一种镀膜设备的加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镀膜设备的加热器，包括加热器主体、承物座、电动伸缩支架、保护底板、智能控制器和移动式承物槽，加热器主体内部设置有承物座，承物座下端设置有传热板，传热板内部设置有传热件，传热板下端设置有若干加热器用于加热，每个加热器的下端均设置有电源，通过移动式承物槽的设置，实现了放置需要加热的镀膜物件的功能，通过承物座的设置，实现了移动式承物槽的放置功能，通过进热管的设置，实现了将收集后的废热再利用的功能，通过加热器的设置，实现了加热功能从而对需要镀膜的物件进行加热，通过传热件和传热板的设置，实现了传热功能，从而满足的热量的供给，本实用新型专利技术结构简单且设计合理，适合推广使用。

A heater for a coating equipment

The utility model discloses a heater coating equipment, including a heater body and a support seat, electric retractable bracket, protection board, intelligent controller and mobile bearing groove, a heater body is arranged inside the bearing seat, the bearing seat is arranged at the lower end of the heat transfer plate, heat transfer plate is arranged inside the heat transfer, heat transfer plate the lower end is provided with a plurality of heater for heating, the lower end of each heater are provided with a power supply, through the mobile bearing groove, the place need to object heating function of the coating, through the bearing seats are provided, the moving object bearing groove type placement function, through the heat pipe is realized the function will be collected after the waste heat recycling, the heater is arranged, thus realizes the heating function heating need for coating objects, and heat transfer through the heat transfer plate. The utility model has simple structure and reasonable design, and is suitable for the popularization and use of the heat transfer function.

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备的加热器
本技术涉及一种加热器，尤其是涉及一种镀膜设备的加热器。
技术介绍
在一般用于执行气相沉积成膜制程的镀膜设备，主要是包含一个中空的反应腔、一个安装在该反应腔的电极、一个装设在反应腔且与该电极上下间隔的加热器。在镀膜时，是将一个待镀物放置在该加热器上，使该待镀物可达到镀膜制程的最佳温度，并在该反应腔中填充用于镀膜的气体，接着利用该电极对反应腔中的气体施以高电压，使气体转为游离态，而为了引导离子可更有效率地沉积在该待镀物的表面以形成薄膜，还会在该加热器上施以偏压或直接接地，使该加热器与电极间形成电压差，达到提高镀膜速度的目的。当气体转为游离态后，会在该反应腔内产生具侵蚀性的酸或碱性离子，而该加热器的表面是利用阳极处理后形成氧化物，以抵抗其侵蚀。另一方面，在镀膜过程中，该反应腔内残留的离子会沉积在该加热器的表面，而影响导热性与导电性，因此为了移除加热器表面累积的杂质，一般是将该加热器表面磨除一部分，再施以阳极处理重建，然而磨除的过程会耗损该加热器的厚度，而减少该加热器的使用寿命。此外，一些物件进行镀膜加热时会有废热产生，将废热收集起来用于对下一次镀膜的应用，在很大程度上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜设备的加热器，包括加热器主体(1)、承物座(2)、电动伸缩支架(3)、保护底板(6)、智能控制器(11)和移动式承物槽(12)，其特征在于，所述加热器主体(1)下端设置有若干电动伸缩支架(3)，所述加热器主体(1)一侧设置有智能控制器(11)，所述加热器主体(1)内部设置有承物座(2)用于放置功能，所述承物座(2)下端设置有传热板(10)，所述传热板(10)内部设置有传热件(9)用于传热，所述传热板(10)下端设置有若干加热器(8)用于加热，每个所述加热器(8)的下端均设置有电源(7)，每个所述电源(7)下端均设置有保护底板(6)，所述保护底板(6)位于加热器主体(1)的下侧。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备的加热器，包括加热器主体(1)、承物座(2)、电动伸缩支架(3)、保护底板(6)、智能控制器(11)和移动式承物槽(12)，其特征在于，所述加热器主体(1)下端设置有若干电动伸缩支架(3)，所述加热器主体(1)一侧设置有智能控制器(11)，所述加热器主体(1)内部设置有承物座(2)用于放置功能，所述承物座(2)下端设置有传热板(10)，所述传热板(10)内部设置有传热件(9)用于传热，所述传热板(10)下端设置有若干加热器(8)用于加热，每个所述加热器(8)的下端均设置有电源(7)，每个所述电源(7)下端均设置有保护底板(6)，所述保护底板(6)位于加热器主体(1)的下侧。2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备的加热器，其特征在于，所述承物座(2)内部设置有移动式承物槽(12)。3.根据权利要求2所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王二花，
申请(专利权)人：富有信天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12