蒸镀掩模包装体制造技术

本实用新型专利技术提供蒸镀掩模包装体，该蒸镀掩模包装体具备：承接部；与承接部对置的盖部；以及蒸镀掩模，其被配置于承接部与盖部之间，具有形成有多个贯通孔的有效区域。承接部具有：与盖部对置的第1对置面；和设置于第1对置面的凹部。凹部被第1挠性膜覆盖。蒸镀掩模的有效区域隔着第1挠性膜被配置于凹部上。

Steamed masking package

The utility model provides a steamed mask packaging body, which is provided with an undertaking part, a cover part which is opposed to the receiving part, and a steaming mask, which is arranged between the receiving part and the cover, and has an effective area with a plurality of through holes. The receiving part has first opposite faces opposite to the cover part, and a concave part arranged on the first opposite face. The fovea is covered by first flexible membranes. The effective area of the evaporation mask is disposed on the recess across the first flexible film.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模包装体
本技术涉及对具有多个贯通孔的蒸镀掩模进行包装而成的蒸镀掩模包装体。
技术介绍
近年，对于在智能手机或平板电脑等可移动设备中使用的显示装置，要求高精细化，例如要求像素密度为400ppi以上。另外，即使对于可移动设备，应对超高清的需要也在不断高涨，这种情况下，要求显示装置的像素密度为例如800ppi以上。在显示装置中，由于响应性良好、能耗低且对比度高，有机EL显示装置正在受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知这样的方法：使用形成有以所希望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，以所希望的图案形成像素。具体来说，首先，使蒸镀掩模紧密贴合于有机EL显示装置用的基板，接着，将紧密贴合的蒸镀掩模和基板一起放入蒸镀装置中，执行使有机材料蒸镀到基板上的蒸镀工序。这种情况下，为了精密地制作具有高像素密度的有机EL显示装置，要求按照设计精密地再现蒸镀掩模的贯通孔的位置或形状。作为蒸镀掩模的制造方法，已知如下的方法：例如如专利文献1所公开的，通过使用了光刻技术的蚀刻，在金属板上形成贯通孔。例如，首先，在金属板的第1面上形成第1抗蚀剂图案，并在金属板的第2面上形成第2抗蚀剂图案。接下来，对金属板的第1面中的未被第1抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，在金属板的第1面上形成第1开口部。然后，对金属板的第2面中的未被第2抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，在金属板的第2面上形成第2开口部。此时，通过以使第1开口部和第2开口部互相连通的方式进行蚀刻，由此能够形成贯通金属板的贯通孔。用于制作蒸镀掩模的金属板例如可以通过对铁合金等母材进行轧制来获得。作为其它的蒸镀掩模的制造方法，已知如下的方法：例如如专利文献2所公开的，利用镀覆处理来制造蒸镀掩模。例如在专利文献2所记载的方法中，首先，准备具有导电性的基材。接下来，在基材上隔开规定的间隙形成抗蚀剂图案。该抗蚀剂图案被设置于待形成蒸镀掩模的贯通孔的位置处。然后，将镀覆液供给至抗蚀剂图案的间隙中，通过电镀处理在基材上析出金属层。然后，使金属层从基材分离，由此能够得到形成有多个贯通孔的蒸镀掩模。在像这样利用镀覆处理的情况下，能够实现贯通孔的高精细化。专利文献1：日本特许第5382259号公报专利文献2：日本特开2001-234385号公报在运输蒸镀掩模时，如果将蒸镀掩模夹持在由塑料板等制作的承接部与盖部之间，则从承接部和盖部直接对蒸镀掩模施加有力。因此，存在开包后取出的蒸镀掩模可能发生塑性变形这样的问题。另外，也由于运输时受到的冲击，而可能使得蒸镀掩模发生塑性变形。另外，在运输蒸镀掩模时，为了提高运输效率，有时在1个包装体内层叠多个蒸镀掩模。这种情况下，存在如下担忧：相邻的一个蒸镀掩模的贯通孔和另一个蒸镀掩模的贯通孔发生卡挂，从而在取出各个蒸镀掩模时，蒸镀掩模发生塑性变形。为了应对这种情况，在相邻的一对蒸镀掩模之间插入有插入纸。可是，如果在运输时发生温度变化，则会产生因基于蒸镀掩模的热膨胀的尺寸变化与基于插入纸的热膨胀的尺寸变化之差所引起的位置偏移，从而存在在蒸镀掩模上形成褶皱或损伤这样的问题。特别是，如果蒸镀掩模的厚度变薄，则蒸镀掩模容易发生塑性变形。在此，在使用蒸镀掩模来使蒸镀材料在基板上成膜的情况下，蒸镀材料不仅附着于基板上，也附着于蒸镀掩模上。例如，在蒸镀材料中，也存在沿着相对于蒸镀掩模的法线方向大幅地倾斜的方向朝向基板的蒸镀材料，但这样的蒸镀材料在到达基板之前到达并附着于蒸镀掩模的贯通孔的壁面上。这种情况下，在基板中的位于蒸镀掩模的贯通孔的壁面附近的区域中，蒸镀材料难以附着，其结果是，可以想到：附着的蒸镀材料的厚度比其它部分小，或者产生未附着蒸镀材料的部分。即，可以认为，蒸镀掩模的贯通孔的壁面附近的蒸镀变得不稳定。其结果是，导致有机EL显示装置的发光效率降低。为了解决这样的课题，可以考虑减小用于制造蒸镀掩模的金属板的厚度。这是因为，通过减小金属板的厚度，能够减小蒸镀掩模的贯通孔的壁面的高度，由此，能够降低蒸镀材料中的附着于贯通孔的壁面上的蒸镀材料的比例。这样，为了防止有机EL显示装置的发光效率的下降，蒸镀掩模的厚度存在变薄的倾向。因此，即使对于厚度较薄的蒸镀掩模，也希望防止运输时的塑性变形。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种蒸镀掩模包装体，其能够防止蒸镀掩模在运输时发生塑性变形。本技术为蒸镀掩模包装体，所述蒸镀掩模包装体具备：承接部；盖部，其与所述承接部对置；以及蒸镀掩模，其被配置在所述承接部与所述盖部之间，具有形成有多个贯通孔的有效区域，所述承接部具有：与所述盖部对置的第1对置面；和设置于所述第1对置面的凹部，所述凹部被第1挠性膜覆盖，所述蒸镀掩模的所述有效区域隔着所述第1挠性膜被配置于所述凹部上。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述蒸镀掩模的第1方向上的两侧的端部被配置于所述承接部的所述第1对置面上。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述凹部在与所述第1方向垂直的第2方向上的尺寸大于所述蒸镀掩模在所述第2方向上的尺寸。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，在所述蒸镀掩模与所述第1挠性膜之间夹设有插入片，所述插入片在与所述第1方向垂直的第2方向上的尺寸小于所述凹部在所述第2方向上的尺寸。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述第1挠性膜是PET膜。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述第1挠性膜被进行了防静电涂敷。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，在所述盖部与所述蒸镀掩模之间夹设有第2挠性膜。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述承接部和所述盖部通过铰链部连结。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述蒸镀掩模包装体还具备密封所述承接部和所述盖部的密封袋。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述蒸镀掩模包装体还具备冲击传感器，该冲击传感器检测施加于所述蒸镀掩模的冲击。本技术是蒸镀掩模包装体，所述蒸镀掩模包装体具备：承接部；盖部，其与所述承接部对置；以及蒸镀掩模层叠体，其被配置在所述承接部与所述盖部之间，所述蒸镀掩模层叠体具有：蒸镀掩模，其包括第1面、位于所述第1面的相反侧的第2面以及从所述第1面延伸至所述第2面的多个贯通孔；和多个插入片，它们被层叠于所述蒸镀掩模的所述第1面和所述第2面，所述蒸镀掩模的热膨胀系数与所述插入片的热膨胀系数之差为7ppm/℃以下。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述插入片具有如下的尺寸：在沿所述蒸镀掩模的层叠方向观察时，所述插入片的周缘能够遍及整周地从所述蒸镀掩模超出。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述蒸镀掩模和所述插入片由包含30质量％以上且54质量％以下的镍的铁合金形成。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述蒸镀掩模和所述插入片由含铬的铁合金形成。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，构成所述插入片的材料和构成所述蒸镀掩模的材料相同。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述插入片的厚度为20μm～100μm。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述蒸镀掩模的厚度为15μm以上。在本技术的蒸镀掩模包装体中，可以是，所述承接部具有：与所述盖部对置的第1对置面；和设置于所述第1对置面的凹部，所述蒸镀掩模的第1方向上的两侧的端部被配本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模包装体，其特征在于，所述蒸镀掩模包装体具备：承接部；盖部，其与所述承接部对置；以及蒸镀掩模，其被配置在所述承接部与所述盖部之间，具有形成有多个贯通孔的有效区域，所述承接部具有：与所述盖部对置的第1对置面；和设置于所述第1对置面的凹部，所述凹部被第1挠性膜覆盖，所述蒸镀掩模的所述有效区域隔着所述第1挠性膜被配置于所述凹部上。

【技术特征摘要】
2016.09.29 JP 2016-191734;2016.12.07 JP 2016-237881.一种蒸镀掩模包装体，其特征在于，所述蒸镀掩模包装体具备：承接部；盖部，其与所述承接部对置；以及蒸镀掩模，其被配置在所述承接部与所述盖部之间，具有形成有多个贯通孔的有效区域，所述承接部具有：与所述盖部对置的第1对置面；和设置于所述第1对置面的凹部，所述凹部被第1挠性膜覆盖，所述蒸镀掩模的所述有效区域隔着所述第1挠性膜被配置于所述凹部上。2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，所述蒸镀掩模的第1方向上的两侧的端部被配置于所述承接部的所述第1对置面上。3.根据权利要求2所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，所述凹部在与所述第1方向垂直的第2方向上的尺寸大于所述蒸镀掩模在所述第2方向上的尺寸。4.根据权利要求2或3所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，在所述蒸镀掩模与所述第1挠性膜之间夹设有插入片，所述插入片在与所述第1方向垂直的第2方向上的尺寸小于所述凹部在所述第2方向上的尺寸。5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，所述第1挠性膜是PET膜。6.根据权利要求1至3中的任意一项所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，所述第1挠性膜被进行了防静电涂敷。7.根据权利要求1至3中的任意一项所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，在所述盖部与所述蒸镀掩模之间夹设有第2挠性膜。8.根据权利要求1至3中的任意一项所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，所述承接部和所述盖部通过铰链部连结。9.根据权利要求1至3中的任意一项所述的蒸镀掩模包装体，其特征在于，所述蒸镀掩模包装体还具备密封所述承接部和所述盖部的密封袋。10.根据权利要求1至...

【专利技术属性】
技术研发人员：池永知加雄，大池卓己，向田司，渡部武，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP