设备控制方法、装置、电子设备和存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种设备控制方法、装置、电子设备和存储介质。所述方法包括确定待控制设备的控制流程所涉及的一个或多个设备控制子流程，以及各设备控制子流程之间的执行逻辑；获取与所述设备控制子流程对应的编码；根据各设备控制子流程各自对应的编码、各设备控制子流程之间的执行逻辑，生成与所述控制流程对应的编码配置文件；根据所述编码配置文件对所述待控制设备进行控制。应用本发明专利技术实施例提供的方案，避免重复的硬编码活动，简化后期调试与开发工作，提高开发效率。

Equipment control methods, devices, electronic devices and storage media

【技术实现步骤摘要】
设备控制方法、装置、电子设备和存储介质
本专利技术实施例涉及一种半导体
，特别是一种设备控制方法、装置、电子设备和存储介质。
技术介绍
在光伏半导体生产工艺中，对于不同类型或者型号的设备，即使设备控制子流程类似或者相同，在编写控制代码的时候也要每种类型或型号的设备单独对应一套控制程序，且在每套控制程序中对这些设备控制子流程都会通过硬编码实现。然而，现有这种硬编码控制方式会造成了一些重复性的工作，比如对同一流程进行多次开发。例如，在半导体生成工艺中，MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金属有机化学气相沉积)与PVD(PhysicalVaporDeposition，物理气相沉积)设备的控制流程存在部分相同或相似的设备控制子流程，比如，衬底的装载/卸载。在MOCVD设备的控制流程对应的控制程序的编写过程中需针对衬底的装载/卸载这一设备控制子流程进行编码；同时，在PVD设备的控制流程对应的控制程序的编写过程中也需针对衬底的装载/卸载这一设备控制子流程进行编码。这样，针对同一设备控制子流程，MOCVD设备与PVD设备各自对应的控制程序都进行了编码，即存在重复编码。而且，一旦某一个设备控制子流程在设计上存在缺陷或者在后期产生了新的需求而需要扩展或改动时，就需要对现有涉及了该设备控制子流程的设备的所有控制程序均进行编码更改，工作量大。
技术实现思路
针对现有技术的缺陷，本专利技术实施例提供一种设备控制方法、装置、电子设备和存储介质，用以避免重复的硬编码活动，简化后期调试与开发工作，提高开发效率。一方面，本专利技术实施例提供一种设备控制方法，所述方法包括：确定待控制设备的控制流程所涉及的一个或多个设备控制子流程，以及各设备控制子流程之间的执行逻辑；针对每个所述设备控制子流程，获取与所述设备控制子流程对应的编码；根据各设备控制子流程各自对应的编码、各设备控制子流程之间的执行逻辑，生成与所述控制流程对应的编码配置文件；根据所述编码配置文件对所述待控制设备进行控制。另一方面，本专利技术实施例提供一种设备控制装置，所述装置包括：控制分解模块，用于确定待控制设备的控制流程所涉及的一个或多个设备控制子流程，以及各设备控制子流程之间的执行逻辑；编码获取模块，用于针对每个所述设备控制子流程，获取与所述设备控制子流程对应的编码；配置生成模块，用于根据各设备控制子流程各自对应的编码、各设备控制子流程之间的执行逻辑，生成与所述控制流程对应的编码配置文件；设备控制模块，用于根据所述编码配置文件对所述待控制设备进行控制。另一方面，本专利技术实施例还提供一种电子设备，包括存储器、处理器、总线以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现以上方法的步骤。另一方面，本专利技术实施例还提供一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现如上方法的步骤。由上述技术方案可知，本专利技术实施例提供的设备控制方法、装置、电子设备和存储介质，在确定出待控制设备的控制流程所涉及的一个或多个设备控制子流程之后，可以首先获取各设备控制子流程各自对应的编码，继而，根据各设备控制子流程各自对应的编码及各设备控制子流程之间的执行逻辑生成用以对待控制设备进行控制的编码配置文件。这样，只需要针对设备控制子流程进行单独编码；对于不同待控制设备，可根据其控制流程各自涉及的不同的设备控制子流程的获取不同的设备控制子流程对应的编码形成单独的编码配置文件，避免了针对同一设备控制子流程的重复编码，适用范围更广且提高了开发效率。而且，在设备控制子流程发生扩展或改动时，对设备控制子流程对应的编码进行修改即可，避免进行多次重复修改，简化了调试与开发工作，提高了开发效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1示出了根据本专利技术一个实施例的设备控制方法的示例性流程图；图2示出了本专利技术一个实施例的设备控制子流程的细分类别示意图；图3示出了本专利技术一个实施例的Operation执行逻辑示意图；图4示出了本专利技术一个实施例的Flow执行逻辑示意图；图5示出了根据本专利技术一个实施例的Flow的逻辑二叉树结构示意图；图6示出了根据本专利技术一个实施例的Operation的逻辑二叉树结构示意图；图7示出了根据本专利技术一个实施例的Action的逻辑二叉树结构示意图；图8示出了根据本专利技术一个实施例的设备控制装置的结构示意图；图9示出了根据本专利技术一个实施例的电子设备的实体结构示意图。具体实施方式以下将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施例，都属于本专利技术所保护的范围。本申请使用的“模块”、“装置”等术语旨在包括与计算机相关的实体，例如但不限于硬件、固件、软硬件组合、软件或者执行中的软件。例如，模块可以是，但并不仅限于：处理器上运行的进程、处理器、对象、可执行程序、执行的线程、程序和/或计算机。举例来说，计算设备上运行的应用程序和此计算设备都可以是模块。一个或多个模块可以位于执行中的一个进程和/或线程内，一个模块也可以位于一台计算机上和/或分布于两台或更多台计算机之间。下面结合附图详细说明本专利技术的技术方案。参考图1，其示出了根据本专利技术一个实施例的设备控制方法的示例性流程图。如图1所示，本专利技术实施例提供的一种设备控制方法可以包括如下步骤：S110：确定待控制设备的控制流程所涉及的一个或多个设备控制子流程，以及各设备控制子流程之间的执行逻辑。本专利技术实施例适用于光伏半导体生成工艺中的不同类型或者型号的设备。待控制设备可以具体为MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金属有机化学气相沉积)设备、PVD(PhysicalVaporDeposition，物理气相沉积)设备、ELO(EpitaxialLiftOff外延层剥离)设备、抛光(Polisher)设备、喷墨打印设备或清洗设备等。所述设备控制子流程包括如下至少一项：衬底的装载/卸载、衬底装载工具的选取、衬底或衬底装载工具的传输、压力控制、温度控制、加热、冷却、外延层剥离、气体控制、阀门控制、研磨、清洗烘干、喷墨打印、刻蚀。以MOCVD设备为例，MOCVD设备的控制流程中所涉及的设备控制子流程可以包括如下至少一项：衬底的装载/卸载、衬底装载工具的选取、衬底或衬底装载工具的传输、压力控制、温度控制、加热、冷却、气体控制、阀门控制等。本专利技术实施例中，在确定待控制设备的控制流程中所涉及的各设备控制子流程的同时，还需进一步确定各设备控制子流程之间的执行逻辑。其中，各设备控制子流程之间的执行逻辑可以包括但不限于；顺序结构、选择结构、循环结构。S120：针对每个设备控制子流程，获取与设备控制子流程对应的编码。具体地，在通过步骤S110确定出待控制设备的控制流程所涉及的一个或多个设备控制子本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设备控制方法，其特征在于，所述方法包括：确定待控制设备的控制流程所涉及的一个或多个设备控制子流程，以及各设备控制子流程之间的执行逻辑；针对每个所述设备控制子流程，获取与所述设备控制子流程对应的编码；根据各设备控制子流程各自对应的编码、各设备控制子流程之间的执行逻辑，生成与所述控制流程对应的编码配置文件；根据所述编码配置文件对所述待控制设备进行控制。

【技术特征摘要】
1.一种设备控制方法，其特征在于，所述方法包括：确定待控制设备的控制流程所涉及的一个或多个设备控制子流程，以及各设备控制子流程之间的执行逻辑；针对每个所述设备控制子流程，获取与所述设备控制子流程对应的编码；根据各设备控制子流程各自对应的编码、各设备控制子流程之间的执行逻辑，生成与所述控制流程对应的编码配置文件；根据所述编码配置文件对所述待控制设备进行控制。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取与所述设备控制子流程对应的编码，包括：将所述设备控制子流程进行划分得到一个或多个一级控制子流程Flow，并记录各Flow之间的执行逻辑；针对每个所述Flow，获取与所述Flow对应的编码；根据各Flow各自对应的编码、各Flow之间的执行逻辑，生成与所述设备控制子流程对应的编码。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述获取与所述Flow对应的编码，包括：将所述Flow进行划分得到一个或多个二级控制子流程Operation，并记录各Operation之间的执行逻辑；从流程编码库中查找到与所述Operation、Operation之间的执行逻辑匹配的配置项；所述流程编码库中包括：多个配置项对应的编码、各配置项所涉及的子项，以及各子项之间的执行逻辑；将所述流程编码库中该配置项所对应的编码，确定为与所述Flow对应的编码。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述获取与所述Flow对应的编码，还包括：若从所述流程编码库中未查找到与所述Operation、Operation之间的执行逻辑匹配的配置项，则针对每个所述Operation，获取与所述Operation对应的编码；根据各Operation各自对应的编码及各Operation之间的执行逻辑，生成与所述Flow对应的编码。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述获取与所述Operation对应的编码，包括：将所述Operation进行划分得到一个或多个三级控制子流程Action，并记录各Action之间的执行逻辑；从所述流程编码库中查找到与所述Action、Action之间的执行...

【专利技术属性】
技术研发人员：马会军，韩盼，赵昂，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11