一种银掺杂铜铟镓硒太阳能电池的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种银掺杂铜铟镓硒太阳能电池的制备方法包括：在基板上制备背电极层；在所述背电极层表面上制备银膜层；在所述银膜层上制备铜铟镓硒膜层，得到银掺杂铜铟镓硒膜层；在所述银掺杂铜铟镓硒膜层上制备缓冲层；在所述缓冲层上依次制备高阻层和前电极层。与现有技术相比，本技术方案不需要引入新的银膜层制备设备，利用制备背电极的设备制备银预制层，充分利用银在铜铟镓硒沉积生长过程中可以快速扩散的特点，实现银掺杂铜铟镓硒的制备，简化了银掺杂铜铟镓硒薄膜的制备过程。

【技术实现步骤摘要】
一种银掺杂铜铟镓硒太阳能电池的制备方法
本专利技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种银掺杂铜铟镓硒太阳能电池的制备方法。
技术介绍
铜铟镓硒太阳能电池具有光电转换效率高、温度系数低、弱光性能好以及柔性可弯曲等优点，已成为最具有市场应用前景的太阳能电池之一。作为电池的吸收层，铜铟镓硒膜层是整个铜铟镓硒薄膜太阳能电池组件的核心膜层，铜铟镓硒膜层的性能直接制约着铜铟镓硒薄太阳能电池的转换效率和产业化应用。最近几年，银掺杂铜铟镓硒(ACIGS)成为铜铟镓硒薄膜的一个新研究热点。一方面，银掺杂铜铟镓硒可以降低铜铟镓硒薄膜制备的工艺温度，从而一定程度上克服浮法玻璃基板对工艺温度的限制，提高铜铟镓硒的结晶性，减少缺陷。另一方面，通过银对铜铟镓硒的掺杂，可以提高铜铟镓硒的带隙，从而有效提高铜铟镓硒薄膜太阳能电池的转换效率。目前银掺杂铜铟镓硒的研究中，共蒸发方法是制备高质量铜铟镓硒薄膜的主流方法之一。在共蒸发方法中，通常是直接利用热蒸发技术(电阻加热使银蒸发)在制备铜铟镓硒薄膜的过程中引入银，使银参与铜铟镓硒薄膜沉积生长。这种方法，往往需要改造共蒸发镀本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种银掺杂铜铟镓硒太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述方法包括：/n在基板上制备背电极层；/n在所述背电极层表面上制备银膜层；/n在所述银膜层上制备铜铟镓硒膜层，得到银掺杂铜铟镓硒膜层；/n在所述银掺杂铜铟镓硒膜层上制备缓冲层；/n在所述缓冲层上依次制备高阻层和前电极层。/n

【技术特征摘要】
1.一种银掺杂铜铟镓硒太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
在基板上制备背电极层；
在所述背电极层表面上制备银膜层；
在所述银膜层上制备铜铟镓硒膜层，得到银掺杂铜铟镓硒膜层；
在所述银掺杂铜铟镓硒膜层上制备缓冲层；
在所述缓冲层上依次制备高阻层和前电极层。


2.根据权利要求1所述的银掺杂铜铟镓硒太阳能电池的制备方法，其特征在于，采用磁控溅射法在所述背电极层表面上制备银膜层。


3.根据权利要求2所述的银掺杂铜铟镓硒太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射法的溅射气压为0.1Pa～1.0Pa。


4.根据权利要求2所述的银掺杂铜铟镓硒太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述银膜层的厚度为100nm～300nm。


5.根据权利要求1所述的银掺杂铜铟镓...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵树利，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11