位于多个弯管件(9)，所述第二锥形管件(10)上等间距开设有多个通孔(14)，所述弯管件(9)上安装有第三锥形管件(15)，多个第三锥形管件(15)分别和多个通孔(14)相对应。2.根据权利要求1所述的一种烧结均匀的三管扩散炉，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱育平，芮茂辉，孟祥飞，付月明，王花国，许云峰，邓会敏，
申请(专利权)人：青岛育豪微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：