一种真空镀膜用集成腔室制造技术

本发明专利技术涉及真空镀膜设备领域，公开了一种真空镀膜用集成腔室，包括由腔室顶板、四个腔室侧板和腔室底板组成的一体腔室，所述一体腔室内设有隔板，所述隔板将所述一体腔室分割成预热室和工艺室，所述隔板上设有供工件穿过的开口，所述预热室内设有用以封堵所述开口的密封门，所述密封门与所述隔板密封适配，所述密封门与第一驱动件连接，以驱动所述密封门的开闭。通过将预热室和工艺室集成一体腔室，提高了制造工艺性，装配与维修便捷；密封门结构简单重量小，便于装卸与维护，降低采购成本；摆动隔热板结构简单，占用空间小，减小工艺室的尺寸空间，降低了工艺气体的用量，方便控制压力，两端通过旋转轴连接固定，装卸与维护方便，运行可靠。

An integrated chamber for vacuum coating

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用集成腔室
本专利技术涉及真空镀膜设备领域，特别是涉及一种真空镀膜用集成腔室。
技术介绍
现有镀膜设备的预热室和工艺室一般都是独立制造的，通过整体的插板阀连接起来进行工件传输和真空密封，进行各自独立的工艺。这种结构的需要用带壳体的插板阀与两个腔体分别进行真空密封，然后用插板阀的阀芯进行两个腔室之间的隔断和真空密封，缺点是预热室、插板阀、工艺室进行装配时先要将插板阀(一般很重)与一个腔室装配并进行相关真空检测，合格后与另外一个腔室进行装配并进行真空检测。装配的工作量和难度都很大，进行后期维护插板阀与腔室之间的密封圈时更是需要将腔体移动才能进行，然后用吊车或其它吊具进行作业，非常繁重。一般情况下设备固定后尽量不要再进行移动，以便保证设备的结构参数的稳定。现有的插板阀后面的隔热挡板采用的都是位于上下直线运动的结构，需要左右两个支撑杆安装腔室内部的隔热挡板，焊接波纹管密封，两个导向杆，可以使用气动、电动、手动均进行驱动，或者类似的结构。这些隔热挡板结构一般都安装于工艺室的底部，插板阀的后面。结构都是有尺寸的，整个组件需要占据100mm左右的长度方向空间，然后才能安装工艺室下部组件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空镀膜用集成腔室，其特征在于，包括由腔室顶板、四个腔室侧板和腔室底板组成的一体腔室，所述一体腔室内设有隔板，所述隔板将所述一体腔室分割成预热室和工艺室，所述隔板上设有供工件穿过的开口，所述预热室内设有用以封堵所述开口的密封门，所述密封门与所述隔板密封适配，所述密封门与第一驱动件连接，以驱动所述密封门的开闭。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用集成腔室，其特征在于，包括由腔室顶板、四个腔室侧板和腔室底板组成的一体腔室，所述一体腔室内设有隔板，所述隔板将所述一体腔室分割成预热室和工艺室，所述隔板上设有供工件穿过的开口，所述预热室内设有用以封堵所述开口的密封门，所述密封门与所述隔板密封适配，所述密封门与第一驱动件连接，以驱动所述密封门的开闭。2.如权利要求1所述的真空镀膜用集成腔室，其特征在于，所述工艺室内设有至少一个摆动隔热板，所述摆动隔热板的端侧设有转轴，所述转轴的一端与支座可旋转连接，所述支座安装在所述隔板或所述一体腔室的腔室壁上，所述转轴的另一端与第二驱动件连接，所述第二驱动件驱动所述摆动隔热板的开闭以配合所述密封门的动作。3.如权利要求2所述的真空镀膜用集成腔室，其特征在于，所述第一驱动件为升降气缸，所述升降气缸的驱动轴穿过所述腔室顶板与所述密封门连接，所述升降气缸的驱动轴与所述腔室顶板密封连接。4.如权利要求2所述的真空镀膜用集成腔室，其特征在于，所述第二驱动件为摆动气缸，所述摆动气缸通过密封轴承与所述摆动隔热板的转轴连接，驱动所述摆动隔热板的开闭，所述密封轴承与所述一体腔室的腔室壁密封连接。5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：么曼实，闫风，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11