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本发明涉及真空镀膜设备领域，公开了一种真空镀膜用集成腔室，包括由腔室顶板、四个腔室侧板和腔室底板组成的一体腔室，所述一体腔室内设有隔板，所述隔板将所述一体腔室分割成预热室和工艺室，所述隔板上设有供工件穿过的开口，所述预热室内设有用以封堵所述...
该专利属于北京创昱科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京创昱科技有限公司授权不得商用。

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