The utility model discloses a suction device for semiconductor testing, which comprises a suction fixing base, a suction hole arranged at the center of the suction fixing base, a suction pipe connected and installed at the upper end of the suction hole, the suction pipe connected to the vacuum equipment, and a plurality of layers gradually arranged on the lower end surface of the suction fixing base with the suction hole as the center outwards Sealing frame: the lower end of the sealing frame is of opening design, and each sealing frame includes the whole sealing frame adjacent to its inner side; and the lower end face of the sealing frame and the suction fixing seat is set to be detachable for installation. The vacuum suction range of the suction device in the device is adjustable.
【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体测试中的吸取装置
本技术涉及半导体设备领域,具体说是一种用于半导体测试中的吸取装置。
技术介绍
在半导体测试中,经常会用到机械臂转移各种产品的位置,现有技术中机械臂通常是采用两种形式来完成产品的位置的转移,一是通过机械臂的抓取,这一形式其结构通常比较的复杂,另外一种就是通过真空设备产生负压吸取产品进行位置转移;例如半导体料盘、托盘等产品的转移均通过吸取设备进行吸取后转移;而现有的吸取装置中通常是通过设置吸盘结构配合真空设备吸取固定,但是现有的吸盘结构存在着一个较大的缺陷,就是现有的料盘托盘等产品的大小尺寸是不固定的,有大有小;而吸盘的吸取范围是固定的,无法调节的,对于较大的产品,如果吸盘的真空吸取范围较小,则不容易被吸取固定;而如果产品尺寸较小,同样无法正常吸取,只能够吸取范围正好的产品;非常的不方便。
技术实现思路
技术目的:针对上述现有技术存在的不足,提供一种用于半导体测试中的吸取装置。技术方案:为了实现上述技术目的,本技术采用的技术方案如下:一种用于半导体测试中的吸取装置;包括一吸取固定座;该所述的吸取固定座的中心位置处设置有一吸孔;该所述的吸孔的上端连接安装有吸管;该所述的吸管连接到真空设备上;而吸取固定座的下端面上则以吸孔为中心向外侧逐渐设置有若干层的密封框;所述密封框的下端均为开口设计,并且每一密封框均将其内侧相邻的密封框整体包括在内;且所述的密封框与吸取固定座的下端面设置为可拆卸安装;吸取固定座的下端面上其最内侧的密封框中以及相邻的密封框之间均填充有透气料;每一层透 ...
【技术保护点】
1.一种用于半导体测试中的吸取装置;其特征在于:包括一吸取固定座(1);该所述的吸取固定座(1)的中心位置处设置有一吸孔(2);该所述的吸孔(2)的上端连接安装有吸管(3);该所述的吸管(3)连接到真空设备上;而吸取固定座(1)的下端面上则以吸孔(2)为中心向外侧逐渐设置有若干层的密封框(4);所述密封框(4)的下端均为开口设计,并且每一密封框(4)均将其内侧相邻的密封框(4)整体包括在内;且所述的密封框(4)与吸取固定座(1)的下端面设置为可拆卸安装;吸取固定座(1)的下端面上其最内侧的密封框(4)中以及相邻的密封框(4)之间均填充有透气料(5);每一层透气料(5)的上端均安装在吸取固定座(1)的下端面上,而每一层透气料(5)的边侧部位则与密封框(4)为不固定的分离式安装结构,位于最内侧的密封框(4)中填充的透气料(5)将吸取固定座(1)的吸孔(2)覆盖住。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体测试中的吸取装置;其特征在于:包括一吸取固定座(1);该所述的吸取固定座(1)的中心位置处设置有一吸孔(2);该所述的吸孔(2)的上端连接安装有吸管(3);该所述的吸管(3)连接到真空设备上;而吸取固定座(1)的下端面上则以吸孔(2)为中心向外侧逐渐设置有若干层的密封框(4);所述密封框(4)的下端均为开口设计,并且每一密封框(4)均将其内侧相邻的密封框(4)整体包括在内;且所述的密封框(4)与吸取固定座(1)的下端面设置为可拆卸安装;吸取固定座(1)的下端面上其最内侧的密封框(4)中以及相邻的密封框(4)之间均填充有透气料(5);每一层透气料(5)的上端均安装在吸取固定座(1)的下端面上,而每一层透气料(5)的边侧部位则与密封框(4)为不固定的分离式安装结构,位于最内侧的密封框(4)中填充的透气料(5)将吸取固定座(1)的吸孔(2)覆盖住。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体测试中的吸取装置;其特征在于:所有的密封框(4)的高度均相同;而所述的透气料(5)的厚度则大于密封框(4)的高度,透气料(5)的高度从密封框(4)中伸出。
3.根据权利要求2所述的一种用于半导体测试中的吸取装置;其特征在于:所述的透气料(5...
【专利技术属性】
技术研发人员:王浩,王刚,孙益生,
申请(专利权)人:江苏艾科半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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