【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于真空镀膜领域,具体涉及一种卷绕式真空镀膜机及镀膜工艺。
技术介绍
真空镀膜在工业上应用很广泛,在蒸镀过程中,在蒸发源的高热量下,当薄膜运行速度小于一定值时极易熔断,速度快了镀膜厚度又达不到要求。
技术实现思路
根据上述阐述,本专利技术的目的在于提供一种卷绕式真空镀膜机,可以使基材在不至于速度过低被熔断的情况下达到有效增加镀层金属厚度的目的。本专利技术提供的技术方案:一种卷绕式真空镀膜机,包括抽真空的箱体,所述箱体内的左右两端的上部分别设有基材放卷轴和基材收卷轴,所述基材放卷轴和基材收卷轴之间的下方设有多个冷却辊,所述冷却辊的下方分别设置有一个蒸发源。在上述技术方案中,所述基材放卷轴和冷却辊之间、相邻冷却辊之间以及冷却辊和基材收卷轴之间分别设有转轴。在上述技术方案中,所述箱体右侧上部还设置有一个观察窗。一种镀膜工艺,包括以下步骤:将基材卷在基材放卷轴上,先后通过多个冷却辊进行多次镀膜后到达基材收卷轴。在上述技术方案中,所述冷却辊的数量大于等于两个,所述基材为2-12μm的PET薄膜或OPP薄膜,蒸发源的加热温度为1400-2000℃,基材的运行速度5-100米/分钟。本专利技术在一套真空镀膜机加入多个蒸发源对运动中的基材进行连续不断的蒸镀沉积,并对每次蒸镀进行冷却,可以使基材在不至于速度过低被熔断的情况下达到有效增加镀层金属厚度的目的。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不 ...
【技术保护点】
一种卷绕式真空镀膜机,包括抽真空的箱体,其特征在于,所述箱体内的左右两端的上部分别设有基材放卷轴和基材收卷轴,所述基材放卷轴和基材收卷轴之间的下方设有多个冷却辊,所述冷却辊的下方分别设置有一个蒸发源。
【技术特征摘要】
1.一种卷绕式真空镀膜机,包括抽真空的箱体,其特征在于,所述箱体内的左右两端的上部分别设有基材放卷轴和基材收卷轴,所述基材放卷轴和基材收卷轴之间的下方设有多个冷却辊,所述冷却辊的下方分别设置有一个蒸发源。2.根据权利要求1所述的一种卷绕式真空镀膜机,其特征在于,所述基材放卷轴和冷却辊之间、相邻冷却辊之间以及冷却辊和基材收卷轴之间分别设有转轴。3.根据权利要求1所述的一种卷绕式...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋国辉,
申请(专利权)人:南京金盛达镀膜科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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