蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸镀装置，包括旋转部件、位于真空腔体内的第一加热器和第二加热器，所述第一加热器和所述第二加热器位于不同的平面上，所述第一加热器与第二加热器连接并在两者之间形成用于容纳待加热物体的空间，所述旋转部件用于带动所述第一加热器和第二加热器旋转。一方面可以使待加热物体的中心位置和边缘位置温差不会太大，从而在高温下不易形变；另一方面，由于第一加热器与第二加热器之间形成了用于容纳待加热物体的空间，该空间能够体现一定的储热功能，同时加热待加热物体的顶部与侧边，避免了热量向四周的扩散，使待加热物体的上下表面温差维持在合理范围内，能够更真实地体现薄膜生长温度。

Evaporation device

The present invention discloses an evaporation plating device comprising a rotating part, a first heater and a second heater located in a vacuum chamber, the first heater and the second heater are located on different planes, and the first heater is connected with the second heater and forms a space between them for accommodating the object to be heated. The rotating part is used to drive the first heater and the second heater to rotate. On the one hand, the temperature difference between the center position and the edge position of the object to be heated is not too big, so it is not easy to deform at high temperature; on the other hand, because the space between the first heater and the second heater is formed to accommodate the object to be heated, the space can reflect a certain thermal storage function, while heating the object to be heated. The top and side of the film can avoid the diffusion of heat to the surrounding area, and keep the temperature difference between the upper and lower surfaces of the object to be heated within a reasonable range, which can more truly reflect the film growth temperature.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置
本专利技术涉及光伏组件
，特别是指一种蒸镀装置。
技术介绍
CIGS(CuInxGa(1-x)Se2，铜铟镓硒)薄膜太阳电池具有稳定性好、光电转换效率高、弱光性能好等优点，因而日益受到产业界的青睐。CIGS薄膜太阳电池作为整个电池中最关键的功能层，其吸收层材料一般选择在真空条件下采用蒸发或磁控溅射法沉积。在使用钠钙玻璃作为支撑整个电池结构的衬底时，尤其在采用较为普遍的三步共蒸发工艺制备CIGS吸收层的过程中，衬底温度对薄膜结晶质量有重要影响。一方面，如果衬底温度太低，薄膜晶粒小，导致晶界增大，会形成较多的复合中心，影响载流子收集，同时过低的温度也会导致衬底中的碱金属(主要是Na)元素很难进入吸收层，从而起不到改善薄膜结晶质量、增加载流子浓度的作用；另一方面，如果衬底温度太高，玻璃衬底的四周易向低温区弯折，进而影响薄膜厚度及组分的均匀性，同时也对后续缓冲层、透明导电层及金属电极的沉积产生不利影响。因此，玻璃衬底的温度控制在整个制备工艺中是至关重要的。在实现本专利技术过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：当前实验室或产业化范围内，一般将加热器位于样品的正上方，为了保证加热均匀性，使加热器面积大于衬底面积。但这样就会存在两个问题：第一，加热面积虽然大于衬底面积，但加热器本身就是中央区温度高于边缘温度，这样就容易造成衬底加热不均匀，尤其在高温(T≥600℃)时，中心和边缘的温差会使玻璃发生中心凸起、边缘下坠的形变，影响最终器件结构；第二，加热器位于衬底上方，但薄膜沉积位置在衬底下方，普通玻璃也存在一定厚度约(2～3mm)，这样就造成了热量的浪费，同时下方温度达不到理想温度时上方就已经发生形变。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提出一种蒸镀装置，以解决衬底加热不均匀、热量浪费的技术问题。本专利技术实施例提供了一种蒸镀装置，包括旋转部件1、位于真空腔体内的第一加热器31和第二加热器32，所述第一加热器31和所述第二加热器32位于不同的平面上，所述第一加热器31与第二加热器32连接并在两者之间形成用于容纳待加热物体2的空间，所述旋转部件1用于带动所述第一加热器31和第二加热器32旋转。在本专利技术的一些实施例中，所述第一加热器31和所述第二加热器32通过侧边连接，所述第二加热器32的数量为至少两块，至少两块所述第二加热器32分别连接于所述第一加热器31的相对两侧。在本专利技术的一些实施例中，所述第二加热器32的数量为四块，四块所述第二加热器32分别连接于所述第一加热器31的周围。在本专利技术的一些实施例中，各个相邻的所述第二加热器32的边缘依次连接。在本专利技术的一些实施例中，所述第二加热器32呈圆形。在本专利技术的一些实施例中，所述第一加热器31与所述第二加热器32的夹角为45-135°。在本专利技术的一些实施例中，所述旋转部件1用于带动所述第一加热器31、第二加热器32以及位于所述第一加热器31下方的待加热物体2一起旋转。在本专利技术的一些实施例中，所述蒸镀装置还包括位于所述待加热物体2表面的测温元件5，所述测温元件5用于检测所述待加热物体2表面的温度。在本专利技术的一些实施例中，所述蒸镀装置还包括位于真空腔体内的挡板4和位于所述真空腔体下方的蒸发源，所述挡板4位于所述第一加热器31和第二加热器32下方，并能够沿着水平方向往复移动，用于开启或者关闭所述蒸发源与所述待加热物体2之间的通道。在本专利技术的一些实施例中，所述蒸发源的数量为多个，多个所述蒸发源呈圆形均匀分布在所述真空腔体下方。在本专利技术的一些实施例中，所述真空腔体外的真空腔壁6自带循环冷水。本专利技术实施例提供的蒸镀装置一方面可以使待加热物体的中心位置和边缘位置温差不会太大，从而在高温下不易形变；另一方面，由于第一加热器与第二加热器之间形成了用于容纳待加热物体的空间，该空间能够体现一定的储热功能，同时加热待加热物体的顶部与侧边，避免了热量向四周的扩散，使待加热物体的上下表面温差维持在合理范围内，能够更真实地体现薄膜生长温度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例的蒸镀装置的结构示意图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本专利技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。应当注意，图1所示的蒸镀装置的结构示意图只是示例性的，而非限制性的。本专利技术的至少一个实施例提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置的结构示意图如图1所示，包括旋转部件1、位于真空腔体内的第一加热器31和第二加热器32，所述第一加热器31和所述第二加热器32位于不同的平面上，所述第一加热器31与第二加热器32连接并在两者之间形成用于容纳待加热物体2的空间，所述旋转部件1用于带动所述第一加热器31和第二加热器32旋转。所述待加热物体2可以是玻璃衬底、不锈钢衬底等。在本专利技术的实施例中，由于在第一加热器31的侧边连接第二加热器32，因此可以减小第一加热器31的面积，一方面可以使待加热物体的中心位置和边缘位置温差不会太大，从而在高温下不易形变；另一方面，由于第一加热器与第二加热器之间形成了用于容纳待加热物体的空间，该空间能够体现一定的储热功能，同时加热待加热物体的顶部与侧边，避免了热量向四周的扩散，使待加热物体的上下表面温差维持在合理范围内，能够更真实地体现薄膜生长温度。在本专利技术的另一个实施例中，所述第一加热器31和所述第二加热器32通过侧边连接，所述第二加热器32的数量为至少两块，至少两块所述第二加热器32分别连接于所述第一加热器31的相对两侧。考虑到目前广泛使用的卷对卷沉积技术，本专利技术实施例仅在第一加热器的相对两侧连接第二加热器，使得两侧及顶部共同均匀地对卷状衬底进行加热，以满足卷状衬底的形状要求。在本专利技术的又一个实施例中，所述第二加热器32的数量为四块，四块所述第二加热器32分别连接于所述第一加热器31的周围。考虑到进一步减少待加热物体2的中心位置和边缘位置的温差以及提高储热功能，本专利技术实施例在第一加热器的四周都连接第二加热器。可选地，各个相邻的所述第二加热器32的边缘依次连接，从而进一步减少待加热物体2的中心位置和边缘位置的温差以及提高储热功能。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括旋转部件(1)、位于真空腔体内的第一加热器(31)和第二加热器(32)，所述第一加热器(31)和所述第二加热器(32)位于不同的平面上，所述第一加热器(31)与第二加热器(32)连接并在两者之间形成用于容纳待加热物体(2)的空间，所述旋转部件(1)用于带动所述第一加热器(31)和第二加热器(32)旋转。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括旋转部件(1)、位于真空腔体内的第一加热器(31)和第二加热器(32)，所述第一加热器(31)和所述第二加热器(32)位于不同的平面上，所述第一加热器(31)与第二加热器(32)连接并在两者之间形成用于容纳待加热物体(2)的空间，所述旋转部件(1)用于带动所述第一加热器(31)和第二加热器(32)旋转。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一加热器(31)和所述第二加热器(32)通过侧边连接，所述第二加热器(32)的数量为至少两块，至少两块所述第二加热器(32)分别连接于所述第一加热器(31)的相对两侧。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二加热器(32)的数量为四块，四块所述第二加热器(32)分别连接于所述第一加热器(31)的周围。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，各个相邻的所述第二加热器(32)的边缘依次连接。5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：张冲，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11