SPR传感器元件和SPR传感器制造技术

本发明专利技术提供一种具有极其优异的检测灵敏度的SPR传感器元件和SPR传感器。该SPR传感器元件设置有：下包层；芯层，该芯层的至少一部分邻接下包层；以及金属层，该金属层覆盖芯层。芯层由均一层和配置在均一层与下包层之间的梯度层构成。均一层的折射率NCO满足1.34≤NCO<1.44的关系。下包层的折射率NCL和均一层的折射率NCO满足NCO-NCL≥0.020的关系。梯度层的折射率沿厚度方向从下包层所在侧向均一层所在侧在大于NCL至小于NCO的范围内逐渐地增加。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种SPR传感器元件和SPR传感器。更具体地，本专利技术涉及一种包括 光波导的SPR传感器元件和SPR传感器。
技术介绍
迄今，在化学分析、生物化学分析等领域中，已使用了包括光纤的表面等离子共振 (SPR，surface plasmon resonance)传感器。在包括光纤的SPR传感器中，金属薄膜形成 在光纤的顶端部的外周面上，分析试样被固定到供光被引导入的光纤。在将被引导的光中， 具有特定波长的光在金属薄膜中产生表面等离子共振，这些光的光强度被衰减。在这样的 SPR传感器中，产生表面等离子共振的光的波长通常根据将被固定到光纤的分析试样的折 射率而变化。因此，如果测量在产生表面等离子共振之后光强度衰减的波长，则能够确认产 生表面等离子共振的光的波长。此外，如果检测出光强度衰减的波长有所变化，则可以确认 产生表面等离子共振的光的波长已变化，因此可以确认分析试样的折射率的变化。结果，该 SPR传感器可以用于诸如试样浓度的测量和免疫反应的检测等的各种化学分析和生物化学 分析。 例如，在试样为溶液的情况下，试样（溶液）的折射率取决于溶液的浓度。因此， 通过利用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种SPR传感器元件，其包括：下包层；芯层，所述芯层的至少一部分邻接所述下包层；和金属层，所述金属层覆盖所述芯层，其中：所述芯层包括均一层和配置在所述均一层与所述下包层之间的梯度层；所述均一层的折射率NCO满足1.34≤NCO<1.44的关系；所述下包层的折射率NCL和所述均一层的折射率NCO满足NCO‑NCL≥0.020的关系；并且所述梯度层的折射率沿所述梯度层的厚度方向从所述下包层所在侧向所述均一层所在侧在大于所述NCL至小于所述NCO的范围内逐渐地增加。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：西尾创，绀谷友广，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP