一种基于LPCVD预热腔的加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种基于LPCVD预热腔的加热装置，加热装置设置在预热腔内，用于加热玻璃基板，加热装置包括：温度采集器、加热模块及与加热模块连接的控制器，其中，温度采集器，与控制器连接，用于采集加热模块的温度，加热模块包括若干横向控温区和若干纵向控温区，各横向控温区和各纵向控温区分别设置有碳中波红外灯管；各横向控温区的各碳中波红外灯管与预热腔的开口处的横截面垂直；各纵向控温区的各碳中波红外灯管与预热腔的开口处的横截面平行；且与玻璃基板的翘曲部位置对应的纵向控温区的碳中波红外灯管的形状与翘曲部的翘曲度匹配。本实用新型专利技术提供的加热装置，能够给存在翘曲部的玻璃基板均匀加热。

A heating device based on LPCVD preheating cavity

The utility model discloses a heating device of LPCVD preheating cavity based on the heating device is arranged in the preheating chamber for heating the glass substrate, the heating device comprises: heating, temperature acquisition module and the controller is connected with the heating module, the temperature acquisition, connected with the control device for the heating temperature acquisition module, heating module comprises a plurality of the transverse temperature zone and a plurality of longitudinal temperature zone, the transverse temperature control zones and the longitudinal temperature zone are respectively provided with a medium wave infrared carbon tube; the cross-sectional area of the transverse temperature carbon tube and infrared preheating cavity at the opening of the longitudinal vertical; temperature control area the carbon tube and infrared preheating cavity open cross section warping, parallel; and the vertical temperature zone and warping position of glass substrate of the corresponding carbon MWIR the shape of the lamp tube and the warping of . The heating device provided by the utility model can uniformly heat the glass substrate with the warping part.

【技术实现步骤摘要】
一种基于LPCVD预热腔的加热装置
本技术涉及LPCVD预热领域，特别是涉及一种基于LPCVD预热腔的加热装置。
技术介绍
随着环境污染引起的温室效应问题日益严重，人们也越来越认识到环境保护的重要性，同时人们对能源的需求也在逐年递增，能源危机也在日益临近，使用清洁能源已被各国政府和组织提上了议事日程。现在各国都在大力发展清洁能源，光伏应用作为新能源应用的一个重要组成部分，正逐渐被人们所重视，这就为光伏应用提供了非常广阔的市场前景和机遇。目前光伏产业的发展，关键取决于如何降低太阳能电池的生产成本。铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池具有生产成本低、污染小、不衰退、弱光性能好等特点，光电转换效率居各种薄膜太阳能电池之首，接近晶体硅太阳能电池，而成本则是晶体硅太阳能电池的三分之一，被国际上称为“下一时代非常有前途的新型薄膜太阳能电池”。此外，该电池具有柔和、均匀的黑色外观，是对外观有较高要求场所的理想选择，如大型建筑物的玻璃幕墙等，在现代化高层建筑等领域有很大市场。玻璃基板在镀完CIGS膜层后会产生一定程度的翘曲变形，但是现有的LPCVD加热设备中，红外加热所采用是普通直形灯管，会使基板翘曲部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于LPCVD预热腔的加热装置，所述加热装置设置在预热腔内，用于加热玻璃基板，其特征在于，所述加热装置包括：温度采集器、加热模块及与所述加热模块连接的控制器，其中，所述温度采集器，与所述控制器连接，用于采集所述加热模块的温度；所述加热模块包括若干横向控温区和若干纵向控温区，各所述横向控温区和各所述纵向控温区分别设置有碳中波红外灯管；各所述横向控温区的各所述碳中波红外灯管与所述预热腔的开口处的横截面垂直；各所述纵向控温区的各所述碳中波红外灯管与所述预热腔的开口处的横截面平行；且与所述玻璃基板的翘曲部位置对应的纵向控温区的碳中波红外灯管的形状与所述翘曲部的翘曲度匹配。

【技术特征摘要】
1.一种基于LPCVD预热腔的加热装置，所述加热装置设置在预热腔内，用于加热玻璃基板，其特征在于，所述加热装置包括：温度采集器、加热模块及与所述加热模块连接的控制器，其中，所述温度采集器，与所述控制器连接，用于采集所述加热模块的温度；所述加热模块包括若干横向控温区和若干纵向控温区，各所述横向控温区和各所述纵向控温区分别设置有碳中波红外灯管；各所述横向控温区的各所述碳中波红外灯管与所述预热腔的开口处的横截面垂直；各所述纵向控温区的各所述碳中波红外灯管与所述预热腔的开口处的横截面平行；且与所述玻璃基板的翘曲部位置对应的纵向控温区的碳中...

【专利技术属性】
技术研发人员：马峥，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11