用于PVD立式产线设备的载板取放装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及PVD镀膜技术领域，提供了一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置。该装置包括固定板、固定单元和两个支架，两个所述支架分别设置在所述固定板的下方的前后两侧，每个所述支架包括长支腿、短支腿和连接杆，所述长支腿和所述连接杆的顶端分别与所述固定板的左右两侧活动连接，所述连接杆的底端与所述短支腿的顶端活动连接，所述短支腿的中部与所述长支腿的中部活动连接；至少一个所述支架上设有驱动单元，所述驱动单元用于驱动所述支架收拢或展开；所述固定单元用于将载板固定在所述固定板的上表面。本发明专利技术结构简单、操作便捷，不仅能够实现快速、便捷的取放载板，大幅降低工作人员的劳动强度，而且还能显著提高工作效率。

Plate loading device for PVD vertical production line equipment

【技术实现步骤摘要】
用于PVD立式产线设备的载板取放装置
本专利技术涉及PVD镀膜
，尤其涉及一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置。
技术介绍
物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，以下简称PVD)是指用物理的方法例如蒸发、溅射等使镀膜材料气化，在基体表面沉积成膜的技术。由于，物理气相沉积技术具有工艺过程简单，成膜均匀致密，与基片的结合力强等优点，因此被广泛应用于太阳能电池领域。而随着太阳能电池的普及，降低成本、提高产能已经成为太阳能电池企业的重心之一。使用时，需将待镀膜的基片放置在载板上，通过传送带将其传送至工艺腔室进行镀膜。由于，载板暴露在工艺腔室内，因此载板上也会镀上一层薄膜。而随着镀膜次数的增加，载板上镀上的膜层就随之加厚。为了避免这些膜层在镀膜过程中发生脱落，进而对基片的镀膜产生负面影响，因此就需要对载板进行定期清洗。由于，待清洗维护的载板是竖直放置在载板台车上的，且自身尺寸很大，位置较高，不便于水平放倒。与此同时，清洗维护完成后，将载板重新竖直放回PVD设备也十分不便。
技术实现思路
本专利技术要解决的是现有技术中立式放置的载板取放不便的技术问题。为解决上述问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，包括固定板、固定单元和两个支架，两个所述支架分别设置在所述固定板的下方的前后两侧，每个所述支架包括长支腿、短支腿和连接杆，所述长支腿和所述连接杆的顶端分别与所述固定板的左右两侧活动连接，所述连接杆的底端与所述短支腿的顶端活动连接，所述短支腿的中部与所述长支腿的中部活动连接；至少一个所述支架上设有驱动单元，所述驱动单元用于驱动所述支架收拢或展开；所述固定单元用于将载板固定在所述固定板的上表面。

【技术特征摘要】
1.一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，包括固定板、固定单元和两个支架，两个所述支架分别设置在所述固定板的下方的前后两侧，每个所述支架包括长支腿、短支腿和连接杆，所述长支腿和所述连接杆的顶端分别与所述固定板的左右两侧活动连接，所述连接杆的底端与所述短支腿的顶端活动连接，所述短支腿的中部与所述长支腿的中部活动连接；至少一个所述支架上设有驱动单元，所述驱动单元用于驱动所述支架收拢或展开；所述固定单元用于将载板固定在所述固定板的上表面。2.根据权利要求1所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述固定单元包括磁铁和电磁吸合器，所述电磁吸合器设置在所述固定板的底面上，所述磁铁设置在所述载板上。3.根据权利要求2所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述电磁吸合器和所述磁铁的数量均为多个，所述电磁吸合器与所述磁铁一一对应设置。4.根据权利要求1所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述长支腿和所述短支腿的底端均设有脚轮。5.根据权利要求1所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述驱动单元包括驱动件、齿条以及与所述长支腿连接的齿轮箱，所述齿轮箱上开设有横向贯穿的插孔，所述齿条的一端与所述短支腿的顶部活动连接、另一端插设在所述插孔中，所述齿轮箱内设有齿轮，所述齿轮通过转轴与所述齿轮箱连接，所述齿轮与所述齿条啮合，所述驱动件用于驱动所述齿轮转动。6.根据权利要求5所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏艳波，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11