一种芯片测试探针台保护罩制造技术

本发明专利技术公开了一种芯片测试探针台保护罩，属于半导体测试技术领域，用于遮罩探针台上的探针卡，包括罩体和设置在罩体上的摄像装置，罩体上设有透明观察窗，摄像装置包括主机和用于拍摄探针卡的探头软管，主机与探针台连接，罩体上设有引导探头软管的导向管。本发明专利技术可以对探针卡进行“远景”和“近景”的同时观测，在保护探针卡和晶圆的同时方便工作人员对探针卡工作情况进行实时监测，保证芯片测试工作的有序进行；设置导向管，引导探头软管到探针卡附近，且多角度设置出口孔，配合探头软管前端的角度可调，对探针卡进行360

【技术实现步骤摘要】
一种芯片测试探针台保护罩


[0001]本专利技术属于半导体测试
，具体涉及一种芯片测试探针台保护罩。

技术介绍

[0002]芯片测试探针台是对芯片进行测试的设备，探针卡是连接机台与晶圆之间的接口，是实现晶圆测试的必备器件，也是晶圆测试中的核心耗材，测试机台不能直接对晶圆进行量测，需要通过探针卡中的探针与晶圆上的凸块接触后，才能与晶圆中的芯片建立电气连接，从而达到电性能测试的目的，晶圆测试使用的探针卡属于定制器件，每一款产品都需要供应商根据芯片设计公司提供的输入信息进行定制化设计，测试探针台装载探针卡的位置有缝隙，灰尘等外部物体会从缝隙中直接掉落在机器腔体甚至晶圆上，带来损失。
[0003]为了解决这个问题，现有技术中，授权公告号为CN 103353539B的专利技术专利公开了一种用于晶片测试的保护装置，利用保护罩在导电基座的外围，屏蔽了外部干扰和污染来保护探针卡和晶圆，但其在保护的同时遮挡了探针卡，影响了工作人员直接观察探针卡的工作情况，且现有的对探针台上探针卡工作情况多靠肉眼观察，无法近距离对探针卡进行直观监测。

技术实现思路

[0004]技术问题：针对现有技术中存在的上述问题，本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种芯片测试探针台保护罩方便在保护探针卡的同时对探针卡进行直观观察和监测。
[0005]技术方案：为了解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案如下：
[0006]一种芯片测试探针台保护罩，用于遮罩探针台上的探针卡，包括罩体和设置在所述罩体上的摄像装置，所述罩体上设有透明观察窗，所述摄像装置包括主机和用于拍摄探针卡的探头软管，所述主机与所述探针台连接，所述罩体上设有引导所述探头软管的导向管。
[0007]优选的，所述导向管包括第一导向管以及与所述第一导向管连通的第二导向管，所述第二导向管为环形管，所述探针卡位于所述第二导向管围成的区域内，所述第二导向管上设有多个供所述探头软管贯穿的出口孔。
[0008]优选的，多个所述出口孔在所述第二导向管上对称分布，所述第二导向管上设有与所述出口孔对应的支架，所述支架用于撑托所述探头软管。
[0009]优选的，所述支架与所述第二导向管活动连接，所述支架包括多个延长板，多个延长板中相邻的两个延长板铰接连接，所述延长板上设有多个用于放置探头软管的骨圈。
[0010]优选的，所述罩体为矩形体、半球体或圆柱体，所述罩体由导电材质制成，所述透明观察窗由电磁屏蔽玻璃制成。
[0011]优选的，所述罩体上端设有提手，所述罩体上连接有接地线缆。
[0012]优选的，所述提手上设有与所述探针台电连接的按钮。
[0013]优选的，所述主机上设有显示屏。
[0014]优选的，所述罩体上设有排线孔，所述排线孔上设有防静电布。
[0015]有益效果：与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：1、罩体防尘防静电，对探针卡和晶圆形成保护；2、通过设置罩体和摄像装置，并在罩体上设置透明观察窗，可以对探针卡进行“远景”和“近景”的同时观测，在保护探针卡和晶圆的同时方便工作人员对探针卡工作情况进行实时监测，保证芯片测试工作的有序进行；3、设置导向管，引导探头软管到探针卡附近，且多角度设置出口孔，配合探头软管前端的角度可调，对探针卡进行360
°
无死角监测；4、在出口孔设置配套支架，支撑探头软管前端，使其逐渐靠近探针卡，且支架角度可调节，与探头软管配合便捷；5、提手上设有按钮，可提供对探针台进行应急停止的功能，提高探针台运行安全性。
附图说明
[0016]图1是本专利技术实施例1结构示意图；
[0017]图2是专利技术实施例1的罩体内部结构示意图；
[0018]图3是专利技术实施例1的支架结构示意图；
[0019]图4是支架主视结构示意图；
[0020]图5是提手俯视结构示意图；
[0021]图6是罩体侧面结构示意图；
[0022]图7是探针台整体结构示意图；
[0023]图8是实施例2的罩体内部结构示意图。
具体实施方式
[0024]下面结合具体实施例，进一步阐明本专利技术，实施例在以本专利技术技术方案为前提下进行实施，应理解这些实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。
[0025]如图1和图7所示，一种芯片测试探针台保护罩，用于遮罩探针台8上的探针卡9，探针台8为现有的探针台，以品牌为东精精密，型号为UF200A的探针台为例，其晶圆的最大加工尺寸为8英寸，包括显示控制器81、按钮区82和晶圆放置区83，使用时将多个待检测的晶圆叠放在晶圆放置区83内，将配套的探针卡9放置在探针台8的探针卡基座上，通过操作显示控制器81和按钮区82的按钮，可以自动控制晶圆在内部移动到探针卡9下方进行检测，本专利技术实施例的保护罩为矩形体，笼罩在探针卡9的正上方。
[0026]如图1和图2所示，保护罩包括罩体1和摄像装置2，罩体1前端面上设有透明观察窗11，窗体为矩形，透明观察窗11由电磁屏蔽玻璃制成，在方便透过玻璃观察的同时还可以屏蔽电磁干扰，工作人员透明观察窗11可以较远的观察探针卡9，方便“远景”监测；摄像装置2包括主机21和用于拍摄探针卡9的探头软管22，罩体1在透明观察窗11旁的位置上设有容纳主机21的凹槽，从而摄像装置2与罩体1可拆卸连接，不使用时可移除，主机21上设有显示屏211，探头软管22的近距离拍摄画面在显示屏211上显示，形成“近景”监测，方便直观观察，主机21可通过线缆接入探针台8的显示控制器81，从而将拍摄的画面实时传输到显示控制器81内，供工作人员选择查看；摄像装置2采用现有的工业视频内窥镜，例如品牌为奥林巴斯的IPLEX NX便携内窥镜系列，探头软管22的直径有4.0mm和6.0mm等大小，探头软管22的长度从3.5m到7.5m有多种长度可供选择，上/下/左/右关节角度可调范围较宽，可以对探头
末端到目标表面进行多个点的检测，对各个测点之间的距离进行实时测量，并实时抓取目标的外形信息，连续的检查保障了精确而有效的检测。罩体1的内壁上设有导向管3，导向管3用来引导探头软管22向探针卡9方向移动，导向管3包括第一导向管31和第二导向管32，第一导向管31为直线型导向管，设置在罩体1的侧壁且在罩体1的侧壁上设有入口311，探头软管22通过入口311贯穿罩体1的壁体进入第一导向管31内，沿着第一导向管31垂直向下，第一导向管31的下端与第二导向管32连通，第二导向管32为环形管，第二导向管32以罩体1的中间线为对称轴对称设置，探针卡9位于第二导向管32围成的区域内中央位置，第二导向管32上设有八个出口孔321(出口孔321的数量可根据需要合理设置)，八个出口孔321在第二导向管32上对称分布，探头软管22的前端进入第二导向管32内后继续向前运动，可从任意一个出口孔321穿出，从而到达与探针卡9接近的高度，再移动靠近探针卡9对其进行拍摄，出口孔321在周向上设置多个，方便探头软管22从多个角度切入来靠近探针卡9，配合探头软管22的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试探针台保护罩，用于遮罩探针台(8)上的探针卡(9)，其特征在于，包括罩体(1)和设置在所述罩体(1)上的摄像装置(2)，所述罩体(1)上设有透明观察窗(11)，所述摄像装置(2)包括主机(21)和用于拍摄探针卡(9)的探头软管(22)，所述主机(21)与所述探针台(8)连接，所述罩体(1)上设有引导所述探头软管(22)的导向管(3)。2.根据权利要求1所述的芯片测试探针台保护罩，其特征在于，所述导向管(3)包括第一导向管(31)以及与所述第一导向管(31)连通的第二导向管(32)，所述第二导向管(32)为环形管，所述探针卡(9)位于所述第二导向管(32)围成的区域内，所述第二导向管(32)上设有多个供所述探头软管(22)贯穿的出口孔(321)。3.根据权利要求2所述的芯片测试探针台保护罩，其特征在于，多个所述出口孔(321)在所述第二导向管(32)上对称分布，所述第二导向管(32)上设有与所述出口孔(321)对应的支架(4)，所述支架(4)用于撑托所述探头软管(22)。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛丹辉，马程成，
申请(专利权)人：江苏艾科半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：