生物传感器装置及其形成方法制造方法及图纸

本发明专利技术的一些实施例提供生物传感器装置及其形成方法。腔室形成于衬底中且经配置以接纳一或多个带电分子。晶体管形成于所述衬底中且包括在横向方向上与所述腔室空间分离的源极区域、漏极区域及沟道区域。所述晶体管的栅极放置于所述腔室下方且延伸于所述腔室与所述源极区域、所述漏极区域及所述沟道区域之间。所述栅极的电压电位是基于所述腔室中的所述带电分子的数目。

【技术实现步骤摘要】
生物传感器装置及其形成方法
本专利技术的实施例涉及一种生物传感器装置及其形成方法。
技术介绍
生物传感器是用于感测及检测生物分子且基于电子、电化学、光学及机械检测原理操作的装置。包括晶体管的生物传感器是电感测生物实体或生物分子的电荷、光子及机械性质的传感器。可通过检测生物实体或生物分子本身或透过指定反应剂与生物实体/生物分子之间的相互作用及反应而执行检测。这些生物传感器可使用半导体工艺来制造，可快速转换电信号，且可容易应用于集成电路(IC)及MEMS。
技术实现思路
本专利技术实施例涉及一种生物传感器装置，其包含：腔室，其形成于衬底中且经配置以接纳一或多个带电分子；晶体管，其形成于所述衬底中且包括在横向方向上与所述腔室空间分离的源极区域、漏极区域及沟道区域；及所述晶体管的栅极，其放置于所述腔室下方且延伸于所述腔室与所述源极区域、所述漏极区域及所述沟道区域之间，所述栅极的电压电位是基于所述腔室中的所述带电分子的数目。本专利技术实施例涉及一种生物传感器装置，其包含：衬底，其包括(i)包含半导体材料的第一层及(ii)形成于第一层上方且包含介电材料的第二层；腔室，其包含形成于所述第一层及所述第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种生物传感器装置，其包含：腔室，其形成于衬底中且经配置以接纳一或多个带电分子；晶体管，其形成于所述衬底中且包括在横向方向上与所述腔室空间分离的源极区域、漏极区域及沟道区域；以及所述晶体管的栅极，其放置于所述腔室下方且延伸于所述腔室与所述源极区域、所述漏极区域及所述沟道区域之间，所述栅极的电压电位是基于所述腔室中的所述带电分子的数目。

【技术特征摘要】
2016.08.31 US 15/252,6611.一种生物传感器装置，其包含：腔室，其形成于衬底中且经配置以接纳一或多个带电分子；晶体管，其形成于所述衬底中且包括在横向...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈东村，杨健国，黄睿政，陈昆龙，廖大传，谢正祥，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71