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本实用新型公开一种基于LPCVD预热腔的加热装置，加热装置设置在预热腔内，用于加热玻璃基板，加热装置包括：温度采集器、加热模块及与加热模块连接的控制器，其中，温度采集器，与控制器连接，用于采集加热模块的温度，加热模块包括若干横向控温区和若干...
该专利属于君泰创新（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过君泰创新（北京）科技有限公司授权不得商用。

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