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本实用新型公开了一种程控三管扩散炉,包括扩散炉主体,上料装置的底端安装有三个临时存放抽屉,临时存放抽屉的表面一侧安装有内缩把手,临时存放抽屉的内部顶端一侧安装有温度控制器,温度控制器的底端安装有继电器,继电器的底端安装有橡胶底座,继电器的一...该专利属于青岛育豪微电子设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛育豪微电子设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种程控三管扩散炉,包括扩散炉主体,上料装置的底端安装有三个临时存放抽屉,临时存放抽屉的表面一侧安装有内缩把手,临时存放抽屉的内部顶端一侧安装有温度控制器,温度控制器的底端安装有继电器,继电器的底端安装有橡胶底座,继电器的一...