蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸镀装置，包括旋转部件、位于真空腔体内的第一加热器和第二加热器，所述第一加热器和所述第二加热器位于不同的平面上，所述第一加热器与第二加热器连接并在两者之间形成用于容纳待加热物体的空间，所述旋转部件用于带动所述第一加热器和第二加热器旋转。一方面可以使待加热物体的中心位置和边缘位置温差不会太大，从而在高温下不易形变；另一方面，由于第一加热器与第二加热器之间形成了用于容纳待加热物体的空间，该空间能够体现一定的储热功能，同时加热待加热物体的顶部与侧边，避免了热量向四周的扩散，使待加热物体的上下表面温差维持在合理范围内，能够更真实地体现薄膜生长温度。

Evaporation device

The present invention discloses an evaporation plating device comprising a rotating part, a first heater and a second heater located in a vacuum chamber, the first heater and the second heater are located on different planes, and the first heater is connected with the second heater and forms a space between them for accommodating the object to be heated. The rotating part is used to drive the first heater and the second heater to rotate. On the one hand, the temperature difference between the center position and the edge position of the object to be heated is not too big, so it is not easy to deform at high temperature; on the other hand, because the space between the first heater and the second heater is formed to accommodate the object to be heated, the space can reflect a certain thermal storage function, while heating the object to be heated. The top and side of the film can avoid the diffusion of heat to the surrounding area, and keep the temperature difference between the upper and lower surfaces of the object to be heated within a reasonable range, which can more truly reflect the film growth temperature.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置
本专利技术涉及光伏组件
，特别是指一种蒸镀装置。
技术介绍
CIGS(CuInxGa(1-x)Se2，铜铟镓硒)薄膜太阳电池具有稳定性好、光电转换效率高、弱光性能好等优点，因而日益受到产业界的青睐。CIGS薄膜太阳电池作为整个电池中最关键的功能层，其吸收层材料一般选择在真空条件下采用蒸发或磁控溅射法沉积。在使用钠钙玻璃作为支撑整个电池结构的衬底时，尤其在采用较为普遍的三步共蒸发工艺制备CIGS吸收层的过程中，衬底温度对薄膜结晶质量有重要影响。一方面，如果衬底温度太低，薄膜晶粒小，导致晶界增大，会形成较多的复合中心，影响载流子收集，同时过低的温度也会导致衬底中的碱金属(主要是Na)元素很难进入吸收层，从而起不到改善薄膜结晶质量、增加载流子浓度的作用；另一方面，如果衬底温度太高，玻璃衬底的四周易向低温区弯折，进而影响薄膜厚度及组分的均匀性，同时也对后续缓冲层、透明导电层及金属电极的沉积产生不利影响。因此，玻璃衬底的温度控制在整个制备工艺中是至关重要的。在实现本专利技术过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题：当前实验室或产业化范围内，一般将加热器位于样品的正上方，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括旋转部件(1)、位于真空腔体内的第一加热器(31)和第二加热器(32)，所述第一加热器(31)和所述第二加热器(32)位于不同的平面上，所述第一加热器(31)与第二加热器(32)连接并在两者之间形成用于容纳待加热物体(2)的空间，所述旋转部件(1)用于带动所述第一加热器(31)和第二加热器(32)旋转。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括旋转部件(1)、位于真空腔体内的第一加热器(31)和第二加热器(32)，所述第一加热器(31)和所述第二加热器(32)位于不同的平面上，所述第一加热器(31)与第二加热器(32)连接并在两者之间形成用于容纳待加热物体(2)的空间，所述旋转部件(1)用于带动所述第一加热器(31)和第二加热器(32)旋转。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一加热器(31)和所述第二加热器(32)通过侧边连接，所述第二加热器(32)的数量为至少两块，至少两块所述第二加热器(32)分别连接于所述第一加热器(31)的相对两侧。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二加热器(32)的数量为四块，四块所述第二加热器(32)分别连接于所述第一加热器(31)的周围。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，各个相邻的所述第二加热器(32)的边缘依次连接。5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：张冲，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11